一种全熔高效多晶硅铸锭用籽晶及其制备方法和应用_2

文档序号:8313986阅读:来源:国知局
的球状SiC-Si〇2复合颗粒作为巧晶材料,可 W实现全烙铸锭的引晶效果,并降低娃锭底部红区(低少子寿命区)高度,降低娃锭底部氧 含量;
[0033] (2)由于在球状SiC-Si化复合颗粒表面局部包覆氮化娃涂层,可W避免球状 SiC-Si化复合颗粒在娃料烙化过程中的软化甚至部分溶解而结块,导致引晶效果失效;
[0034] (3)与目前普遍使用的全烙巧晶相比,本发明中的巧晶直接铺设于相蜗底部的氮 化娃涂层之上,而非固定于相蜗底部和氮化娃涂层之间,因而可W从根本上避免粘蜗风险; 由于该巧晶无需控制引晶点间距,因而可实现更好的引晶效果,降低娃锭中位错比例;由于 使用表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC和Si化复合材料作为巧晶,较石英颗粒巧晶, 可显著降低娃锭中下部的间隙氧含量。
【附图说明】
[0035] 图1是本发明【背景技术】中娃料烙化步骤引晶层结构示意图;
[0036] 图2是本发明【背景技术】中巧晶溶蚀步骤示意图;
[0037] 图3是本发明【背景技术】中不同溶蚀程度引晶层的实物图(A ;溶蚀不足巧;溶蚀过 渡);
[003引图4是本发明【背景技术】中引晶生长步骤示意图;
[0039] 图5是本发明【背景技术】中断裂脱离步骤示意图;
[0040] 图6是本发明【背景技术】中断裂脱离后娃锭底部和相蜗底部形貌;
[0041] 图7是本发明实施例1-6中制成的表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化复 合颗粒;
[0042] 其中图1-6中,1为巧晶,2为氮化娃涂层,3为娃烙体;4为石英相蜗;5为溶蚀凹 坑;6为娃晶体;7为断裂截面,8为娃锭。
【具体实施方式】
[0043] 实施例1
[0044] 本实施例提供的全烙高效多晶娃铸锭用巧晶,该巧晶为表面局部包覆有氮化娃涂 层的球状SiC-Si化复合颗粒,如图7中所示。
[0045] 该表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化复合颗粒中SiC和SiO 2的质量份 配比为99:1。
[0046] 上述表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化复合颗粒通过W下方法制备获 得:
[0047] 首先,采用溶胶凝胶法将SiC和Si化制成球状SiC-Si〇2复合颗粒,具体过程是:室 温下,按SiC粉末和Si〇2颗粒的质量份配比为99:1取SiC粉末和SiO 2颗粒,与聚氨醋、丙 締酸树脂、醋酸己締树脂等中的一种或几种的混合物混合制成溶胶,待溶胶老化成凝胶后 粉碎造粒并进行初步筛选,将筛选后的颗粒进行700-1000°C高温烘烤使凝胶颗粒收缩形成 球状微粒,即制备得球状SiC-Si化复合颗粒。
[0048] 其次,采用二次溶胶凝胶法在球状SiC-Si〇2复合颗粒表面局部包覆氮化娃涂层, 具体过程是;(1)、将球状的Sic-Si化复合颗粘结于树脂基板上,通过控制粘合剂(聚氨醋、 丙締酸树脂、醋酸己締树脂中的一种或几种的混合物)的用量控制SiC-Si化复合颗粒在粘 合剂中的埋藏深度,一般将SiC-Si〇2复合颗粒的40~70 %部分埋藏在粘合剂中;(2)、采用 流延法对SiC-Si化复合颗粒的暴露部分进行氮化娃涂层处理;(3)、采用氨氧火焰或酒精火 焰烧结将氮化娃涂层固定于SiC-Si化复合颗粒表面,并将树脂基板和粘合剂燃烧去除,获 得目标产品。将目标产品进行筛选即可制成的表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化 复合颗粒。
[0049] 选粒径为2~4mm表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si〇2复合颗粒作为巧 晶进行铸锭实验。
[0050] 实施例2
[0化1] 本实施例提供的全烙高效多晶娃铸锭用巧晶,该巧晶为表面局部包覆有氮化娃涂 层的球状SiC-Si化复合颗粒,如图7中所示。
[0化引该表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化复合颗粒中SiC和SiO 2的质量份 配比为80:20。
[0化3] 首先,采用溶胶凝胶法将SiC和Si化制成球状SiC-Si〇2复合颗粒,具体过程是:室 温下,按SiC粉末和Si〇2颗粒的质量份配比为80:20取SiC粉末和SiO 2颗粒,与聚氨醋、丙 締酸树脂、醋酸己締树脂等中的一种或几种的混合物混合制成溶胶,待溶胶老化成凝胶后 粉碎造粒并进行初步筛选,将筛选后的颗粒进行700~1000°C高温烘烤使凝胶颗粒收缩形 成球状微粒,即制备得球状SiC-Si化复合颗粒。
[0化4] 其次,采用二次溶胶凝胶法在球状SiC-Si〇2复合颗粒表面局部包覆氮化娃涂层, 具体过程是;(1)、将球状的SiC-Si化复合颗粘结于树脂基板上,通过控制粘合剂(聚氨醋、 丙締酸树脂、醋酸己締树脂中的一种或几种的混合物)的用量控制SiC-Si化复合颗粒在粘 合剂中的埋藏深度,一般将SiC-Si〇2复合颗粒的40~70%部分埋藏在粘合剂中;(2)、采用 流延法对SiC-Si化复合颗粒的暴露部分进行氮化娃涂层处理;(3)、采用氨氧火焰或酒精火 焰烧结将氮化娃涂层固定于SiC-Si化复合颗粒表面,并将树脂基板和粘合剂燃烧去除,获 得目标产品。将目标产品进行筛选即可制成的表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化 复合颗粒。
[0化5] 选粒径为1~2mm的表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化复合颗粒作为 巧晶进行铸锭实验。
[0056] 实施例3
[0057] 本实施例提供的全烙高效多晶娃铸锭用巧晶,该巧晶为表面局部包覆有氮化娃涂 层的球状SiC-Si化复合颗粒,如图7中所示。
[0化引该表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si02复合颗粒中SiC和SiO 2的质量份 配比为60:40。
[0化9] 首先,采用溶胶凝胶法将SiC和Si〇2制成球状SiC-Si〇2复合颗粒,具体过程是:室 温下,按SiC粉末和Si化颗粒的质量份配比为60:40取SiC粉末和SiO 2颗粒,与聚氨醋、丙 締酸树脂、醋酸己締树脂等中的一种或几种的混合物混合制成溶胶,待溶胶老化成凝胶后 粉碎造粒并进行初步筛选,将筛选后的颗粒进行700-1000°C高温烘烤使凝胶颗粒收缩形成 球状微粒,即制备得球状SiC-Si化复合颗粒。
[0060] 其次,采用二次溶胶凝胶法在球状SiC-Si化复合颗粒表面局部包覆氮化娃涂层, 具体过程是;(1)、将球状的SiC-Si〇2复合颗粘结于树脂基板上,通过控制粘合剂(聚氨醋、 丙締酸树脂、醋酸己締树脂中的一种或几种的混合物)的用量控制SiC-Si化复合颗粒在粘 合剂中的埋藏深度,一般将SiC-Si〇2复合颗粒的40~70%部分埋藏在粘合剂中;(2)、采用 流延法对SiC-Si化复合颗粒的暴露部分进行氮化娃涂层处理;(3)、采用氨氧火焰或酒精火 焰烧结将氮化娃涂层固定于SiC-Si化复合颗粒表面,并将树脂基板和粘合剂燃烧去除,获 得目标产品。将目标产品进行筛选即可制成的表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化 复合颗粒。
[0061] 选粒径为0. 5~1mm表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si化复合颗粒作为 巧晶进行铸锭实验。
[0062] 实施例4
[0063] 本实施例提供的全烙高效多晶娃铸锭用巧晶,该巧晶为表面局部包覆有氮化娃涂 层的球状SiC-Si化复合颗粒,如图7中所示。
[0064] 该表面局部包覆有氮化娃涂层的球状SiC-Si〇2复合颗粒中SiC和SiO 2的质量份 配比为50:50。
[00化]首先,采用溶胶凝胶法将SiC和Si〇2制成球状SiC-Si〇2复合颗粒,具体过
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1