专利名称：氩净化装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于净化含有一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物和氧的不纯的氩气的装置。
背景技术：
现有技术中，在净化氩气时，通常采用串联的脱碳氢化合物装置和脱氧装置，脱碳氢化合物装置与脱氧装置之间通过管路连接，脱碳氢化合物装置中放置有去除碳氢化合物的催化剂，脱氧装置中放置有去除氧的催化剂。当不纯的氩原料气通入脱碳氢化合物装置中时，通过催化剂的催化作用，发生反应去除一氧化碳、甲烷等碳氢化合物，然后，已脱去碳氢化合物的氩气经过管路进入脱氧装置，再通过催化剂的催化作用脱去氧，完成对不纯的氩原料气的净化。这种氩净化装置，分别设置了脱碳氢化合物装置和脱氧装置，设备投入成本较高，且在氩净化过程中，热量损失较大。
发明内容本实用新型的目的是提供一种降低折本成本、减少净化过程热量损失的氩净化装置。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种氩净化装置，用于净化含有一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物和氧的氩原料气，所述的氩净化装置包括催化炉，所述的催化炉的上部具有第一催化反应室，所述的催化炉的下部具有第二催化反应室，所述的第一催化反应室与第二催化反应室之间具有过渡部分，所述的第一催化反应室中内置有去除一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物的第一催化剂，所述的第二催化反应室中内置有去除氧的第二催化剂，所述的过渡部分连接有向所述的催化炉中通入氢气的分配管；所述的催化炉的顶部设置有进气口，所述的进气口通过进气管与原料气源相连接，所述的催化炉的底部设置有出气口，所述的出气口连接有出气管，所述的氩原料气由所述的进气口进入所述的催化炉中，并依次经过所述的第一催化反应室、所述的过渡部分、所述的第二催化反应室完成净化后由所述的出气口排出。优选的，所述的氩净化装置还包括换热器，所述的进气管、所述的出气管分别通入所述的换热器中换热。优选的，所述的进气管上连接有加氧管。本实用新型的净化原理是将氩原料气与氧气混合并加热后通入催化炉中，其首先进入第一催化反应室中，在第一催化剂的催化作用下，原料气中的一氧化碳、甲烷等碳氢化合物发生反应从而将碳氢化合物去除；然后气体经过过渡部分，此时，通过分配管相该气体中加入氢气，混合后的气体再进入第二催化反应室中，在第二催化剂的催化作用下，氧气与氢气发生反应从而将氧气去除，最终完成氩原料气的净化。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点由于本实用新型在同一催化炉中完成对氩原料气中一氧化碳、碳氢化合物及氧的净化，可以降低设备投资成本，并且减少了催化过程中热量的损失。
附图I为本实用新型的氩净化装置的示意图。以上附图中1、催化炉；2、第一催化剂；3、分配管；4、第二催化剂；5、第一催化反应室；6、第二催化反应室；7、过渡部分；8、进气口 ；9、进气管；10、出气口 ；11、出气管；12、换热器；13、加氧管。
具体实施方式
以下结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。实施例一参见附图I所示。 一种氩净化装置，用于净化含有一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物和氧的氩原料气(例如用氩气做保护气的单晶硅和多晶硅装置排出的不纯氩气)。氩净化装置包括催化炉I、换热器12。催化炉I的顶部设置有进气口 8，进气口 8通过进气管9与原料气源相连接，进气管9上还连接有加氧管13 ;催化炉I的底部设置有出气口 10，出气口 10连接有出气管11。进气管9、出气管11分别通入换热器12中换热。催化炉I的上部具有第一催化反应室5，催化炉I的下部具有第二催化反应室6， 第一催化反应室5与第二催化反应室6之间具有过渡部分7。第一催化反应室5中内置有去除一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物的第一催化剂2，第二催化反应室6中内置有去除氧的第二催化剂4。过渡部分7连接有向催化炉I中通入氢气的分配管3。在对不纯的氩原料气进行净化时，首先将氩原料气与氧气混合并通过换热器12。在换热器12中，低温的氩原料气和氧气的混合气体与出催化炉I的高温气体换热。然后，氩原料气和氧气的混合气体由进气口 8进入催化炉I中，并依次经过第一催化反应室5、过渡部分7、第二催化反应室6完成净化后由出气口 10排出。在第一催化反应室5中，氩原料气中的一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物与氧气在第一催化剂2的催化作用下发生反应，从而将一氧化碳和碳氢化合物去除。然后气体经过过渡部分7，通过分配管3向其中通入氢气，混合后的气体进入第二催化反应室6中，在第二催化剂4的催化作用下，氧气与氢气发生反应，从而将氧气去除。经净化后的高温气体由出气口 10排出，进入换热器12中放热，完成全部净化过程。采用此氩净化装置，可以节省设备投资，降低热量损耗。上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种氩净化装置，用于净化含有一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物和氧的氩原料气，其特征在于所述的氩净化装置包括催化炉，所述的催化炉的上部具有第一催化反应室，所述的催化炉的下部具有第二催化反应室，所述的第一催化反应室与第二催化反应室之间具有过渡部分，所述的第一催化反应室中内置有去除一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物的第一催化剂，所述的第二催化反应室中内置有去除氧的第二催化剂，所述的过渡部分连接有向所述的催化炉中通入氢气的分配管；所述的催化炉的顶部设置有进气口，所述的进气口通过进气管与原料气源相连接，所述的催化炉的底部设置有出气口，所述的出气口连接有出气管，所述的氩原料气由所述的进气口进入所述的催化炉中，并依次经过所述的第一催化反应室、所述的过渡部分、所述的第二催化反应室完成净化后由所述的出气口排出。
2.根据权利要求I所述的氩净化装置，其特征在于所述的氩净化装置还包括换热器，所述的进气管、所述的出气管分别通入所述的换热器中换热。
3.根据权利要求I所述的氩净化装置，其特征在于所述的进气管上连接有加氧管。
专利摘要本实用新型涉及一种氩净化装置，包括催化炉，催化炉的上部具有第一催化反应室，下部具有第二催化反应室，第一催化反应室与第二催化反应室之间具有过渡部分，第一催化反应室中内置去除一氧化碳、甲烷或其它碳氢化合物的第一催化剂，第二催化反应室中内置去除氧的第二催化剂，过渡部分连接有向催化炉中通入氢气的分配管；催化炉的顶部设置进气口，进气口通过进气管与原料气源相连，催化炉的底部设置出气口，出气口连接有出气管，氩原料气由进气口进入催化炉中，经过第一催化反应室、过渡部分、第二催化反应室后由出气口排出。由于本实用新型在同一催化炉中完成对氩原料气的净化，可以降低设备投资成本，并且减少了催化过程中热量的损失。
文档编号C01B23/00GK202482068SQ20122007716
公开日2012年10月10日 申请日期2012年3月5日 优先权日2012年3月5日
发明者李莉, 颜爱国, 马昆 申请人:苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司