研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法_2

文档序号:8238271阅读:来源:国知局
质量的一聚合物种类。当研磨时,该弹性体可充当良好的缓冲器以避免刮伤待研磨物表面。本发明所述的“发泡树脂” 一词指含有热塑性树脂及热分解发泡剂的材料。该树脂优选地包含选自由以下各物质组成的组的至少一种:聚氨酯、聚烯烃、聚碳酸酯、聚乙烯醇、尼龙、弹性橡胶、聚苯乙烯、聚芳烃、含氟聚合物、聚酰亚胺、交联聚氨酯、交联聚烯烃、聚醚、聚酯、聚丙烯酸酯、弹性聚乙烯、聚四氟乙烯、聚(对苯二甲酸乙二醇酯)、聚芳酰胺、聚芳烃、聚甲基丙烯酸甲酯、聚异氰酸酯、其共聚物、其嵌段共聚物、其混合物及其掺合物(共混物)。
[0066]根据本发明的发泡树脂发泡的方法可为化学发泡或物理发泡,其中化学发泡是利用可进行化学反应以产生气体的试剂,使其反应后所产生的气体均匀分布于该树脂组合物中。另一方面,物理发泡是将气体打入该树脂组合物中,并通过搅拌使打入的气体均匀分布于该树脂组合物中。
[0067]根据本发明的发泡树脂结构骨架包含多个孔洞,其经发泡而形成。所述孔洞可为连通型孔洞或独立型孔洞,本发明所述的“连通型孔洞”是指至少二孔洞间是连通的,从而形成类似蚁穴型的孔洞,一般而言,该连通型孔洞由化学发泡制得;本发明所述的“独立型孔洞”是指各孔洞间彼此不连通而独立,从而形成类似气泡型的孔洞,一般而言,该独立型孔洞由物理发泡制得;优选地,所述孔洞为独立型孔洞,其中所述多个孔洞间是彼此独立的。
[0068]本发明的技术特征之一为提供多个辅助纤维丝,本发明所述的“纤维”意指一单一纤维或复合物纤维,优选为复合物纤维。本发明所属技术领域中具有通常知识者可根据待研磨物来选择纤维。本发明所属技术领域中具有通常知识者根据说明书的揭示内容可协调发泡树脂结构骨架与纤维的兼容性并选择适当的纤维。根据本发明的所述辅助纤维丝为丝状结构,优选为短丝状或短棒状的结构,所述辅助纤维丝彼此间为独立的,彼此间并不形成网状结构,并不交缠,亦不粘结、编织、针织、簇织或缝编为一布料。于本发明的一优选【具体实施方式】中,所述辅助纤维丝的长度为约0.1mm至约1.0mm,优选为约0.2mm至约0.8mm,更优选为约0.4mm至约0.6mm,另一方面,所述辅助纤维丝的直径为约0.2丹尼尔至约0.5丹尼尔。优选地,该辅助纤维丝由至少一种材料制成,其中该材料选自由聚酰胺、聚对苯二甲酰对苯二胺、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二酯及聚丙烯腈所组成的群,且可将多种材料的辅助纤维丝应用于同一研磨垫中。
[0069]根据本发明的辅助纤维丝可依据所需的硬度、移除率(移除速率)及研磨浆液保持率,选择适当的辅助纤维丝含量,优选地,所述辅助纤维丝的比例为约I重量%至约30重量%,基于所述研磨垫的总重量,更优选为约5重量%至约20重量%,基于所述研磨垫的总重量。
[0070]于本发明的一优选【具体实施方式】中,所述多个辅助纤维丝突出于该发泡树脂结构骨架,所述多个辅助纤维丝半镶嵌或半埋于该发泡树脂结构骨架中,并半露于研磨垫的表面,形成类似绒毛的结构。此实施方式中的研磨垫因表面具有突出的柔软辅助纤维丝,可进一步降低待研磨基材刮伤的机率,亦可协助提高研磨浆液于该研磨垫表面的保持率,使研磨作用效果更加提升。
[0071]根据本发明的研磨垫,其优选于独立发泡型的研磨垫中加入多个辅助纤维丝,所得的研磨垫可具有高硬度等独立发泡型研磨垫的优点,更具有提高的研磨均匀度、具有部分弹性,且研磨浆液可通过所述辅助纤维丝而渗透至研磨垫内部,可提高研磨垫的研磨液保持率,同时具有不织布型研磨垫的优点。
[0072]于本发明的一优选【具体实施方式】中,该研磨垫还包含多个研磨粒子,所述研磨粒子可均匀分布于发泡树脂结构骨架中。该研磨粒子可均匀分布于该发泡树脂结构骨架中,其可位于该发泡树脂结构骨架的树脂部分,亦可位于该发泡树脂结构骨架的发泡孔洞内。优选地,所述研磨粒子为二氧化铈、二氧化硅、三氧化二铝、三氧化二钇或三氧化二铁。另一方面,所述研磨粒子的粒径为约0.01微米至约10微米。
[0073]本发明还提供一种研磨装置,其中包含:
[0074]一基材;
[0075]—研磨垫,其粘附于该研磨盘上,并用以研磨该基材;及
[0076]一研磨浆液,其接触该基材,以进行研磨。
[0077]优选地,该研磨装置还包含:
[0078]一压力板,其设置成与该研磨盘相对;及
[0079]—吸附垫片,其粘附于该压力板上,用以吸附且固定该基材。
[0080]参考图5,其显示具有本发明研磨垫的研磨装置的示意图。该研磨装置5包括一压力板51、一吸附垫片52、一基材53、一研磨盘54、一研磨垫55及一研磨衆液56。该压力板51与该研磨盘54相对。该吸附垫片52利用一背胶层(图中未示)粘附于该压力板21上,且该吸附垫片52用以吸附且固定该基材53。该研磨垫55固定于该研磨盘54,且面向该压力板51,用以对该基材53进行研磨。
[0081]该研磨装置5的操作方式如下。首先将该基材53置于该吸附垫片52上,且该基材53被该吸附垫片52吸住。接着,该研磨盘54及该压力板51以相反方向旋转,且同时将该压力板51向下移动,使该研磨垫55接触到该基材53的表面,通过不断补充该研磨浆液56以及该研磨垫55的作用,可对该基材53进行研磨作业。
[0082]本发明再提供第一制造前述研磨垫的方法,其包括:
[0083](a)提供一载体,其中该载体为一离型材料;
[0084](b)提供一发泡树脂组合物;
[0085](C)提供多个辅助纤维丝;
[0086](d)将步骤(C)中所述辅助纤维丝均匀任意分散于步骤(b)中的该发泡树脂组合物中;
[0087](e)将步骤(d)的任意分散有所述辅助纤维丝的该发泡树脂组合物涂布于步骤(a)的该载体上 '及
[0088](f)使步骤(e)的发泡树脂组合物固化。
[0089]本发明所述的“载体” 一词是指一可容许该发泡树脂组合物形成于其上的组件,且为可于该发泡树脂组合物固化后,便于移除的材料,优选地,其为一片材;另一方面,该载体为一离型材料。本发明所述的“离型材料”是指于该研磨垫制造过程中不与该发泡树脂组合物反应的材料,且于该发泡树脂组合物固化后,可轻易移除。优选地,该离型材料为一“具有低渗透率的膜”。本发明所述的“具有低渗透率的膜” 一词是指一膜或薄膜,其大体上防止本发明的具有低渗透率的膜的上表面上的发泡树脂组合物渗透至具有低渗透率的膜的下表面。于本发明的一优选【具体实施方式】中,该具低渗透率的膜可形成于一基底材料,例如纸上。优选地,其中该载体为聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、聚丙烯膜、聚碳酸酯膜、聚乙烯膜、离型纸或离型布。此外,聚丙烯优选为定向聚丙烯。
[0090]优选地,该载体是连续式提供的,例如为滚轧离型材料。该滚轧离型材料可以卷筒对卷筒的方式使用,与制造涉及模制或铸造的单个研磨垫的已知方法比较,此方式改良了批次均匀性。
[0091]于本发明的一【具体实施方式】中,该发泡树脂组合物包含树脂、发泡剂及交联剂。
[0092]本发明所述的“交联剂”一词是指可与根据本发明的树脂产生交联反应,并使该树脂于合宜的条件下固化的试剂。该交联剂的种类是搭配该树脂的种类而确定的。
[0093]根据本发明的步骤(d)中,将步骤(C)中所述辅助纤维丝均匀任意分散于步骤(b)中的该发泡树脂组合物,其【具体实施方式】是本发明所属技术领域中具有通常知识者可完成的,例如与该发泡树脂组合物中的各成分共同混合或搅拌,以同时制得该发泡树脂组合物
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