比称取钼粉和钛粉，放入可通氩气的三维混料机中，混料罐转速为30r/min，混料6h得到钼钛合金粉末；上述钼粉的的费氏平均粒度为3.0 μπι，纯度为99.995 %，上述钛粉的费氏平均粒度为5.0 μ m，纯度为99.992 %。
[0038](2)将步骤(I)所得钼钛合金粉末置于一定规格的模具中，用冷等静压机压制，压力为180Mpa，得预成形还；
[0039](3)将步骤(2)所得预成形坯进行抽真空并通入保护气氛氦气烧结，最高烧结温度达1900°C，烧结时间5h，得烧结毛坯，得到的烧结钼钛合金板坯的密度为理论密度的
98.2% ；
[0040](4)将步骤(3)的烧结毛坯使用线切割设备切割至成品尺寸，得钼钛合金溅射靶材板。
[0041]图2为实施例2制备得到的钼钛合金溅射靶材板的SEM照片。从图2中可看出晶界明显，晶粒大小均匀，在10 μ m左右，结构致密。
[0042]实施例3
[0043](I)按8.5:1.5的重量比称取钼粉和钛粉，放入可通氩气的三维混料机中，混料罐转速为30r/min，混料6h得到钼钛合金粉末；其中钼粉的的费氏平均粒度为4.0 μπι，纯度为
99.993%，上述钛粉的费氏平均粒度为6.0 μ m，纯度为99.991%。
[0044](2)将步骤(I)所得钼钛合金粉末置于一定规格的模具中，用冷等静压机压制，压力为160Mpa，得预成形还；
[0045](3)将步骤(2)所得预成形坯进行抽真空并通入保护气氛氦气烧结，最高烧结温度达1930°C，烧结时间5h，得烧结毛坯，得到的烧结钼钛合金板坯的密度为理论密度的
98.3% ；
[0046](4)将步骤(3)的烧结毛坯使用线切割设备切割至成品尺寸，得钼钛合金溅射靶材板。
[0047]图3为实施例3制备得到的钼钛合金溅射靶材板的SEM照片。从图3中可看出晶界明显，晶粒大小均匀，在15 μ m左右，结构致密。
[0048]实施例4
[0049](I)按19:1的重量比称取钼粉和钛粉，放入可通氩气的三维混料机中，混料罐转速为40r/min，混料5h得到钼钛合金粉末；其中钼粉的的费氏平均粒度为1.0 μπι，纯度为
99.991%,钛粉的费氏平均粒度为3.0ym,纯度为99.995%。
[0050](2)将步骤(I)所得钼钛合金粉末置于一定规格的模具中，用冷等静压机压制，压力为150Mpa，得预成形还；
[0051](3)将步骤(2)所得预成形坯进行抽真空并通入保护气氛氦气烧结，最高烧结温度达1980°C，烧结时间6h，得烧结毛坯，得到的烧结钼钛合金板坯的密度为理论密度的
98.7% ；
[0052](4)将步骤(3)的烧结毛坯使用线切割设备切割至成品尺寸，得钼钛合金溅射靶材板。
[0053]实施例5
[0054](I)按12:1的重量比称取钼粉和钛粉，放入可通氩气的三维混料机中，混料罐转速为20r/min，混料9h得到钼钛合金粉末；其中钼粉的的费氏平均粒度为8.0 μπι，纯度为
99.993%，钛粉的费氏平均粒度为15.0 μ m，纯度为99.99%。
[0055](2)将步骤(I)所得钼钛合金粉末置于一定规格的模具中，用冷等静压机压制，压力为220Mpa，得预成形还；
[0056](3)将步骤(2)所得预成形坯进行抽真空并通入保护气氛氦气烧结，最高烧结温度达2000°C，烧结时间7h，得烧结毛坯，得到的烧结钼钛合金板坯的密度为理论密度的98.7% ；
[0057](4)将步骤(3)的烧结毛坯使用线切割设备切割至成品尺寸，得钼钛合金溅射靶材板。
【主权项】
1.一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施: 步骤I，将钼粉和钛粉装进三维混料机中，充入氩气，使两种粉末在氩气气氛中充分混合，得到钼钛合金粉末； 步骤2，将步骤I得到的钼钛合金粉末放入模具中冷等静压得到预成形坯； 步骤3，将步骤2得到的预成形坯抽真空后在氦气气氛下烧结，得到烧结毛坯； 步骤4，将步骤3得到的烧结毛坯经过机加工后得到钼钛合金溅射靶材板。
2.根据权利要求1所述的钼钛合金溅射靶材板的制备方法，其特征在于，步骤I中钼钛合金粉末中钛粉的含量为5?25wt%，其余为钼粉。
3.根据权利要求1或2所述的钼钛合金溅射靶材板的制备方法，其特征在于，步骤I中钼粉的费氏平均粒度为1.0ym?8.0 μπι，纯度彡99.99% ;钛粉的费氏平均粒度为3.0μπι ?15.0 μm，纯度彡 99.99%。
4.根据权利要求1所述的钼钛合金溅射靶材板的制备方法，其特征在于，步骤I中三维混料机中混料罐的转速为20r/min?40r/min，混料时间为5?9h。
5.根据权利要求1所述的钼钛合金溅射靶材板的制备方法，其特征在于，步骤2中冷等静压压力为150?220Mpa。
6.根据权利要求1所述的钼钛合金溅射靶材板的制备方法，其特征在于，步骤3中烧结的最高烧结温度为1900°C?2000°C，烧结时间为4?7h。
【专利摘要】本发明公开了一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法，将钼粉和钛粉装进三维混料机中，充入氩气，使两种粉末在氩气气氛中充分混合，得到钼钛合金粉末；将钼钛合金粉末放入模具中冷等静压得到预成形坯；将预成形坯抽真空后在氦气气氛下烧结，得到烧结毛坯，最后经过机加工后即得。本发明钼钛合金溅射靶材板的制备方法，采用传统粉末冶金方法，同时在烧结过程中抽真空并通入保护气氛氦气，使得制备得到的钼钛合金溅射靶材板，可以直接生产满足现需求的大尺寸溅射靶材，产品质量得到保证，且该方法成本较低，基本无废料，无污染，可以使钼钛合金溅射靶材板的成本显著降低。
【IPC分类】C23C14-35, B22F3-16
【公开号】CN104532201
【申请号】CN201410837219
【发明人】席莎, 安耿, 李晶, 赵虎
【申请人】金堆城钼业股份有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月29日