理装置中对工件W进行的改性处理中也包含在上述的加热炉进行的加热处理，也就是说，包含不伴随成膜的加热处理。
[0067]此外，本发明也可适用于不具有加热器等加热装置的成膜装置中。即使是此种成膜装置，伴随成膜而气化的成膜物质的粒子附着于工件W而固化，结果使该工件W的温度上升。在此种温度上升的计测中也可采用本发明的技术。
[0068]代替通过如所述实施方式的观测窗7计测测量件6的热伸缩量，也可以将激光移位计9设置在腔室2的内侧，在腔室2的内部计测测量件6的热伸缩量。此时，优选将激光移位计9本身收容在规定的防护盒中，并在激光移位计9的周围设置防附着板和热遮蔽板等，以防止成膜物质附着于激光移位计9的照射面等以及热影响。
[0069]而且，在将上述的激光移位计9不得不设置在不能将激光直接照射于测量件6的腔室2内的位置的情况下，也可设置使向测量件6照射的激光的路径在中途弯曲的镜等来进行计测。
[0070]如上所述，根据本发明，能够提供在将工件收容在腔室的内部进行处理的情况下，即使工件的表面物性或表面状态发生变化，或者工件在腔室内移动的情况下，也能准确地计测工件的实际温度并进行处理的处理装置以及处理装置中的工件的温度计测方法。
[0071]本发明提供的处理装置，用于进行工件的改性处理，其包括:腔室，用于收容所述工件；测量件，被设置在所述腔室的内部，并在所述腔室的内部的温度的影响下热伸缩；以及计测部，通过计测所述测量件的热伸缩量，来计测所述工件的实际温度。
[0072]优选:所述测量件采用与所述工件相同的材料形成。这使得能够使用该测量件更准确地评价工件的温度。
[0073]优选:在所述腔室设有观测窗，以便可从所述腔室的外侧观测所述腔室内的测量件，所述计测部通过所述观测窗计测测量件的热伸缩量。这使得通过在所述腔室的外部设置所述计测部而该计测部在避免受所述腔室的内部的状态的影响的情况下，能够计测该腔室的内部的测量件的热伸缩量。
[0074]优选:所述测量件呈沿特定的长度方向延伸的棒状，所述计测部基于所述测量件的沿长度方向的热伸缩量，计测所述工件的实际温度。这使得该测量件的热伸缩量更容易测量。
[0075]优选:所述计测部具有激光移位计，该激光移位计为了计测相对于所述测量件的长度方向的其中一端的另一端在该长度方向上的相对移位，对所述测量件的另一端照射测量用的激光。
[0076]本发明所涉及的处理装置优选还包括:旋转台，在所述腔室内使所述工件绕旋转轴公转，其中，所述测量件被配置成其长度方向的其中一端被固定于所述旋转台上，并且，所述长度方向平行于所述旋转轴，所述观测窗设置在构成所述腔室的壁上、即面对所述旋转台的部分，以便所述计测部能够计测基于所述测量件的热伸缩的该测量件的另一端的移位。该配置便利用所述计测部进行的所述测量件的热伸缩量的计测变得容易。
[0077]本发明所涉及的处理装置优选还包括:蒸发源，被设置在所述腔室内，用于对所述工件进行成膜，其中，所述测量件被设置在以所述旋转台的旋转轴为中心的径向上，并且从所述工件观察时处于所述蒸发源的相反侧且邻接于工件的位置。该配置使得所述测量件对所述蒸发源进行的所述工件的成膜造成的影响得以抑制。
[0078]优选:所述测量件被保持在与所述工件相同的电位。这使得例如在向工件施加偏压进行处理的工序的情况下，能够进行包含偏压效果(即，将离子吸引到工件而产生的效果，例如通过向工件照射离子而获得的表面的活化、改性、升温、蚀刻等)的测量的温度测量。
[0079]此外，本发明提供一种在用于进行工件的改性处理的处理装置中计测该工件的温度的方法。该方法包括以下步骤:在收容所述工件的腔室的内部设置在该腔室的内部的温度的影响下热伸缩的测量件；通过计测所述测量件的热伸缩量，来确定所述工件的实际温度。
【主权项】
1.一种处理装置，用于对工件进行改性处理，其特征在于包括: 腔室，用于收容所述工件； 测量件，被设置在所述腔室的内部，并在所述腔室的内部的温度的影响下热伸缩；以及 计测部，通过计测所述测量件的热伸缩量，来计测所述工件的实际温度。2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于: 所述测量件采用与所述工件相同的材料形成。3.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于: 在所述腔室设有观测窗，以便可从所述腔室的外侧观测所述腔室内的所述测量件， 所述计测部通过所述观测窗计测所述测量件的热伸缩量。4.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于: 所述测量件呈沿特定的长度方向延伸的棒状， 所述计测部基于所述测量件的沿所述长度方向的热伸缩量，计测所述工件的实际温度。5.根据权利要求4所述的处理装置，其特征在于: 所述计测部具有激光移位计，该激光移位计为了计测相对于所述测量件的所述长度方向的其中一端的另一端的相对移位，对所述测量件的另一端照射测量用的激光。6.根据权利要求3所述的处理装置，其特征在于还包括: 旋转台，在所述腔室内使所述工件绕旋转轴公转，其中， 所述测量件被配置成其长度方向的其中一端被固定于所述旋转台上，并且，所述长度方向平行于所述旋转轴， 在所述腔室，在构成所述腔室的壁、即面对所述旋转台的部分设有观测窗，以便所述计测部能够从所述腔室的外部计测所述腔室内的所述测量件的另一端的热伸缩量。7.根据权利要求6所述的处理装置，其特征在于还包括: 蒸发源，被设置在所述腔室内，用于对所述工件进行成膜，其中， 所述测量件被设置在以所述旋转台的所述旋转轴为中心的径向上，并且从所述工件观察时处于所述蒸发源的相反侧且邻接于所述工件的位置。8.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于: 所述测量件被保持在与所述工件相同的电位。9.一种处理装置中的工件的温度计测方法，用于在对工件进行改性处理的处理装置中计测该工件的温度，其特征在于包含以下步骤: 在收容所述工件的腔室的内部设置在所述腔室的内部的温度的影响下热伸缩的测量件； 通过计测所述测量件的热伸缩量，来确定所述工件的实际温度。
【专利摘要】本发明提供一种能够准确地计测被收容在腔室的内部并被加热的工件的实际温度的处理装置(1)以及方法。处理装置(1)具备收容工件(W)的腔室(2)、被设置在腔室(2)的内部的测量件(6)以及计测部(8)。测量件(6)在腔室(2)的内部的温度的影响下热伸缩。计测部(8)通过计测测量件(6)的热伸缩量来计测工件(W)的实际温度。
【IPC分类】C23C16/44, C23C14/52, G01K5/50
【公开号】CN105102672
【申请号】CN201480019564
【发明人】藤井博文
【申请人】株式会社神户制钢所
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年3月11日
【公告号】WO2014162665A1