多晶合成装置的制作方法

文档序号:22718250发布日期:2020-10-30 21:34阅读:140来源:国知局
多晶合成装置的制作方法

本实用新型涉及多晶合成设备技术领域,更具体的说是多晶合成装置。



背景技术:

公开号为cn210215615u的实用新型公开了一种砷化镓的多晶合成装置,包括炉膛和反应容器,所述炉膛前后两侧沿竖直方向固定有多个电加热器,所述炉膛底部内侧固定连接有固定夹板。有益效果在于:本实用新型通过半球形密封帽部分陷入固定夹板的方式固定下腔,同时通过活动夹板下降使半球形密封帽部分陷入活动夹板固定上腔,并通过拉杆卡入限位孔的方式实现活动夹板与固定夹板相对高度的锁止,以此通过活动夹板和固定夹板配合竖直固定反应容器,实现了通过可拆卸的安装方式来代替通过加装螺钉将反应容器装入炉膛的固定方式,拆装操作方便且省时省力,便于反应容器在炉膛内的快速拆装,有利于提升砷化镓的多晶反应效率;缺点是无法根据合成情况自动定量添加合成需要的催化剂。



技术实现要素:

本实用新型提供多晶合成装置,其有益效果为多晶合成装置可以自动根据合成情况定量添加合成需要的催化剂。

多晶合成装置,包括反应监测合成底座、搅动观察球形盖和自动定量送料桶组,所述的自动定量送料桶组固定连接在反应监测合成底座上,搅动观察球形盖固定连接在反应监测合成底座上,所述的搅动观察球形盖包括球型顶盖、进料圆口、配合密封塞、转动丝杆、螺纹连接板、搅动电机、电机安装板和旋转搅动轴,旋转搅动轴固定连接在搅动电机的输出轴上,搅动电机通过螺栓可拆卸连接在电机安装板上,电机安装板固定连接在球型顶盖上,旋转搅动轴转动连接在球型顶盖上,球型顶盖顶端设置有进料圆口,球型顶盖固定连接在反应监测合成底座上,配合密封塞转动连接在转动丝杆底端,转动丝杆通过螺纹连接在螺纹连接板上,螺纹连接板固定连接在球型顶盖上。

作为本技术方案的进一步优化,本实用新型多晶合成装置所述的反应监测合成底座包括底部支撑底座、安装立柱、反应加热皿、温度控制线圈、定时器和红外线温度检测仪,定时器和红外线温度检测仪均固定连接在底部支撑底座上,两个安装立柱分别固定连接在底部支撑底座的左右两侧,反应加热皿的左右两端分别固定连接在两个安装立柱上,温度控制线圈固定连接在反应加热皿的外壁上,球型顶盖固定连接在反应加热皿上。

作为本技术方案的进一步优化,本实用新型多晶合成装置所述的自动定量送料桶组包括原料存放量桶、量程刻度线、自动上料电泵、送料管道和管道支撑架,三个原料存放量桶和三个自动上料电泵均固定连接在底部支撑底座上,三个原料存放量桶和三个自动上料电泵相互通过水管连通,三个送料管道分别固定连接在三个自动上料电泵上,三个送料管道均固定连接在管道支撑架上,管道支撑架固定连接在其中一个安装立柱上,三个原料存放量桶上均设置有量程刻度线。

作为本技术方案的进一步优化,本实用新型多晶合成装置所述的球型顶盖和三个原料存放量桶均为耐高温透明塑胶材质。

本实用新型多晶合成装置的有益效果为:

多晶合成装置可以通过三个自动上料电泵将三种不同的催化剂按照定量比例添加到反应加热皿中与原料一起反应并进行合成,同时还可以通过球型顶盖来观察到反应加热皿中合成的情况,进行实时监测和观察;还可以通过搅动电机带动旋转搅动轴进行转动,在必要的时候将原料和催化剂进行搅动,加快合成速率;还可以通过温度控制线圈来控制反应加热皿的温度,使反应加热皿达到合成需要的最适宜温度;还可以通过定时器进行定时,控制反应时间,同时红外线温度检测仪来实时监控反应加热皿的温度,避免反应加热皿温度不适合合成需要的温度。

附图说明

下面结合附图和具体实施方法对本实用新型做进一步详细的说明。

图1为本实用新型多晶合成装置的结构示意图。

图2为多晶合成装置另一个方向的结构示意图。

图3为反应监测合成底座的结构示意图。

图4为搅动观察球形盖的结构示意图。

图5为自动定量送料桶组的结构示意图。

图中:反应监测合成底座1;底部支撑底座1-1;安装立柱1-2;反应加热皿1-3;温度控制线圈1-4;定时器1-5;红外线温度检测仪1-6;搅动观察球形盖2;球型顶盖2-1;进料圆口2-2;配合密封塞2-3;转动丝杆2-4;螺纹连接板2-5;搅动电机2-6;电机安装板2-7;旋转搅动轴2-8;自动定量送料桶组3;原料存放量桶3-1;量程刻度线3-2;自动上料电泵3-3;送料管道3-4;管道支撑架3-5。

具体实施方式

具体实施方式一:

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式,本实用新型涉及多晶合成设备技术领域,更具体的说是多晶合成装置,包括反应监测合成底座1、搅动观察球形盖2和自动定量送料桶组3,所述的自动定量送料桶组3固定连接在反应监测合成底座1上,搅动观察球形盖2固定连接在反应监测合成底座1上,所述的搅动观察球形盖2包括球型顶盖2-1、进料圆口2-2、配合密封塞2-3、转动丝杆2-4、螺纹连接板2-5、搅动电机2-6、电机安装板2-7和旋转搅动轴2-8,旋转搅动轴2-8固定连接在搅动电机2-6的输出轴上,搅动电机2-6通过螺栓可拆卸连接在电机安装板2-7上,电机安装板2-7固定连接在球型顶盖2-1上,旋转搅动轴2-8转动连接在球型顶盖2-1上,球型顶盖2-1顶端设置有进料圆口2-2,球型顶盖2-1固定连接在反应监测合成底座1上,配合密封塞2-3转动连接在转动丝杆2-4底端,转动丝杆2-4通过螺纹连接在螺纹连接板2-5上,螺纹连接板2-5固定连接在球型顶盖2-1上;手动转动转动丝杆2-4,使转动丝杆2-4带动配合密封塞2-3向下移动,使配合密封塞2-3将进料圆口2-2进行堵塞,防止在反应时产生的气体溢出,搅动电机2-6带动旋转搅动轴2-8转动,来将合成原料和催化剂进行搅动。

具体实施方式二:

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式,本实施方式对实施方式一作进一步说明,所述的反应监测合成底座1包括底部支撑底座1-1、安装立柱1-2、反应加热皿1-3、温度控制线圈1-4、定时器1-5和红外线温度检测仪1-6,定时器1-5和红外线温度检测仪1-6均固定连接在底部支撑底座1-1上,两个安装立柱1-2分别固定连接在底部支撑底座1-1的左右两侧,反应加热皿1-3的左右两端分别固定连接在两个安装立柱1-2上,温度控制线圈1-4固定连接在反应加热皿1-3的外壁上,球型顶盖2-1固定连接在反应加热皿1-3上;温度控制线圈1-4来对反应加热皿1-3进行温度控制,使反应加热皿1-3温度到达合成需要的适合温度范围内。

具体实施方式三:

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式,本实施方式对实施方式二作进一步说明,所述的自动定量送料桶组3包括原料存放量桶3-1、量程刻度线3-2、自动上料电泵3-3、送料管道3-4和管道支撑架3-5,三个原料存放量桶3-1和三个自动上料电泵3-3均固定连接在底部支撑底座1-1上,三个原料存放量桶3-1和三个自动上料电泵3-3相互通过水管连通,三个送料管道3-4分别固定连接在三个自动上料电泵3-3上,三个送料管道3-4均固定连接在管道支撑架3-5上,管道支撑架3-5固定连接在其中一个安装立柱1-2上,三个原料存放量桶3-1上均设置有量程刻度线3-2;将不同的催化剂装满到三个原料存放量桶3-1中,三个自动上料电泵3-3分别将三个原料存放量桶3-1中的催化剂安装合成需要的顺序和体积分别通过三个送料管道3-4添加到反应加热皿1-3中。

具体实施方式四:

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式,本实施方式对实施方式三作进一步说明,所述的球型顶盖2-1和三个原料存放量桶3-1均为耐高温透明塑胶材质;耐高温避免融化,同时透明能够直接观察到里面合成情况个催化剂的情况。

本实用新型多晶合成装置的工作原理:首先使温度控制线圈1-4对反应加热皿1-3进行温度控制,使反应加热皿1-3温度到达合成需要的适合温度范围内,将不同的催化剂装满到三个原料存放量桶3-1中,三个自动上料电泵3-3分别将三个原料存放量桶3-1中的催化剂安装合成需要的顺序和体积分别通过三个送料管道3-4和进料圆口2-2添加到反应加热皿1-3中,再将原料通过进料圆口2-2加进反应加热皿1-3中,然后手动转动转动丝杆2-4,使转动丝杆2-4带动配合密封塞2-3向下移动,使配合密封塞2-3将进料圆口2-2进行堵塞,防止在反应时产生的气体溢出,搅动电机2-6带动旋转搅动轴2-8转动,来将合成原料和催化剂进行搅动,加快合成效率,合成完毕后,再由反应加热皿1-3底端排出即可。

当然,上述说明并非对本实用新型的限制,本实用新型也不仅限于上述举例,本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换,也属于本实用新型的保护范围。

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