防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板的制作方法

文档序号:17098497发布日期:2019-03-14 00:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板,其特征在于:包括环状的本体,所述本体的中心设有表面低于本体上表面的外环形台以及低于所述外环形台的内环形台,所述内环形台用于托承晶圆衬底,所述外环形台上开有一个宽度与晶圆切边相等的凹槽,所述凹槽内设有一个能接触晶圆切边的切片卡块。

2.根据权利要求1所述的衬底托板,其特征在于:所述切边卡块的水平面投影呈梯形,梯形的顶边长度是底边长度的25-50%,底边比顶边更靠近本体的中心。

3.根据权利要求2所述的衬底托板,其特征在于:所述顶边与所述凹槽的侧壁之间留有缝隙。

4.根据权利要求1所述的衬底托板,其特征在于:所述切边卡块的厚度比外环形台与内环形台的高度差大0.02-0.50mm。

5.根据权利要求1所述的衬底托板,其特征在于:所述内环形台的内边缘在水平面上的投影呈弓形,弓形的直边靠近所述凹槽且长度等于凹槽的宽度。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1