一种磷化铟多晶无液封合成装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种磷化铟多晶的合成装置，尤其是涉及一种磷化铟多晶的无液封接合成装置。
【背景技术】
[0002]随着科技的发展和进步，半导体材料愈来愈多地应用在光电器件中，例如磷化铟多晶等材料，而磷化铟多晶等材料需要合成，目前现有的磷化铟多晶的合成工艺存在着众多缺陷和不便，合成的磷化铟多晶结晶性不好并且成品率较低。因此，寻找一种能够避免以上缺陷的无液封接合成装置成为目前最为迫切的需要。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种磷化铟多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单兀、加热单兀和合成单兀，保温单兀包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元，运动单元与合成单元、合成炉体相连接；石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。
【具体实施方式】
[0004]下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0005]该磷化铟多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元，运动单元与合成单元、合成炉体相连接；石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。
【主权项】
1.一种磷化铟多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元，运动单元与合成单元、合成炉体相连接；石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。
【专利摘要】本发明提供一种磷化铟多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元，运动单元与合成单元、合成炉体相连接；石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。
【IPC分类】C30B29-40, C30B28-04
【公开号】CN104695013
【申请号】CN201310646123
【发明人】王雪梅, 孟宪斌
【申请人】青岛润鑫伟业科贸有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2013年12月4日