一种还原炉内线切割硅芯搭接横梁的制作方法

文档序号:3448652阅读:183来源:国知局
专利名称:一种还原炉内线切割硅芯搭接横梁的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种采用改良西门子法或硅烷法生产多晶硅用的还原炉内线切割硅芯搭接横梁。
背景技术
目前,采用改良西门子法或硅烷法生产多晶硅用的还原炉内的硅芯搭接方式通常是由两根竖的长硅芯和一根横的短硅芯(搭接横梁)搭接成Π型导电回路,两根竖的长硅芯在搭接硅芯的一端打磨成丫口或其它形状用于与短硅芯(搭接横梁)的装配,搭接时一般采用钥丝对这三段硅芯进行绑扎,目的是获得稳定的力学结构,减少硅棒的倒炉现象,提高 多晶硅的成品率。但是,由于钥丝的使用,造成了掺杂钥丝的硅料的产生,在后续工艺中不得不采用人工方法分捡出这部分“钥丝料”,这就造成了优质品率低、生产成本大、劳动效率低、生产环节多的不利现象。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺陷,提供一种采用数控线切割技术生产的、不需要使用钥丝进行硅芯绑扎搭接,搭接速度快且又可提高多晶硅成品率的还原炉内线切割硅芯搭接横梁。为实现上述目的所采取的方案为一种还原炉内线切割硅芯搭接横梁,其特征是该横梁是采用数控线切割设备生产的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形的柱体;横梁两端对称位置分别设置有通孔,该通孔的截面为矩形、菱形、三角形、梯形和圆形;所述通孔上小下大型或等径通孔型;所述两通孔的中心位置与还原炉电极中心位置相对应。本实用新型的还原炉内线切割硅芯搭接横梁是采用数控线切割设备生产的,与长硅芯采取榫卯结构搭接,搭接速度快,既可避免钥丝的使用,提高了产品成品率,降低了生广成本和劳动效率,减少了生广环节,又可提闻了多晶娃的品质和生广效率。

图I为本实用新型还原炉内线切割硅芯搭接横梁与截面为矩形、菱形、三角形、梯形的柱状长硅芯的搭接方式图;图2为本实用新型还原炉内线切割硅芯搭接横梁与截面为圆锥形的柱状长硅芯的搭接方式图。
具体实施方式
本实用新型的还原炉内线切割硅芯搭接横梁是采用数控线切割设备生产的,所述横梁是(1)横梁为截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形等形状的柱体,横梁粗细均匀。
(2)在横梁两端一定距离、相对称的位置,设置2个截面图形相同、通透的通孔,通孔的截面为矩形、菱形、三角形、梯形和圆形等形状,(3)孔两端的面积同比例缩小,构成截面面积上小下大的两个孔,或者是等径的通孔,这2个孔用于与长硅芯形成榫卯搭接结构,(4)两孔中心位置与还原炉电极中心位置相对应。 硅芯与横梁的搭接方式如图I或图2所示硅芯I的一端接入与之适配的石墨卡 瓣,另一端磨圆柱或圆锥等形状。按照与还原炉电极中心对应的距离在横梁2上打2个适配硅芯I的圆孔或圆锥孔3,再将横梁2和2根长硅芯I搭接成Π型导电回路。
权利要求1.一种还原炉内线切割硅芯搭接横梁,其特征是该横梁是采用数控线切割设备生产的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形的柱体。
2.按照权利要求I所述的还原炉内线切割硅芯搭接横梁,其特征是所述横梁两端对称位置分别设置有通孔,该通孔的截面为矩形、菱形、三角形、梯形和圆形。
3.按照权利要求I或2所述的还原炉内线切割硅芯搭接横梁,其特征是所述通孔为上小下大型或等径通孔型。
4.按照权利要求3所述的还原炉内线切割硅芯搭接横梁,其特征是所述两通孔的中心位置与还原炉电极中心位置相对应。
专利摘要本实用新型涉及一种还原炉内线切割硅芯搭接横梁,其特征是该横梁是采用数控线切割设备生产的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形的柱体。本实用新型的还原炉内线切割硅芯搭接横梁采用数控线切割设备生产,与长硅芯采取榫卯结构搭接,搭接速度快,既可避免钼丝的使用,提高了产品成品率,降低了生产成本和劳动效率,减少了生产环节,又可提高了多晶硅的品质和生产效率。
文档编号C01B33/021GK202440315SQ20122008040
公开日2012年9月19日 申请日期2012年3月6日 优先权日2012年3月6日
发明者周英军 申请人:周英军
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