一种RenaNIKA制绒槽药液分流装置的制作方法

本实用新型涉及电池片制绒技术领域，具体涉及一种RenaNIKA制绒槽药液分流装置。

背景技术：

现有的太阳能电池片的制造工艺中，制绒工艺是关键的一步，制绒的目的为在晶体硅太阳能电池在表面形成凹凸不平的绒面，能降低反射率提高光吸收率，同时去除表面损伤，以提高太阳能电池的转换效率。制绒主要以HNO₃和HF混合溶液对硅片进行腐蚀（腐蚀量是其重要指标），如德国Rena机器。制绒的好坏直接关系到电池片的性能，其中对药液的浓度、温度均匀性的要求最为关键。

RenaNIAK酸制绒刻蚀设备的工艺流程(槽体)为：进料制绒/刻蚀水洗1碱洗水洗2酸洗水洗3风干出料，目前Rena制绒槽进液管的药液混合均匀并经控温装置，使得其温度固定在设定值内，当前方案的进液道集中于制绒槽的一端所有出液口均安装于此，药液需经一定时间才能扩散至槽体的其他区域，导致制绒槽内各个区域的药液的浓度和温度不均，使得各区域的硅片腐蚀量不均，进而影响电池片的效率和后道工序的良率。上述工艺的局限性在于：1.制绒药液浓度均匀性差；2.制绒槽各区域温度均匀性差；3.制绒腐蚀均匀度差。

有鉴于此，开发一种RenaNIKA制绒槽药液分流装置，使得制绒药液的药液浓度均匀、制绒槽温度均匀同时制绒腐均匀，显然是有必要的。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种RenaNIKA制绒槽药液分流装置，解决现有技术中制绒药液浓度均匀性差、制绒槽各区域温度均匀性差、制绒腐蚀均匀度差等缺陷。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种RenaNIKA制绒槽药液分流装置，包括进液管和多个与进液管配合使用的进液分管，

所述进液管上设有至少5个进液管分流孔，所述进液分管与所述进液管分流孔连接，

所述进液分管设有至少两行出液孔组，每个所述出液孔组包括至少10个出液孔，所述出液孔的直径沿着药液流动的方向逐渐变大。

优选地，所述进液管上设有7个进液管分流孔。

进一步技术方案中，相邻所述进液管分流孔之间的间隔相等。

优选地，所述出液孔行设有13个出液孔。

进一步技术方案中，相邻所述出液孔之间的间隔相等。

优选地，所述进液分管设有2行出液孔组。

优选地，所述进液分管的数量与所述进液管分流孔的数量相同。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1.本实用新型采用有分流的进液分管，使得药液能直接分流道制绒槽的各个区域；

2.本实用新型的进液分管上有使用渐变大的出液孔，使得进液分管的各个出液孔的出液量一样；

3.本实用新型经控温装置的药液迅速分流至槽体的各个区域，使得槽体各区域的药液的温度和浓度相同；

4.本实用新型各区域药液的温度和浓度相同则能保证其化学反应的速率相同，能大幅降低各区域的腐蚀量差异。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图。

图2是本实用新型实施例一中进液分管的结构示意图。

其中：1、进液管；2、进液分管；3、出液孔。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：

参见图1所示，一种RenaNIKA制绒槽药液分流装置，包括进液管和7个与进液管配合使用的进液分管，

进液管上设有7个进液管分流孔，进液分管与所述进液管分流孔连接，

参见图2所示，进液分管设有至少两行出液孔组，每个出液孔组包括至少10个出液孔，出液孔的直径沿着药液流动的方向逐渐变大。

本实施例中，相邻进液管分流孔之间的间隔相等。

本实施例中，每个出液孔行均设有13个出液孔。

本实施例中，相邻所述出液孔之间的间隔相等。

本实施例中，进液分管设有2行出液孔组。

本实施例中，所述进液分管的数量与所述进液管分流孔的数量相同。

本实用新型的工作原理如下：药液经进液管分流至进液分管，进液分管上设有由小到大的均匀分布的出液孔，出液孔小的靠近进液管其压力较大，小孔可以降低其出液量；出液孔大的在进液分管的末端，其压力较小，大孔能提高出液量；因压力的不同，大孔及小孔的出液量相当，使得药液均匀的分流至制绒槽各个区域。