金属膜形成方法_2

文档序号:9628384阅读:来源:国知局
,过氧化苯甲酰(C6H5CO)2O 2等过氧化物,次亚氯酸(HClO),过氯酸,硝酸,过醋 酸或者硝基苯等的有机过氧化物等。
[0017] 作为所述水,更具体的可以是例如纯水,超纯水,自来水,井水,矿泉水,矿物水,温 泉水,泉水,淡水,海水等,也包括对这些水进行例如精制,加热,杀菌,过滤,离子交换,电 解,渗透压调整,缓冲化等处理之后的水(例如,臭氧水,纯净水,热水,离子交换水,生理盐 水,磷酸缓冲液,磷酸缓冲生理食盐水等)。
[0018] 所述有机溶剂只要不妨碍本发明的目的,没有特别的限定,作为这样的溶剂,可以 是例如醇(例如甲醇,乙醇,丙醇,异丙醇,丁醇,叔丁醇等),醚(例如二噁烷,四氢呋喃,二 乙基醚(Diethyl ether),叔丁基甲基醚(t-butyl methyl ether),二异丙醇醚,乙二醇-二 甲基醚等),酯(例如甲酸乙基,醋酸乙基,醋酸正丁酯等),羧酸(例如甲酸,醋酸,丙酸 等),卤化烃(例如二氯甲烷,氯仿,四氯化碳,三氯乙烯,1,2-二氯甲烷,氯苯等),烃(例如 正己烷,苯,甲苯等),酰胺(例如甲酰氨基,N,N-二甲基甲酰氨基,N,N-二甲基乙酰胺等), 酮(例如丙酮,甲乙酮,甲基异丁基酮等),腈类(例如乙腈,丙腈等),环丁砜,六甲基磷酰 胺等的单独使用或它们的混合溶剂。本发明中,所述有机溶剂优选醇,酮或者它们的混合溶 剂,更优选醇,最优选低级醇(优选Cl~3)。
[0019] 本工序中用使用的含有胺化合物的有机溶剂(以下又叫做含有胺化合物的有机 溶剂),在有机溶剂中含有胺化合物的话就没有特别限定,例如,可以通过将公知的有机溶 剂和胺化合物混合而得到。所述胺化合物和所述有机溶剂的混合物的配合比例,在所述有 机溶剂中,所述胺化合物优选〇. 001摩尔/L~10摩尔/L范围内,更优选0. 005摩尔/L~ 1摩尔/L范围内,最优选0.01摩尔/L~0. 1摩尔/L范围内。在这样的优选范围,雾更适 于成膜,并且膜质能更加良好。
[0020] 所述胺化合物只要不妨碍本发明的目的没有特别的限定,可以是含有氧原子、硫 原子、氮原子等的化合物。作为所述胺化合物,可以是例如,甲胺,乙胺,丙基胺,异丙基胺, 正丁胺,异丁胺,仲丁基胺,叔丁胺,己基胺,2-甲氧基乙胺,2-乙氧乙基胺,3-甲氧基丙基 胺,3-甲基硫代丙胺,乙二胺,丙二胺,丁二胺,己二胺,二亚乙基三胺,三亚乙基四胺,四乙 烯五胺,亚氨基二丙胺,甲基亚氨基二丙胺,十二烷基亚氨基二丙胺,N,N' -二氨基丙基-1, 丙二胺,Ν,Ν' -二氨基丙基-1,3- 丁二胺,1,2-二氨基丙烷,二_(3_氨基丙基)酿,1, 2-双(3-氨基丙氧基)乙烧,1,3二_(3_氨基丙氧基)_2, 2-二甲基丙烷,N-月桂基丙二 胺,Ν,Ν' -Ν,N'-二叔丁基乙二胺,N-甲基乙二胺,N-乙基乙二胺,N,N-二甲基乙撑二胺, 烯丙基胺等具有Cl~C16碳数的脂肪族化合物;环戊胺,环己胺,环庚胺,环辛基胺,氨基 甲基环己烧,4-甲基环己胺,1-环己基乙胺,3, 3, 5-三甲基环己胺,异佛尔酮二胺,己二氨 基甲基环等具有Cl~C16碳数的脂环化合物;苄胺,苯乙胺,4-甲基苄基胺,N-氨基丙基 苯胺,2-氨基-1,2-二苯基乙醇,9-氨基荷,二苯甲基胺,苯二甲胺,苯二胺,二氨基二苯甲 烷,N-二苄基乙二胺,2-氨基吡啶,3-氨基吡啶,4-氨基吡啶,2, 3-二氨基吡啶,2, 5-二氨 基P比啶,2, 3, 6-鸟氨基P比啶,N-氨基丙基苯胺,2-氨基_3_甲基P比啶,2-氨基_4_甲基[!比 啶,2-氨基-6-甲基吡啶,2-氨基-3-乙基吡啶,2-氨基_3_丙基吡啶,2-氨基-4, 6-二甲 基吡啶,2, 6-二氨基-4-甲基吡啶,3-氨基-6-异丙基吡啶,2, 6-二氨基吡啶等具有Cl~ C16碳数的芳香族化合物;哌嗪,N-氨基丙基哌嗪,2-甲基哌嗪,2, 6-二甲基哌嗪,2, 5-二 甲基哌嗪,3-甲基氨基哌啶,2-氨基甲基哌嗪,3-氨基吡咯烷,同型哌嗪,N-氨基丙基哌嗪, 1,4-(双-氨基丙基)哌嗪,N-氨基乙基哌啶,N-氨基丙基哌啶,2-氨基甲基哌啶,4-氨基 甲基哌啶,糠胺,四氢糠胺,3-(甲基氨基基)吡咯烷,5-甲基糠胺,2-(硫代乙酸糠)乙胺, 2-吡啶甲基胺,3-吡啶甲基胺,4-吡啶甲基胺等具有Cl~C16碳数的杂环化合物;2-羟基 乙基胺,甲基(2_轻乙基)胺,1-氨基-2-丙醇,3-氨基-1-丙醇,2-氨基-1-丙醇,1-氨 基-2-丙醇,二乙醇胺,3-氨基-1,2-丙二醇,2-(2-氨基乙氧基)乙醇,N-(2-羟乙基) 乙二胺,2-氨基-1,3-丙二醇等含有一个以上羟基的化合物。本发明中,所述胺化合物优 选多胺,更优选二胺。另外,所述多胺可以是例如乙二胺,二亚乙基,三亚乙基四胺,四亚乙 基五胺,聚氧丙烯二胺,聚氧化丙烯三胺等脂肪族多胺;异佛尔酮二胺,烯二胺,双(4-氨 基-3-甲基二环己基)甲烷,二氨基二环己基甲烷,双(氨基甲基)环己烷,N-氨基乙基哌 嗪,3, 9-双(3-氨基丙基)-2, 4, 8, 10-四恶螺(5.5)十一烷脂环式多胺等;间-苯二胺,对 苯二胺,甲苯-2, 4-二胺,甲苯-2, 6-二胺,均三甲苯-2, 4-二胺,均三甲苯-2, 6-二胺,3_, 5-二乙基甲苯-2, 4-二胺,3, 5-单核多胺如二乙基甲苯-2, 6-二胺;亚联苯基二胺,4, 4-二 氨基二苯甲烷,2, 5-萘二胺,2, 6-萘二胺等芳香族多胺;2-咪唑氨丙基等的咪唑等。
[0021] 用在含有胺化合物的有机溶剂中的有机溶剂只要不妨碍本发明的目的,就没有 特别的限定,作为这样的溶剂,可以是例如醇(例如甲醇,乙醇,丙醇,异丙醇,丁醇,叔丁 醇等),醚(例如二噁烷,四氢呋喃,二乙基醚(Diethyl ether),叔丁基甲基醚(t-butyl methyl ether),二异丙醇醚,乙二醇-二甲基醚等),酯(例如甲酸乙基,醋酸乙基,醋酸正 丁酯等),羧酸(例如甲酸,醋酸,丙酸等),卤化烃类(例如二氯甲烷,氯仿,四氯化碳,三氯 乙烯,1,2-二氯甲烷,氯苯等),烃(例如正己烷,苯,甲苯等),酮(例如丙酮,甲乙酮,甲基 异丁基酮等)等的单独使用或它们的混合溶剂。本发明中,所述有机溶剂优选醇,酮或者它 们的混合溶剂,更优选醇,最优选低级醇(优选Cl~3)。
[0022] 本工序中使用的含有质子酸的有机溶剂(以下,也说成「含有质子酸的有机溶 剂」),有机溶剂中含有质子酸的话就没有特别限定,例如,可以通过公知的有机溶剂和质子 酸混合得到。所述质子酸和所述有机溶剂的混合物的配合比例,在所述有机溶剂中,所述质 子酸优选〇. 〇〇 1摩尔/L~10摩尔/L范围内,更优选0. 005摩尔/L~1摩尔/L范围内, 最优选0. 01摩尔/L~0. 1摩尔/L范围内。在这样的优选范围,雾更适于成膜,并且膜质 更加良好。
[0023] 所述质子酸只要不妨碍本发明的目的没有特别的限定,公知的质子酸就可以。所 述质子酸可以是例如盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、氟硼酸、氢氟酸、高氯酸等无机酸或有机羧酸、 酚类、有机磺酸等。而且,有机羧酸可以是例如甲酸、乙酸、草酸(Oxalic acid)、苯甲酸、邻 苯二甲酸、马来酸、富马酸、丙二酸、酒石酸、柠檬酸、乳酸、琥珀酸、一氯乙酸、二氯乙酸、三 氯乙酸、三氟乙酸、乙酸硝基、三苯基酯等。有机磺酸可以是例如烷基苯磺酸,烷基萘磺酸, 烷基萘二磺酸,萘磺酸福尔马林缩聚物,三聚氰胺磺酸盐福尔马林缩聚物,萘二磺酸,萘三 磺酸,二萘甲烷二磺酸,蒽醌磺酸,蒽醌二磺酸,蒽磺酸,芘磺酸等。并且,可以使用它们的金 属盐。在本发明中,所述质子酸优选无机酸,更优选氢卤酸。氢卤酸可以是例如盐酸,氢溴 酸,氢碘酸,氢氟酸等。
[0024] 用在含有质子酸的有机溶剂中的有机溶剂只要不妨碍本发明的目的,就没有特别 的限定,作为这样的溶剂,可以是例如醇(例如甲醇,乙醇,丙醇,异丙醇,丁醇,叔丁醇等), 醚(例如二噁烧,四氢咲喃,二乙基醚(Diethyl ether),叔丁基甲基醚(t-butyl methyl ether),二异丙醇醚,乙二醇-二甲基醚等),酯(例如甲酸乙基,醋酸乙基,醋酸正丁酯
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