一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置的制作方法

文档序号:22280519发布日期:2020-09-18 20:39阅读:208来源:国知局
一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置的制作方法

本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体为一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置。



背景技术:

单晶炉是在惰性气体中通过加热的方式实现单晶硅融化拉直的装置,而在单晶炉使用的过程中,通常会对其内部结构进行拆装,以达到不同生产需求的目的,然而现有的单晶炉拆装热场装置在拆装过程中依旧存在以下缺点:

大多是人工将装置的密封盖打开再通过机械设备进行拆装,由于装置内部的温度较高,通过人工打开的喷射出的热量会对操作人员造成伤害,并且也增加了对其内部结构拆装的难度,针对上述问题,急需在原有单晶炉拆装热场装置的基础上进行创新设计。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置,以解决上述背景技术提出大多是人工将装置的密封盖打开再通过机械设备进行拆装,由于装置内部的温度较高,通过人工打开的喷射出的热量会对操作人员造成伤害,并且也增加了对其内部结构拆装的难度的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置,包括底座盒、支撑板和坩埚,所述底座盒的底部螺栓安装有电动机,且电动机的顶部转动连接有电机轴,所述电机轴的边侧活动设置有棘爪,且电机轴的外侧套设有第一套筒,并且第一套筒的内壁固定设置有棘齿,所述支撑板固定在第一套筒外侧的底座盒内,且支撑板的上方设置有第二套筒,所述第二套筒的顶部通过固定块和坩埚的底部相连,且坩埚的外侧套设安装有设备本体,并且设备本体的顶部活动设置有密封盖,所述电机轴通过皮带轮机构和连接轴相连,且连接轴的底部轴承连接在支撑座上,所述连接轴的顶部活动套设有活动筒,且活动筒的外侧通过限位块固定在设备本体的边侧,所述活动筒的顶部固定安装有齿条,且齿条的边侧设置有齿轮,所述齿轮的内部焊接贯穿有活动轴,且活动轴的两端通过支撑块和设备本体相连,并且活动轴通过传动杆和密封盖相连。

优选的,所述棘爪和棘齿在第一套筒和第二套筒内均有分布,且2组棘爪和棘齿分布的方向相反。

优选的,所述第一套筒和第二套筒之间留有间隙,且两者分别与支撑板和设备本体为转动连接。

优选的,所述固定块为矩形结构,且固定块和坩埚为卡合连接的拆卸安装结构。

优选的,所述连接轴上设置有2条螺距相同、旋向相反的螺纹槽,且连接轴和活动筒为螺纹连接,并且活动筒和限位块为滑动连接。

优选的,所述齿条和齿轮为啮合连接,且齿轮、活动轴和传动杆均为焊接连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该具有防护性的单晶炉拆装热场装置,通过机械设备对装置盖进行开合,能够避免人工操作时对身体造成伤害,进而提升了对装置内部结构拆装的便捷性;

1.通过电动机的正转能够实现坩埚的转动,并通过棘齿与棘爪的卡合,进而方便其内部物料的均匀受热,并且坩埚与固定块相卡合,既不会影响其转动,又方便对坩埚的拆装;

2.通过电动机的反向转动,并通过棘齿与棘爪的卡合,能够带动连接轴转动,进而带动活动筒升降,让齿条带动齿轮转动,这样就能够实现密封盖的开合,避免人工操作烫伤。

附图说明

图1为本实用新型正剖结构示意图;

图2为本实用新型俯剖结构示意图;

图3为本实用新型第二套筒和固定块立体结构示意图;

图4为本实用新型第一套筒俯视结构示意图;

图5为本实用新型第二套筒俯视结构示意图。

图中:1、底座盒;2、电动机;3、电机轴;4、棘爪;5、第一套筒;6、棘齿;7、支撑板;8、第二套筒;9、固定块;10、坩埚;11、设备本体;12、密封盖;13、皮带轮机构;14、连接轴;15、支撑座;16、活动筒;17、限位块;18、齿条;19、齿轮;20、活动轴;21、支撑块;22、传动杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5,本实用新型提供一种技术方案:一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置,包括底座盒1、电动机2、电机轴3、棘爪4、第一套筒5、棘齿6、支撑板7、第二套筒8、固定块9、坩埚10、设备本体11、密封盖12、皮带轮机构13、连接轴14、支撑座15、活动筒16、限位块17、齿条18、齿轮19、活动轴20、支撑块21和传动杆22,底座盒1的底部螺栓安装有电动机2,且电动机2的顶部转动连接有电机轴3,电机轴3的边侧活动设置有棘爪4,且电机轴3的外侧套设有第一套筒5,并且第一套筒5的内壁固定设置有棘齿6,支撑板7固定在第一套筒5外侧的底座盒1内,且支撑板7的上方设置有第二套筒8,第二套筒8的顶部通过固定块9和坩埚10的底部相连,且坩埚10的外侧套设安装有设备本体11,并且设备本体11的顶部活动设置有密封盖12,电机轴3通过皮带轮机构13和连接轴14相连,且连接轴14的底部轴承连接在支撑座15上,连接轴14的顶部活动套设有活动筒16,且活动筒16的外侧通过限位块17固定在设备本体11的边侧,活动筒16的顶部固定安装有齿条18,且齿条18的边侧设置有齿轮19,齿轮19的内部焊接贯穿有活动轴20,且活动轴20的两端通过支撑块21和设备本体11相连,并且活动轴20通过传动杆22和密封盖12相连;

棘爪4和棘齿6在第一套筒5和第二套筒8内均有分布,且2组棘爪4和棘齿6分布的方向相反,第一套筒5和第二套筒8之间留有间隙,且两者分别与支撑板7和设备本体11为转动连接,电动机2朝不同方向转动时,能够分别带动第一套筒5和第二套筒8内的棘爪4与棘齿6相卡合,进而实现密封盖12的开合或者坩埚10的转动;

固定块9为矩形结构,且固定块9和坩埚10为卡合连接的拆卸安装结构,这样既不会妨碍坩埚10的转动又方便对其的拆装;

连接轴14上设置有2条螺距相同、旋向相反的螺纹槽,且连接轴14和活动筒16为螺纹连接,并且活动筒16和限位块17为滑动连接,齿条18和齿轮19为啮合连接,且齿轮19、活动轴20和传动杆22均为焊接连接,连接轴14转动时能够带动活动筒16在限位块17上做升降运动,并通过齿条18带动齿轮19转动,进而能够通过活动轴20带动传动杆22同步转动,实现对密封盖12的开合。

工作原理:在使用该具有防护性的单晶炉拆装热场装置时,如图1、图3和图5所示,首先电动机2带动电机轴3顺时针转动,如图5,这样能够带动第二套筒8内的棘爪4与棘齿6相卡合,进而通过第二套筒8带动固定块9转动,实现坩埚10转动的目的,让其内部物料均匀受热,如图3,由于固定块9为矩形结构与坩埚10相卡合,这样既不会妨碍坩埚10的转动又方便对其的拆装;

如图1-2和图4所示,当电动机2带动电机轴3逆时针转动时,如图4,能够带动第一套筒5内的棘爪4与棘齿6相卡合,进而带动第一套筒5转动,同时通过皮带轮机构13带动连接轴14同步的转动,当连接轴14在支撑座15上转动时能够带动活动筒16在限位块17上做升降运动,并通过齿条18带动齿轮19转动,齿轮19转动时能够通过活动轴20带动传动杆22同步转动,进而实现对密封盖12的开合,避免通过人工开合出现烫伤现象。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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