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一种单晶炉副室氩气填充喷头的制作方法
文档序号:11088285
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来源:国知局
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一种单晶炉副室氩气填充喷头的制造方法与工艺
技术总结
本实用新型提供了一种单晶炉副室氩气填充喷头,包括喷头主体,所述喷头主体中部具有与单晶炉提拉头配合的通孔,所述喷头主体的上部设有进气管接头、所述喷头主体的内部设有气道,所述喷头主体的下部设有若干个出气孔,所述进气管接头与所述气道连通,所述出气孔也与所述气道连通。
技术研发人员:
张刚
受保护的技术使用者:
保定爱廸新能源股份有限公司;英利能源(中国)有限公司
文档号码:
201621046712
技术研发日:
2016.09.11
技术公布日:
2017.05.10
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