可钢化高透低辐射镀膜玻璃及其制造方法与流程

文档序号:12238491阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可钢化高透低辐射镀膜玻璃,其特征在于,该玻璃包括玻璃基底和沉积于所述玻璃基底表面的镀膜层,所述镀膜层包括从内向外依次层叠的第一介质层、第一生长层、第一保护层、银层、第二保护层、第二生长层和第二介质层,其中,所述第一生长层和第二生长层均为第三主族金属与H共掺的ZnO膜层,所述第三主族金属为Al、Ga或In。

2.根据权利要求1所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第一介质层和第二介质层均为Si3N4层,所述第一介质层和第二介质层的厚度均为25~60nm。

3.根据权利要求1所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第一生长层和第二生长层的厚度均为5~40nm。

4.根据权利要求3所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第一生长层和/或第二生长层为2wt%掺杂的AZO膜层、5wt%掺杂的GZO膜层或10wt%掺杂的IZO膜层。

5.根据权利要求3或4所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第一生长层和/或第二生长层由溅射形成,其中,溅射的靶材为掺杂第三主族金属的ZnO,溅射在氩气和氢气的混合气体气氛中进行,所述第三主族金属为Al、Ga或In。

6.根据权利要求1所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第一保护层和第二保护层均为NiCr层,所述第一保护层和第二保护层的厚度均为0.5~2nm。

7.根据权利要求1所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述银层的厚度为8~20nm。

8.一种制造如权利要求1所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃的方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)提供玻璃基底;

(2)在玻璃基底上沉积第一介质层;

(3)在第一介质层上沉积第一生长层;

(4)在第一生长层上沉积第一保护层;

(5)在第一保护层上沉积银层;

(6)在银层上沉积第二保护层;

(7)在第二保护层上沉积第二生长层;

(8)在第二生长层上沉积第二介质层;

其中,步骤(3)和步骤(7)中的第一生长层和第二生长层由溅射形成,其中,溅射的靶材为掺杂第三主族金属的ZnO,溅射在氩气和氢气的混合气体气氛中进行,所述第三主族金属为Al、Ga或In。

9.根据权利要求8所述的可钢化高透低辐射镀膜玻璃的制造方法,其特征在于,所述氩气和氢气的混合气体中氢气的流量占比为1~12%。

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