四氯化硅废液回收处理装置的制作方法

文档序号:13659698阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种四氯化硅废液回收处理装置,其特征在于,包括精馏塔、位于精馏塔塔釜的再沸器、位于精馏塔塔顶的第一冷凝器、四氯化硅回流罐、四氯化硅回收罐、残渣水解器和烛式过滤器,四氯化硅废液进入精馏塔后,所述再沸器用于对其进行蒸发处理以形成气相四氯化硅并从塔顶输出,而处理后的四氯化硅废液从精馏塔塔釜排出;所述第一冷凝器用于将所述气相四氯化硅冷凝为液相四氯化硅后输出至四氯化硅回流罐;所述四氯化硅回流罐中的部分液相四氯化硅回流至精馏塔塔顶,另一部分液相四氯化硅采出至四氯化硅回收罐;所述残渣水解器用于对所述处理后的四氯化硅废液进行水解处理以形成残液;所述烛式过滤器用于对所述残液进行固液分离处理并分别排放。

2.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,四氯化硅废液从精馏塔的中下部进入其中,所述再沸器具体用于将进入精馏塔塔釜的四氯化硅废液中的一部分加热汽化以形成四氯化硅蒸汽,上升的四氯化硅蒸汽与下降的四氯化硅废液逆流接触的过程中,废液中的部分四氯化硅转移到四氯化硅蒸汽中,同时四氯化硅蒸汽中的杂质转移到废液中,从而形成纯净的气相四氯化硅并从精馏塔塔顶输出,吸收了四氯化硅蒸汽中的杂质且部分四氯化硅从其中分离的废液作为处理后的四氯化硅废液从精馏塔塔釜排出。

3.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述精馏塔的回流比为2~3。

4.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述四氯化硅回流罐至精馏塔塔顶的管线上设置有回流泵。

5.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述烛式过滤器分离出的固体物经过集中焚烧后直接排放,而分离出的液体经过pH值调节成中性后排放至下游废水处理工序。

6.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述残渣水解器至烛式过滤器的管线上设置有渣浆泵。

7.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述残渣水解器至烛式过滤器的管线采用CPVC管。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的回收处理装置,其特征在于,还包括活性炭加料装置,其与精馏塔塔釜相连,用于根据精馏塔的进料量定期向塔内加入预设量的活性炭颗粒,所述活性炭颗粒与精馏塔塔釜的所述处理后的四氯化硅废液中的四氯化硅高聚物进行吸附后,从塔釜排出。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的回收处理装置,其特征在于,还包括板式蒸发器和第二冷凝器,所述板式蒸发器用于对精馏塔塔釜排出的所述处理后的四氯化硅废液进行间歇加热蒸发,蒸发后得到的气相四氯化硅输出至第二冷凝器,而蒸发后得到的残渣输出至残渣水解器,由残渣水解器进行水解处理;所述第二冷凝器用于将板式蒸发器输出的气相四氯化硅冷凝为液相四氯化硅后输出至四氯化硅回收罐。

10.根据权利要求9所述的回收处理装置,其特征在于,所述第二冷凝器位于板式蒸发器的上方。

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