技术总结
本实用新型提供一种四氯化硅废液回收处理装置，其中，四氯化硅废液进入精馏塔后，所述再沸器用于对其进行蒸发处理以形成气相四氯化硅并从塔顶输出，而处理后的四氯化硅废液从精馏塔塔釜排出；所述第一冷凝器用于将所述气相四氯化硅冷凝为液相四氯化硅后输出至四氯化硅回流罐；所述四氯化硅回流罐中的部分液相四氯化硅回流至精馏塔塔顶，另一部分液相四氯化硅采出至四氯化硅回收罐；所述残渣水解器用于对所述处理后的四氯化硅废液进行水解处理以形成残液；所述烛式过滤器用于对所述残液进行固液分离处理并分别排放。本实用新型所述四氯化硅废液回收处理装置经济、环保、易操作。
技术研发人员：江庆云;李聚安;王伟;陈国辉;王玉丽
受保护的技术使用者：新特能源股份有限公司
文档号码：201720886842
技术研发日：2017.07.20
技术公布日：2018.02.09