连线装置及应用其的oled生产线的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及OLED制造领域，具体涉及一种连线装置及应用其的OLED生产线。
【背景技术】
[0002]真空蒸镀是有机发光二极管(Organic Light-Emitting D1de,以下简称0LED)器件制备过程的主要方法之一，其基本原理是在高真空环境中，将蒸发材料加热至蒸发温度进行蒸发之后再冷凝在镀膜基体上形成薄膜。随着OLED产业的不断发展，相关生产企业的竞争越来越激烈，降低成本、提高生产效率则是提高企业竞争力的常用手段。例如，为了提高生产效率，降低产品成本，通常采用由多台全自动的真空镀膜设备构成的生产线进行大批量加工，以应对日益增加的市场需求。
[0003]在目前的OLED生产线中，通常是每台真空蒸镀设备每道工序仅蒸镀一个膜层，而且，由于在不同真空蒸镀设备之间转移工件都必须在真空或高纯氮气的保护下实施，因而上述真空蒸镀设备生产线需采用整体、连续的线性方式进行真空高纯氮气保护，这使得该生产线的占地空间较大、配套厂房及相关设施的成本较高。例如，一条蒸镀尺寸为470*370mm的工件、生产速度为每分钟完成2片的真空蒸镀设备生产线，其总长度达50m以上，这就要求容纳该生产线的厂房的层高不低于5m，且还需对厂房下挖lm，以预埋各种管道。
[0004]而且，OLED的膜层通常具有有机膜层、无机膜层以及层间掺杂层等的共计18层以上膜层，而且在上述真空蒸镀设备生产线中，每台真空蒸镀设备每道工序仅蒸镀一种膜层，且每道工序均需进行一次抽真空过程，即:在工件进入真空腔室之前向真空腔室充入保护性气体；在工件进入真空腔室之后对真空腔室抽真空；对工件进行蒸镀工艺。上述抽真空过程占据了整个蒸镀工艺的大部分时间，从而上述蒸镀设备生产线的生产效率较低。
[0005]为此，申请号为“201310209692.6”、发明名称为“一种具有双旋转机构的OLED镀膜机”的中国专利申请中公开了一种真空蒸镀设备，其包括机架、真空室、多个钥舟、动力系统、钥舟通电加热系统以及仪表柜。该镀膜机通过在真空室内设计工件双旋转机构支架，充分扩大了工件装夹面积，从而不仅可以实现每道工序同时对多个工件进行蒸镀，而且还可以提高镀膜材料的利用率。
[0006]利用上述OLED镀膜机的优势，可以采用“分堆式”生产线代替现有技术中所采用的整体、连续的线性生产线，顾名思义，“分堆式”生产线是将OLED的多层膜层遵循蒸镀工序的先后顺序进行分配而形成若干个膜层堆，每层膜层堆借助两台上述OLED镀膜机蒸镀该膜层堆被分配到的膜层，每台OLED镀膜机每道工序可同时对多个工件蒸镀多层膜层，由此，只要能够有一种在同一或不同膜堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件的连线装置，就可以使多个工件同时完成所有膜层的蒸镀，从而实现“分堆式”连续制造OLED的生产线，即，不再像现有技术的生产线所采用的多个工件逐一完成所有的蒸镀工序，而是一定数量的工件同时完成所有的蒸镀工序。
[0007]此外，除了要求上述连线装置能够在同一或不同膜堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件之外，还要求连线装置能够同时传输多个工件，以能够装载单台真空镀膜设备单次蒸镀的所有工件，而且，由于在不同真空蒸镀设备之间转移工件都必须在真空或高纯氮气的保护下实施，因而还要求连线装置能够在真空或高纯氮气的保护下实现对多个工件的传输和装卸。
【发明内容】
[0008]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种连线装置及应用其的OLED生产线，其可以在真空或高纯氮气的保护下，实现对多个工件的传输和装卸。
[0009]为实现本发明的目的而提供一种连线装置，用于向真空镀膜设备的真空腔室传输和装卸工件，其包括机架、箱体舱和工作舱，其中所述机架的底部具有多个移动轮；所述箱体舱固定在所述机架上，在所述箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架，所述旋转轴在旋转时带动所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向旋转，以使所述至少两个工件框架逐一经过与所述工作舱相对应的位置处；所述工作舱固定在所述机架上，所述工作舱具有第一密封机构和第二密封机构，所述工作舱通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离，以及通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。
[0010]其中，每个工件框架具有沿竖直方向间隔设置的锁紧装置，每个锁紧装置包括一对支撑件和四个弹性凹形件，其中，所述一对支撑件彼此相对地分别设置在所述工件框架内的两个侧壁上；所述四个弹性凹形件分别包覆一个工件的四个角，并由该对支撑件夹持固定在中间。
[0011]其中，在每个工件框架与所述旋转轴之间设置有支撑臂，所述支撑臂的一端与所述旋转轴固定连接，所述支撑臂的另一端与所述工件框架的顶部铰接。
[0012]其中，所述连线装置还包括工件框架控制单元，用于控制所述工件框架在每停顿固定时长之后旋转预定角度，以使各个工件框架逐一旋转至与所述工作舱相对应的位置处，并且每个工件框架在该位置处停顿所述固定时长。
[0013]优选的，所述工件框架控制单元在1s?Ih的连续范围内调节所述固定时长。
[0014]优选的，所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向均匀分布。
[0015]其中，所述工作舱包括彼此连通的操作室和过渡室，其中所述操作室通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离；所述过渡室采用可伸缩的柔性结构，并通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离；在所述操作室的室壁上设置有可由外向内伸入所述操作室的至少两套真空手套，所述真空手套用于供人的手部伸入所述工作舱内，并在所述箱体舱和所述真空镀膜设备的真空腔室之间传递工件。
[0016]优选的，所述真空手套为两套，其中一套真空手套位于靠近所述箱体舱的位置处；其中另一套真空手套位于靠近所述真空镀膜设备的真空腔室的位置处。
[0017]其中，所述第一密封机构包括连通所述操作室与所述箱体舱的第一开口，以及用于开启或关闭所述第一开口的第一密封门。
[0018]其中，所述第一密封门的数量为两道，所述两道第一密封门相对且间隔设置，并且所述操作室与所述箱体舱采用气密性对接的方式彼此锁紧，以密封所述两道第一密封门之间的间隔空间。
[0019]其中，所述第二密封机构包括在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，连通所述过渡室与真空腔室的第二开口，以及用于开启或关闭所述第二开口的第二密封门。
[0020]其中，所述第二开口的尺寸大于所述真空腔室的室门尺寸，并且在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接的两个对接面之间设置有密封件，所述密封件包围所述第二开口，用以在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，密封所述第二密封门与所述真空腔室的室门之间的间隔空间。
[0021]优选的，所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室采用气密性对接的方式彼此锁紧。
[0022]优选的，所述过渡室的可伸缩的柔性结构为由瓦楞状橡胶和钢丝骨架形成的具有多个横向波纹的管状结构。
[0023]其中，所述连线装置还包括辅助舱，所述辅助舱固定在所述机架上，且位于所述工作舱的底部，所述辅助舱用于容纳所述连线装置的电器设备；所述电器设备包括真空抽气装置、动力传动装置、热风循环装置、氮气气缸以及进出气管道。
[0024]优选的，所述移动轮为万向轮。
[0025]优选的，在所述机架的底部还设置有可伸缩的定位装置，所述定位装置在需要所述机架通过所述移动轮移动时回缩，以与地面相分离，在所述机架移动至预设位置时伸出，以与地面相接触。
[0026]优选的，所述旋转轴垂直于竖直平面。
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