化合物，光固化性组合物，和通过使用所述光固化性组合物的图案化膜、光学组件、电路板 ...的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及化合物，光固化性组合物，和通过使用所述光固化性组合物的图案化 膜、光学组件、固化物、电路板和电子组件的制造方法。
【背景技术】
[0002] 光（纳米）压印法是用于在例如加工基板等基板上生产图案化抗蚀膜的技术之 〇
[0003] 包括长的照射步骤的光（纳米）压印法具有低的生产性的缺点。如果模具与固化 的抗蚀剂分离所需要的力（脱模力）大，则例如图案的缺陷和由基板从台架的剥离导致的 对齐精度降低等各种问题会发生。
[0004] 为了克服这些缺点，日本专利特开No. 2010-114209公开了一种光（纳米）压印 法，其中将供氢体添加至光固化性组合物中，从而改善光固化速度。
[0005] 日本专利特开No. 2007-084625公开了一种技术：将氟系表面活性剂添加至光固 化性组合物，从而降低脱模力。然而，需要光固化速度的进一步改善以改善生产性，并且需 要可以进一步降低与模具的脱模力的技术。
[0006] [引用列表]
[0007] [专利文献]
[0008] [专利文献1]日本专利特开No. 2010-114209
[0009] [专利文献2]日本专利特开No. 2007-084625
【发明内容】
[0010] 本发明提供一种由通式（1)表示的化合物。
[0011] [化学式1]
[0013] 在通式（1)中，Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，R。表示氧化烯基或氧化烯基 的重复结构，N表不氣原子，1^表不烷基，和R 8表不烷基或氛原子。
[0014] 本发明可以提供具有高的感光度、能够形成可以使用较小的力与模具脱离的固化 物的光固化性组合物，实现此类性质的化合物，和通过使用所述光固化性组合物的膜、光学 组件、电路板和电子组件的制造方法。
【附图说明】
[0015] [图1A]图IA是示出根据一个实施方案的膜的制造方法的实例的示例性截面图。
[0016] [图1B]图IB包括示出根据一个实施方案的膜的制造方法的实例的示例性截面 图。
[0017] [图1C]图IC包括示出根据一个实施方案的膜的制造方法的实例的示例性截面 图。
[0018] [图1D]图ID是示出根据一个实施方案的膜的制造方法的实例的示例性截面图。
[0019] [图1E]图IE是示出根据一个实施方案的膜的制造方法的实例的示例性截面图。
[0020] [图1F]图IF是示出根据一个实施方案的膜的制造方法的实例的示例性截面图。
[0021] [图2]图2是示出装配有照射机构的衰减全反射红外光谱仪的示意图。
【具体实施方式】
[0022] 现在将参考附图来详细地描述本发明的实施方案。这些实施方案不限制本发明的 范围。在本发明的主旨范围内，基于本领域技术人员的常识，使下述实施方案进行改造、修 改、改善等，并且此类改造等在本发明的范围内。
[0023] 根据一个实施方案的光固化性组合物包含组分（A)、组分（B)和组分（C):
[0024] (A)聚合性化合物
[0025] (B)光聚合引发剂
[0026] (C)由以下通式（1)表示的供氢体。
[0027] [化学式2]
[0029] 在通式（1)中，Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，R。表示氧化烯基或氧化烯基 的重复结构，N表不氣原子，1^表不烷基，和R 8表不烷基或氛原子。
[0030] 这些组分的详细说明如下。
[0031] [组分（A):聚合性化合物]
[0032] 组分（A)是聚合性化合物。在本实施方案和本发明中，聚合性化合物是与由光聚 合引发剂（下述组分（B))产生的聚合因子（例如自由基）反应并且形成由链反应（聚合 反应）产生的高分子化合物的膜的化合物。
[0033] 聚合性化合物的实例包括自由基聚合性化合物。用作组分（A)的聚合性化合物可 以由一种聚合性化合物或两种以上的聚合性化合物组成。
[0034] 自由基聚合性化合物可以是具有一个以上的丙烯酰基或甲基丙烯酰基的化合物。
[0035] 具有一个丙烯酰基或甲基丙烯酰基的单官能（甲基）丙烯酰基化合物的实例包 括，但不限于，苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、苯氧基-2-甲基乙基（甲基）丙烯酸酯、苯氧 基乙氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、3-苯氧基-2-羟基丙基（甲基）丙烯酸酯、2-苯基苯氧基 乙基（甲基）丙烯酸酯、4-苯基苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、3-(2-苯基苯基）-2-羟基 丙基（甲基）丙烯酸酯、EO改性的对枯基苯酚（甲基）丙烯酸酯、2-溴苯氧基乙基（甲基） 丙烯酸酯、2, 4-二溴苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、2, 4, 6-三溴苯氧基乙基（甲基）丙烯 酸酯、EO改性的苯氧基（甲基）丙烯酸酯、PO改性的苯氧基（甲基）丙烯酸酯、聚氧乙烯壬 基苯基醚（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸异冰片基酯、1-金刚烷基（甲基）丙烯酸酯、 2-甲基-2-金刚烷基（甲基）丙烯酸酯、2-乙基-2-金刚烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基） 丙烯酸冰片基酯、三环癸烷基（甲基）丙烯酸酯、二环戊烷基（甲基）丙烯酸酯、二环戊烯 基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸环己基酯、4-丁基环己基（甲基）丙烯酸酯、丙烯酰 基吗啉、（甲基）丙烯酸2-羟基乙酯、（甲基）丙烯酸2-羟基丙酯、（甲基）丙烯酸2-羟 基丁酯、（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸 异丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸异丁酯、（甲基）丙烯 酸叔丁酯、（甲基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸异戊酯、（甲基）丙烯酸己酯、（甲基）丙 烯酸庚酯、（甲基）丙烯酸辛酯、（甲基）丙烯酸异辛酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲 基）丙烯酸壬酯、（甲基）丙烯酸癸酯、（甲基）丙烯酸异癸酯、（甲基）丙烯酸十一烷基 酯、（甲基）丙烯酸十二烷基酯、（甲基）丙烯酸月桂基酯、（甲基）丙烯酸硬脂基酯、（甲 基）丙烯酸异硬脂基酯、（甲基）丙烯酸苄酯、四氢化糠基（甲基）丙烯酸酯、丁氧基乙基 (甲基）丙烯酸酯、乙氧基二甘醇（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇单（甲基）丙烯酸酯、聚丙二 醇单（甲基）丙烯酸酯、甲氧基乙二醇（甲基）丙烯酸酯、乙氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、 甲氧基聚乙二醇（甲基）丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇（甲基）丙烯酸酯、双丙酮（甲基）丙 烯酰胺、异丁氧基甲基（甲基）丙烯酰胺、N，N-二甲基（甲基）丙烯酰胺、叔辛基（甲基） 丙烯酰胺、二甲基氨基乙基（甲基）丙烯酸酯、二乙基氨基乙基（甲基）丙烯酸酯、7-氨 基-3, 7-二甲基辛基（甲基）丙烯酸酯、N，N-二乙基（甲基）丙烯酰胺和N，N-二甲基氨 基丙基（甲基）丙烯酰胺。
[0036] 单官能（甲基）丙烯酰基化合物的商购产品的实例包括，但不限于，ARONIX M101、 M102、M110、Mill、M113、M117、M5700、T0-1317、M120、M150 和 M156 (Toagosei Co.，Ltd.的 产品）；MED0L 10, MIBDOL 10, CHDOL 10, MMDOL 30, MEDOL 30, MIBDOL 30, CHDOL 30, LA， IBXA，2-MTA，HPA，和 Viscoat#150、#155、#158、#190、#192、#193、#220、#2000、#2100、和 #2150 (Osaka Organic Chemical Industry Ltd.的产品）；LIGHT ACRYLATE B〇-A、EC-A、 DMP-A、THF-A、H0P-A、H0A-MPE、H0A-MPL、P0-A、P-200A、NP-4EA 和 NP-8EA，以及 EPOXY ESTER M-600A(Kyoeisha Chemical Co. ,Ltd.的产品）；KAYARAD TC110S、R-564 和 R-128H(NIPP0N KAYAKU Co. Ltd.的产品）；NK ESTER AMP-10G 和 AMP-20G(Shin-Nakamura Chemical Co.，Ltd.的产品）；FA-511A、512A 和 513A(Hitachi Chemical Co.，Ltd.的产品）；PHE、 CEA、PHE-2、PHE-4、BR-31、BR-31M和BR-32(Dai-IchiKogyoSeiyakuCo·，Ltd·的产品） ；VP(BASF 的产品）；和 ACM0、DMM 和 DMAPAA(K0HJIN Holdings Co.，Ltd.的产品）。
[0037] 具有两个以上的丙烯酰基或甲基丙烯酰基的多官能（甲基）丙烯酰基化合物的实 例包括，但不限于，三羟甲基丙烷二（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、 EO改性的三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、PO改性的三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸 酯、E0, PO改性的三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇三（甲基）丙烯酸酯、季戊四 醇四（甲基）丙烯酸酯、乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、四甘醇二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二 醇二（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、1，4-丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、 1，6-己二醇二（甲基）丙烯酸酯、新戊二醇二（甲基）丙烯酸酯、三（2-羟基乙基）异氰脲 酸酯三（甲基）丙烯酸酯、三（丙烯酰氧基）异氰脲酸酯、双（羟基甲基）三环癸烷二（甲 基）丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、EO改性 的2, 2-双（4-((甲基）丙烯酰氧基）苯基）丙烷、PO改性的2, 2-双（4-((甲基）丙烯酰 氧基）苯基）丙烷和E0, PO改性的2, 2-双（4-((甲基）丙烯酰氧基）苯基）丙烷。
[0038] 多官能（甲基）丙烯酰基化合物的商购产品的实例包括：YUP頂ER UV SA1002和 SA2007 (Mitsubishi Chemical Corporation 的产品）；Viscoat#195、#230、#215、#260、 #335HP、#295、#300、#360、#700、GPT 和 3PA (Osaka Organic Chemical Industry Ltd.的 产品）；LIGHT ACRYLATE 4EG-A、9EG-A、NP-A、DCP-A、BP-4EA、BP-4PA、TMP-A、PE-3A、PE-4A 和 DPE-6A(Kyoeisha Chemical Co. ,Ltd.的产品）；KAYARAD PET-30、TMPTA、R-604、DPHA， 0卩〇八-20、-30、-60、-120，取-620,0-310，和0-330(肌？卩(^1^￥八1(1](：〇.1^(1.的产品） ；八1?(^1父 M208、M210、M215、M220、M240、M305、M309、M310、M315、M325 和 M400(Toagosei Co.，Ltd.的 产品）；和 Ripoxy VR-77、VR-60 和 VR-90 (Showa Highpolymer Co.，Ltd.的产品）。
[0039] 在上述化合物组中，"（甲基）丙烯酸酯"是指丙烯酸酯和等同的