技术特征：
技术总结
本发明公开一种注浆成型高密度AZO靶材的制备方法，包括以下步骤：将氧化锌粉末和氧化铝粉末混合均匀，得混合物料，将混合物料加入尼龙罐中，并加入分散剂和水，用氨水或醋酸调pH值为8.5～10.3；将预混液经球磨制备成悬浮液浆料；将球磨好的浆料经真空除气，把除气后料浆注入石膏模具中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上；固化后脱脂，得AZO坯体；坯体经烧结制得AZO靶材。本发明采用注浆成型与无压烧结AZO靶材工艺，可低成本制得高密度的AZO靶材。
技术研发人员：张天舒;宋晓超;陈晨;钱邦正
受保护的技术使用者：安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
技术研发日：2017.05.26
技术公布日：2017.08.11