一种多晶用石英坩埚的制作方法

文档序号:16225945发布日期:2018-12-11 20:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶用石英坩埚,包括坩埚本体(1),其特征在于:所述坩埚本体(1)的底端外表面固定安装有一号固定环(2),所述一号固定环(2)的底端外表面固定安装有支撑架(3),所述一号固定环(2)的上方固定安装有二号固定环(4),所述二号固定环(4)与坩埚本体(1)固定连接,所述二号固定环(4)的外表面一侧固定安装有手柄(5),所述坩埚本体(1)的上端外表面固定安装有坩埚盖(6),所述坩埚盖(6)的上端外表面固定安装有圆环(7),所述坩埚本体(1)的上端一侧固定安装有倒料口(8),所述坩埚本体(1)的内部固定安装有内胆(9),所述坩埚本体(1)与内胆(9)之间固定安装有螺旋管(10),所述螺旋管(10)的外表面一侧固定安装有进水口(11),所述螺旋管(10)的外表面另一侧固定安装有出水口(12)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶用石英坩埚,其特征在于:所述支撑架(3)的底端形状为圆环形,且支撑架(3)底端的直径略大于一号固定环(2)的直径,所述一号固定环(2)的直径与二号固定环(4)的直径相同。

3.根据权利要求1所述的一种多晶用石英坩埚,其特征在于:所述手柄(5)的形状为圆柱形,所述手柄(5)的外表面固定安装有隔热套,隔热套的厚度为六毫米,隔热套的外表面设有条形螺纹,并且隔热套包裹在手柄(5)的周围。

4.根据权利要求1所述的一种多晶用石英坩埚,其特征在于:所述坩埚盖(6)的形状为圆形,且坩埚盖(6)的直径大于坩埚本体(1)上端开口的直径,所述圆环(7)位于坩埚盖(6)上端的中心部位。

5.根据权利要求1所述的一种多晶用石英坩埚,其特征在于:所述进水口(11)与出水口(12)的形状均为圆形,且进水口(11)与出水口(12)的规格大小均相同。

6.根据权利要求1所述的一种多晶用石英坩埚,其特征在于:所述一号固定环(2)与二号固定环(4)的直径均大于坩埚本体(1)的直径,且一号固定环(2)与二号固定环(4)均围绕在坩埚本体(1)的周围。

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