翻转。
[0025]如图1所示，进一步地，沉降槽2的形状为矩形，限位件设置在沉降槽2的对角线上，上夹板上的限位件为限位孔6，下夹板上的限位件为与限位孔配合的凸起部5。在沉降槽2的对角线上设置限位件由此可以通过设置最少的限位件，达到最好的限位效果。优选地，可以在沉降槽2的两个对角线上分别设置限位件(参见图1)，由此可以可靠地实现扣合的上夹板和下夹板的翻转。凸起部5的高度值应小于限位孔的孔深值，使得上夹板贴合于下夹板，避免衬底发生较大的晃动。
[0026]如图1和图3所示，沉降槽2的侧边相对设置有与沉降槽2贯通的外扩耳4，并且外扩耳4的深度大于凸台3的深度，外扩耳4沿沉降槽2的侧边的长度大于用于夹持衬底的镊子尖部的长度。外扩耳4的设置目的是对于用于夹持衬底的镊子尖部给出空间，方便操作人员采用镊子将衬底放置在下夹板的凸台上。可以看出，外扩耳4的深度可以大于沉降槽2的深度，也可以小于沉降槽2的深度，只要其深度大于凸台3的深度，能够容纳用于夹持沉底的镊子尖部即可。
[0027]另外，需要说明的是，本实用新型中所述的深度是指朝向沉降槽2的底部的尺寸。
[0028]优选地，相比于衬底的宽度和长度，沉降槽2的宽度和长度对应地多出0.5_。由此留出空间，以便于放置衬底到凸台3上。进一步地，凸台3沿沉降槽2的横截面方向的宽度为0.1mm,由此可以放置衬底。凸台3沿沉降槽2的径向方向的宽度不能太宽，以免划伤衬底的表面。
[0029]另夕卜，凸台3的深度为0.65mm。衬底的厚度大约为1.2mm，凸台3的深度是0.65mm，当上夹板扣合于下夹板进行翻转时，衬底不会发生较大的晃动和错动，确保衬底的表面质量。进一步地，凸台3的上表面距离沉降槽2的底部为0.5mm。由此当衬底放置在凸台3上时，衬底的朝向沉降槽底部的表面不会碰触到沉降槽的底部，确保衬底的表面不会划伤。
[0030]优选地，转移夹具采用聚四氟乙烯材料制成，以确保转移夹具耐酸碱腐蚀，并且避免污染已经清洗过的衬底表面。
[0031]需要说明的是，本实用新型的转移夹具及其各个部件的尺寸可以根据实际需要进行各种改变，以适应不同的衬底材料、衬底尺寸等要求。
[0032]下面简单描述一下采用本实用新型的转移夹具对碲锌镉衬底进行转移，其中，衬底的尺寸为20mmX25mm，转移夹具为聚四氟乙稀材料制成，该方法步骤如下:
[0033]步骤1:将通过标准清洗后的转移夹具浸泡在MOS-1I级无水乙醇中待用，使用时将其从无水乙醇中取出，在超净环境下晾干或使用氮气枪吹干；
[0034]步骤2:使用聚四氟乙烯材料制成的方头镊子将已经清洗过的衬底从MOS-1I级无水乙醇中取出，在超净环境下晾干或使用氮气枪吹干后放置在转移夹具的下夹板的沉降槽的凸台上；
[0035]步骤3:将上夹板盖在下夹板上，并且使得凸起部与限位孔配合好，以确保衬底被放置在上夹板的凸台和下夹板的凸台之间；
[0036]步骤4:将扣合好的转移夹具移到与设备进样室连接的手操箱中；
[0037]步骤5:将扣合好的转移夹具翻转，使得上夹板翻到下夹板的下方，打开下夹板，此时衬底材料支撑在上夹板的凸台上，并且衬底的上表面向下；
[0038]步骤6:使用吸笔将衬底转移到钼拖上后，放入到进样室中，由此完成衬底的转移。
[0039]通过【具体实施方式】的说明，应当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效得以更加深入且具体的了解，然而所附图示仅是提供参考与说明之用，并非用来对本实用新型加以限制。
【主权项】
1.一种用于分子束外延工艺中碲锌镉衬底的转移夹具，其特征在于，包括上夹板和下夹板，所述上夹板和所述下夹板分别包括: 基板，所述基板上设置有沉降槽，所述沉降槽的侧壁上设置有用于支撑衬底的凸台，当所述上夹板扣合于所述下夹板上时，所述上夹板的沉降槽对应所述下夹板的沉降槽，以形成容纳所述衬底的空腔。2.根据权利要求1所述的转移夹具，其特征在于，所述沉降槽的周缘设置有限位件，当所述上夹板扣合于所述下夹板时，所述上夹板上的限位件与所述下夹板上的限位件配合，以限制所述上夹板和所述下夹板沿所述上夹板和所述下夹板的接触面相对移动。3.根据权利要求2所述的转移夹具，其特征在于，所述沉降槽的形状为矩形，所述限位件设置在所述沉降槽的对角线上，所述上夹板上的限位件为限位孔，所述下夹板上的限位件为与所述限位孔配合的凸起部。4.根据权利要求3所述的转移夹具，其特征在于，所述沉降槽的侧边相对设置有与所述沉降槽贯通的外扩耳，并且所述外扩耳的深度大于所述凸台的深度，所述外扩耳沿所述沉降槽的侧边的长度大于用于夹持所述衬底的镊子尖部的长度。5.根据权利要求3或4所述的转移夹具，其特征在于，相比于所述衬底的宽度和长度，所述沉降槽的宽度和长度对应地多出0.5mm。6.根据权利要求5所述的转移夹具，其特征在于，所述凸台沿所述沉降槽的横截面方向的宽度为0.1mm。7.根据权利要求5所述的转移夹具，其特征在于，所述凸台的深度为0.65mm。8.根据权利要求5所述的转移夹具，其特征在于，所述凸台的上表面距离所述沉降槽的底部为0.5mm。9.根据权利要求1所述的转移夹具，其特征在于，所述转移夹具采用聚四氟乙烯材料制成。
【专利摘要】本实用新型提出了一种用于分子束外延工艺中碲锌镉衬底的转移夹具，其包括上夹板和下夹板，所述上夹板和所述下夹板分别包括：基板，所述基板上设置有沉降槽，所述沉降槽的侧壁上设置有用于支撑衬底的凸台，当所述上夹板扣合于所述下夹板上时，所述上夹板的沉降槽对应所述下夹板的沉降槽，以形成容纳所述衬底的空腔，可以方便地将衬底转移至分子束外延设备中，并且避免衬底表面受到污染。
【IPC分类】C30B25/02, C30B23/02
【公开号】CN204779920
【申请号】CN201520442771
【发明人】王经纬
【申请人】中国电子科技集团公司第十一研究所
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年6月25日