技术特征：
技术总结
本发明是一种制备高纯磷烷规模化连续生产方法和装置的研制，属于电子气体制备纯化技术领域；该方法包括步骤(1)、粗制磷烷的制备过程：先用亚磷酸加热反应得到粗制磷烷；和(2)、高纯磷烷的纯化过程：对粗制磷烷采用液氮冷阱低温真空分离、分子筛吸附干燥和镓‑铟合金深吸附脱水、氧。本发明所述的方法能深度脱除氧、水和碳氢化合物等电子材料中有害杂质，一般可以达到0.01～0.1ppm以下；纯化剂主体镓‑铟合金可以反复使用，使用寿命除化学处理稍许损失外，理论上具有很长的使用寿命。
技术研发人员：吴来发
受保护的技术使用者：吴来发
技术研发日：2018.07.03
技术公布日：2019.01.04