真空镀膜设备的真空腔室6相互对接的两个对接面(414，61)之间设置有密封件412 (例如密封圈)，密封件412包围第二开口，用以在过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6相互对接时，密封该第二开口，容易理解，由于第二开口的轮廓包围真空腔室6的室门62轮廓，因而通过密封件412密封第二开口，亦即密封真空腔室6的室门62。此外，过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6采用气密性对接的方式彼此锁紧。在实际应用中，为了便于工件的装卸，过渡室的内腔尺寸应满足真空镀膜设备的真空腔室的室门朝外(即，自真空腔室朝向过渡室内部的方向)开启90°以上，以及第二密封门朝向过渡室内部开启90°以上。
[0060]在本实施例中，如图3所示，真空手套42为两套，其中一套真空手套422位于靠近箱体舱3的位置处(B卩，靠近第一密封门341的位置处)，以便于开启或关闭第一密封门341，并缩短真空手套422通过第一密封门341伸入箱体舱3进行取片或放片的距离；与之相类似的，其中另一套真空手套421位于靠近真空镀膜设备的真空腔室6的位置处，以便于开启或关闭第二密封门411以及真空腔室6的室门62，并缩短真空手套421通过第二密封门411以及真空腔室6的室门62伸入真空腔室6进行取片或放片的距离。
[0061]另外，为了便于第二密封门341的开启或关闭，第二密封门341还具有转盘式把手342。
[0062]连线装置还包括辅助舱5，辅助舱5固定在机架I上，且位于工作舱4的底部，辅助舱5用于容纳连线装置的电器设备51，如图2所示，电器设备51包括真空抽气装置、动力传动装置、热风循环装置、氮气气缸以及进出气管道等等。上述各个装置主要用于实现连线装置的压力控制、注入高纯氮气、干燥等的功能。
[0063]下面对本发明实施例提供的连线装置的工作过程进行详细描述。
[0064]具体地，首先，在利用连线装置传输和装卸工件之前，对连线装置内的各个舱室(例如箱体舱3、工作舱4等)进行抽真空(具有较低的真空度即可)和利用洁净循环热风进行干燥的操作，优选的，保持各个舱室的真空度在1.33*10_中&以下；然后，向各个舱室注入一个大气压以上的高纯氮气进行保护，以保证各个舱室的杂质气体含量在Ippm以下。
[0065]其次，箱体舱3内的所有工件框架31中，应至少保证其中一个工件框架31是空置的，以供装载自当前工序的真空蒸镀设备取出的已完成当前工序的工件，其余的工件框架31则已装载有完成前一道工序的工件，待取出当前工序的工件之后，将前一道工序的工件放入当前工序的真空蒸镀设备中。
[0066]连线装置的移动以及与真空蒸镀设备的相互对接的方法的具体步骤为:由两名以上的操作人员一前一后(或者一左一右)推动连线装置朝向当前工序的真空镀膜设备移动；待连线装置移动至与当前工序的真空蒸镀设备对接的位置处之后，使定位装置11伸出，以使连线装置相对于地面固定不动；然后，过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6采用气密性对接的方式彼此锁紧，从而完成连线装置与当前工序的真空蒸镀设备的对接。
[0067]连线装置的抽真空、干燥以及注入高纯氮气的具体步骤为:操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，并开启第二密封门411 ;开启真空抽气装置的抽气阀门，对工作舱4以及真空腔室6的室门62与第二密封门411之间的间隔空间进行除气，当去气管道上的真空指示表72指示真空度达到l*103Pa的上限之后，关闭抽气阀门(可利用第一控制伺候仪表73控制抽气阀门自动关闭)；开启热风循环装置的阀门，利用洁净干燥热风的循环流动去除工作舱4以及真空腔室6的室门62与第二密封门411之间的间隔空间内的潮气，经过大约10?15min之后关闭热风循环装置的阀门；再一次开启真空抽气装置的抽气阀门进行除气，当去气管道上的真空指示表72指示真空度达到NKT1Pa的上限之后，关闭抽气阀门。开启氮气进出气管道的阀门(该进出气管道的出气端通常设置在箱体舱3的远离工作舱4的位置)，以向箱体舱3内注入高纯氮气；待压力表74指示压力值达到一个大气压以上之后，关闭氮气进出气管道的阀门(可利用第二控制伺候仪表75控制氮气进出气管道的阀门自动关闭)。此外，在工作舱4内部还可以设置诸如日光灯、LED灯等的照明装置71，以提高工作舱4内的可视性。
[0068]连线装置的装卸工件的具体步骤为:一名操作人员利用真空手套422伸入工作舱4，并开启第一密封门341 (通过转动转盘式把手342)，以使箱体舱3与工作舱4连通；另一名操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，并开启真空腔室6的室门62 (第二密封门411已在抽真空步骤之前开启)，以使真空腔室6与工作舱4连通。开启动力传动装置，以使旋转轴32带动工件框架31旋转，工件框架31的旋转规则可以采用在每停顿固定时长之后旋转预定角度的方式，也可以采用由操作人员自由控制的方式，此时各个工件框架31按旋转规则逐一经过第一开口，容易理解，空置的工件框架31应首先经过第一开口，以装载完成当前工序的工件。
[0069]然后，由两名操作人员通过工作舱4在箱体舱3与真空镀膜设备的真空腔室6之间传递工件。其中，卸载完成当前工序的工件的具体步骤为:一名操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，且通过第二开口和室门62自真空腔室6内取出完成当前工序的工件，并传递给戴有真空手套422的另一名操作人员的手上；另一名操作人员将该工件通过第一开口放入停顿在装卸位置(与第一开口相对应的位置)处的空置的工件框架31上；重复该步骤，直至所有的完成当前工序的工件全部装载至空置的工件框架31上。
[0070]需要说明的是，卸载完成当前工序的工件的上述过程通常需要花费45?60s的时间，因此，若工件框架31采用在每停顿固定时长之后旋转预定角度的旋转规则，则该固定时长应大于45?60s，优选的，该固定时长的取值范围可以在50?65s。
[0071]向当前工序的真空镀膜设备装载前一工序的工件的具体步骤仅是上述卸载完成当前工序的工件的步骤的逆顺序，且二者每个步骤的内容相类似，故在此不再重复描述。此夕卜，在本发明提供的连线装置的工作过程中所采用的参数并不局限于本实施例中所提出的上述参数，在实际应用中，可以根据具体情况自由设定。
[0072]待完成前一工序的工件的装载之后，一名操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，且先后关闭室门62和第二密封门411 ;另一名操作人员利用真空手套422伸入工作舱4，且关闭第一密封门341 ;在关闭热风循环装置的阀门以及氮气进出气管道的阀门之后，将工作舱4与当前工序的真空镀膜设备脱离，连线装置即可向另一台当前工序的真空镀膜设备移动。待将所有工件框架31内的前一工序的工件与所有当前工序的真空镀膜设备中的完成当前工序的工件交换完毕，连线装置便可向后一工序的真空镀膜设备移动。
[0073]图6为本发明实施例提供的OLED生产线的示意图。请参阅图6，本发明还提供一种OLED生产线，其包括遵循蒸镀OLED膜层工序的先后顺序分配而成的多个膜层堆，以及多台连线装置。其中，每个膜层堆包括两台可对多个工件蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，用于蒸镀其所在膜层堆被分配到的OLED膜层；连线装置用于在同一或不同膜层堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件，并且该连线装置采用了本发明实施例提供的上述连线装置。
[0074]下面结合图6以18个OLED膜层为例，对本发明实施例提供的OLED生产线进行详细描述。具体地，将18个OLED膜层划分5个膜层堆；每个膜层堆配置2台可对多个工件同时蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，配置2台连线装置在同一或不同膜层堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件。如图6所示，可以将5个膜层堆围绕一圈排布，以缩短连线装置的移动距离，从而可以提高传输效率。
[0075]本发明