专利名称：气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法、设备及喷头的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法、设备及喷头，尤其是指一种其主要涂布的厚度在微米等级，且能均勻的分布在圆形工作件上的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法、设备及喷头。
背景技术：
目前将高分子溶液涂布在圆形工作件表面的方法大致可分为二种，其一为喷枪喷雾式，其二为刮刀式。该喷枪喷雾式是先将高分子溶液(例如光阻、UV胶)填装于喷枪里，高分子溶液经过喷枪头后形成雾状液滴，再由高压空气喷出附着于圆形工作件上，完成圆形工作件涂布。然而，在该喷枪喷雾式的技术中，因喷枪的出口压力均属于高斯分布(中间较强，两边较弱)，因此，液滴的大小在微米级时，也容易分布不均。故此技术无法涂布出厚度在1微米以下且高均勻度的高分子薄膜。而该刮刀式(请参阅图14)，则主要是利用一平板刮刀7，将圆形工作件8多余的高分子溶液9刮除，利用调整刮刀7和圆形工作件8之间的间隙，来决定高分子溶液9涂布的厚度。然而，在该刮刀式的技术中，刮刀7刮除多余高分子溶液9的设计虽可达到一定的均勻性，但以机械进刀的方式，很难让刮刀7距离圆形工作件8低于10微米下的距离，更无法达到1微米的移动精度，因此，仍然无法涂布出厚度在1微米以下的高分子薄膜。而且， 在刮刀7脱离圆形工作件8时，也会在该区域造成沾粘，导致真圆不佳的情形。有鉴于此，本发明遂发展出气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布技术来取代喷枪式及刮刀式，以改善上述公知技术的种种缺点。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种专用于涂布圆形工作件的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法，该方法具有可轻易、快速的将高分子溶液涂布圆形工作件上，且涂布在该圆形工作件的高分子溶液具有高均勻度、高真圆度、无接缝点、超薄膜厚度等优点。本发明的关键技术之一是使用气压控制厚度，为此本发明制作出一高压圆型气环，让被涂布的圆形工作件以自体旋转的方式通过圆形气环，气环中通入高压空气或纯净氮气，高压空气会挤压圆形工作件上的高分子溶液使其均勻化，即利用控制气体的压力来调整挤压的力量，使膜厚有不同的变化。本发明的再一关键技术就是出料口与圆形工作件的间隙控制初始厚度，本发明将被涂布的圆形工作件夹置于旋转机构上使其自体旋转，出料口设置于圆形工作件上面，且调整与圆形工作件的距离，原料自出料口输出后，即与旋转中的圆形工作件接触，利用圆形工作件的自体旋转，将高分子溶液预先涂布在圆形工作件表面，出料口并可将高于间隙的剩余高分子溶液刮除，且导引多余的高分子溶液到圆形工作件的径向与轴向。因此，出料口兼具有出料和刮除余料的功能。
本发明的另一关键技术就是利用转速控制初始的厚度与均勻度，本发明将被涂布的圆形工作件夹置于旋转机构上使其自体旋转，并透过数字化面板调整转速，此转速决定在单位时间内，圆形工作件表面通过出料口的频率；转速愈快，每秒通过出料口的次数愈多，均勻度愈好。本发明的再一关键技术就是间隙控制均勻度，圆形工作件与气环之间的间隙的大小，直接的影响到达圆形工作件表面的气压分布，在相同的转速和气体压力之下，在特定的间隙下，可使涂布出的高分子薄膜均勻度最佳。本发明的再一关键技术为进环速度控制均勻度，由于本发明使用高压空气将多余的高分子溶液挤除，因此在圆形工作件通过圆形气环的速度将决定整个产出的高分子薄膜的均勻度。当进环速度愈慢，圆形工作件上每一个点将会通过气体挤压的时间将变长，使得膜厚更均勻。本发明的另一目的为提供一种不同的高分子溶液均可使用本方法涂布于圆形工作件上，因此涂布材质和涂底材都有多样的变化，克服了圆形工作件上涂布的问题。为实现的上述目的，本发明提出一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法， 至少包括先提供任意材质的圆形工作件(例如钢材、玻璃、高分子聚合物)，其中此圆形工作件需有基本的真圆度、真直度要求；并将圆形工作件架置于旋转机构上，接着将所要涂布材质(如光阻剂、UV胶)填充于一泵中，此泵会稳定的将涂布原料由圆形工作件上方的出料口送出，这时调整出料口和圆形工作件的间隙，来达到预定涂布厚度。继启动旋转机构，让圆形工作件作自体旋转，并且调控所需的转速。接着设定环形气流的压力大小，且令环形气流朝圆形工作件方向前进，使环形气流与旋转中的圆形工作件相对运动。此时，出料口会先送出高分子材料，由于圆形工作件的自体旋转，使得高分子材料依循着旋转方向涂布于圆形工作件的表面，紧接着环形气流便开始挤压圆形工作件表面的涂布原料，使其达到所需要的厚度。而本发明针对上述目的所提供的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备，至少包括旋转机构，设于机台上，并具有固定部，其可固定圆形工作件并带动圆形工作件旋转； 平移机构，其设于该机台上，并具有导引该平移机构朝向旋转机构方向移动的导引部；原料供给机构，其可调整流量，稳定的供给高分子材料于出料口送出；环形气流产生装置，该环形气流产生装置受平移机构带动并以朝向圆形工作件的方向移动，使该环形气流产生装置产生的环形气流与旋转中的圆形工作件呈相对运动，且令环形气流作用于该圆形工作件的表面，所述表面为圆形工作件的外表面或内表面其中之一，以借环形气流挤压涂布在圆形工作件表面的涂布原料。在上述的原料供给机构的出料口处装设有喷头，与一原料供给机构的出料口衔接，该喷头具有一贯穿的管道，该喷头对应圆形工作件的端面上具有导料沟槽及与圆形工作件接触的部位，且该导料沟槽与该管道相通；该导料沟槽包括有纵向导料沟槽及横向导料沟槽，利用导料沟槽引导多余的原料往该导料沟槽设置的方向溢流，而透过接触部位将高分子材料涂抹于圆形工作件表面；借此，让圆形工作件表面所涂布的高分子材料厚度相等，并达到均勻与平整度佳的表面涂布效果者。在本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备中，该环形气流所使用的气体可为高压空气、纯净氮气。而该圆形工作件需经过精密研磨加工，达到2微米以下真圆度和真直度，材质可为中碳钢、高碳钢。圆形工作件和环形气流产生装置间须留间隙。另于本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备中，该环形气流产生装置于一气环的内面设置多个等距设立的气孔，每一个气孔均与一贯穿气环壁面的进气孔相连通，该进气孔则连接气体供应源，当气体供应源开始供应高压气体时，透过气环内面的气孔，使高压气流由该气孔输出并据此形成环形气流。该环形气流产生装置的另一较佳设计在一气环的内面设置一环形缝隙，该环形缝隙与一贯穿气环壁面的进气孔相连通，该进气孔则连接气体供应源，使高压气流由该环形缝隙输出并据此形成环形气流。该环形气流产生装置的又一较佳设计具设一中空的筒体，该筒体的一端具有开口，该开口的口径略大于圆形工作件的直径，使圆形工作件能穿套其中，该筒体的另一端为高压气体的输入端，如此即能在该筒体的开口与圆形工作件间的缝隙处产生该环形气流。上述该环形气流产生装置应用在对圆形工作件的外表面的薄膜涂布上。该环形气流产生装置的再一较佳设计，在一气环(筒体)的外面设置一环形缝隙， 该环形缝隙与气环的内部相通，使高压气流由该环形缝隙输出并据此形成环形气流。而此环形气流产生装置适用于对圆形工作件的内表面的薄膜涂布作业上。本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备利用旋转机构(如车床)的主要目的有1.可数字化调控转速。2.可设定自动进环速度。3.夹置方便、稳定性高。
以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中图1为本发明其一较佳实施例立体外观图；图2为本发明其一较佳实施例中的气环结构图；图3为本发明其一较佳实施例中的气环结构暨与圆形工作件的侧视图；图4为本发明喷头的立体外观示意图；图5为本发明喷头的立体剖视示意图；图6为本发明喷头的使用状态示意图；图7为本发明其二较佳实施例中的气环结构图；图8为本发明其二较佳实施例中的气环结构暨与圆形工作件的侧视图；图9为本发明其三较佳实施例中的气环结构暨与圆形工作件的侧视图；图10为本发明其四较佳实施例中的气环结构暨与圆形工作件的侧视图；图11为本发明其一较佳实施例于借环形高压气流挤压涂布在圆形工作件表面上的涂布原料的作动示意图；图12 (a)本发明于实际进行涂布后所量测圆形工作件表面薄膜厚度的图表；(b)本发明于实际进行涂布后所量测圆形工作件表面薄膜厚度的曲线图；(c)本发明于实际进行涂布后所量测圆形工作件表面各点示意图13为本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布
图14为以刮刀式方式将高分子:i容液涂布在圆形工作件
主要元件标号说明
(本发明)
1旋转机构11固定部
2圆形工作件3平移机构
31导引部
4环形气流产生装置
41气环411气孔
412进气孔413气体供应源
414第一部件4141基部
4142第一环部415第二部件
4151第二环部4152凸缘
416密封垫417密封垫
42气环421环形缝隙
422进气孔423气体供应源
424第一部件4241基部
4242第一环部425第二部件
4251第二环部4252凸缘
426密封垫43筒体
431开口432输入端
44筒体441环形缝隙
442气体供应源5机台
6原料供给机构61出料口
62喷头621管道
622导料沟槽623部位
622a纵向导料沟槽622b横向导料沟槽
(现有技术)
7刮刀8圆形工作件
9高分子溶液
具体实施例方式为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照
本发明的具体实施方式
。本发明揭露一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法、设备及喷头，其可将欲涂布的材料快速均勻的涂布在圆形工作件的外表面或内表面上，提供后续在圆形工作件上的制程，如准分子激光加工，黄光光刻等制程，将细微小的图形定义于圆形工作件上，进行后端应用。为了使本发明的叙述更加详尽与完备，请配合参照图1至图13及元件符号， 并详细说明如下。
请参照图1至图3，其是绘示依照本发明一较佳实施例的一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布装置。其至少包括一旋转机构1，设于一机台5上，并具有一固定部11供固定圆形工作件2 ；—平移机构3，同样设于该机台5上，并具有导引部31以导引该平移机构3朝向旋转机构1方向移动；一环形气流产生装置4，用以产生环形气流，其是固定在该平移机构3上，该环形气流产生装置4受该平移机构3带动并以朝向圆形工作件2的方向移动，使该环形气流产生装置4产生的环形气流与旋转中的圆形工作件2呈相对运动，以借环形气流挤压涂布在圆形工作件2表面的涂布原料。其中，该圆形工作件2需经精密研磨加工达到2微米以下真圆度和真直度，其材质取自中碳钢、高碳钢、以及包含所有高分子聚合物(Polymer)系列材质、有机材料、半导体材料、金属材料、石英、玻璃材料、陶瓷材料、无机材料、导电材质其中之一。本发明进一步包括一原料供给机构6，此原料供给机构6是以稳定的流量透过其出料口 61供给所要涂布的材料至圆形工作件2表面，该原料供给机构6可为各式可设定流量的加压泵，其出料口 61用一气压管线接于环形气流产生装置4上方，使该出料口 61随着环形气流产生装置4移位而位移，以将涂布原料涂布在圆形工作件2的表面。请并参图4 图6，其中，在上述出料口 61处装设有一具管道621的喷头62，使高分子材料经该喷头62涂布于圆形工作件2表面，该喷头62与圆形工作件2相对应的端面上具有导料沟槽622及与圆形工作件2表面接触的部位623，该导料沟槽622与喷头62连通出料口 61的管道621相通。该导料沟槽622进一步包括纵向导料沟槽62 及横向导料沟槽622b，且纵、横向导料沟槽62h、622b分别与管道621连通。当原料供给机构6经由出料口 61输出涂布原料时，该输出的原料将经喷头62的管道621涂布于该圆形工作件2的表面，而当原料一落点时，随即借由该接触的部位623与旋转中的圆形工作件2表面相互贴抵接触，而形成如抹刀的整平功能，将涂布原料平整涂抹于该圆形工作件2的表面，而在涂抹的过程中，更能进一步利用纵、横向导料沟槽62加、 622b引导该接触的部位623所抹除的多余的涂布原料往该纵、横向导料沟槽622a、622b设置的方向，即前进[横向]方向与旋转[纵向]方向溢流，如此即能令该圆形工作件2表面所涂布的涂布原料厚度相等，达到均勻与平整度佳的表面涂布效果。另外，该喷头62可为铁弗龙材质所制成，使之具有抗酸碱、耐蚀刻的功能；该喷头 62亦可由包含所有高分子聚合物(Polymer)系列材质、有机材料、金属材料、石英、玻璃材料、陶瓷材料、无机材料其中之一制成。其中，该环形气流产生装置4较佳的设计为(请一并参阅图2、图3)由一环形的气环41构成，该气环41的内壁面具有多个气孔411，每一个气孔411均等距设置且与一贯穿气环41壁面的进气孔412相连通，该进气孔412则连接一气体供应源413，以当气体供应源413开始供应高压气体时，透过气环41内面的气孔411，使气环41内面产生环形气流；又该气环41可供圆形工作件2穿入，且圆形工作件2和气环41之间的间隙为0. 5mm 2mm。该气环41进一步包括第一部件414及第二部件415，该第一部件414在基部4141 上凸设一第一环部4142，第一环部4142上则设该些气孔411，该第二部件415具有一第二环部4151，第二环部4151的一端向轴心延伸一环形的凸缘4152，于该第二环部4151上则设该进气孔412。该第一部件414与该第二部件415相互套接固定时，该第一部件414的基部4141 一面为与该第二部件415的第二环部4151的另一端相抵，并于彼此之间设置一密封垫416，且该第一部件414的第一环部4142 —端抵于该第二部件415的凸缘4152的一面，并于彼此之间设置另一密封垫417，如此，令第一部件414与第二部件415间具备良好的密合效果，并确保气流能由该些气孔411输出。该环形气流产生装置4的另一较佳设计为(请一并参阅图7、图8)在一气环42 的内面设置一环形缝隙421，该环形缝隙421并与一贯穿气环42壁面的进气孔422相连通， 该进气孔422则连接一气体供应源423，使气体供应源423提供的高压气流由该环形缝隙 421输出并据此形成环形气流。此时该气环42包括第一部件似4及第二部件425，该第一部件似4在基部4241上凸设一第一环部4242，该第二部件425具有一第二环部4251，第二环部4251的一端向轴心延伸一环形的凸缘4252，于该第二环部4251上则设该进气孔422。该第一部件似4与该第二部件425相互套接固定时，该第一部件424的基部4241 —面为与该第二部件425的第二环部4251的另一端相抵，并于彼此之间设置一密封垫426，且该第一部件424的第一环部 4242 一端对应该第二部件415凸缘4252的一面，并于彼此之间形成该环形缝隙421，如此， 确保气流能由第一部件424与第二部件425间的环形缝隙421输出。该环形气流产生装置4的又一较佳设计为(请一并参阅图9)具设一中空的筒体 43，该筒体43的一端具有开口 431，该开口 431的口径略大于圆形工作件2的直径，使圆形工作件2能穿套其中，该筒体43的另一端为高压气体的输入端432，如此即能在该筒体43 的开口 431与圆形工作件2间的缝隙处产生该环形气流。当该环形气流产生装置4采用上述该种实施方式时，该环形气流产生装置4是使用在对圆形工作件2的外表面的薄膜涂布作业上。该环形气流产生装置4的另一实施方式为请一并参阅图10 在一中空的筒体44 的外面设置一环形缝隙441，该环形缝隙441并与中空的筒体44的内部相通，且中空的筒体 44的内部与一气体供应源442连接，使气体供应源442提供的高压气流由该环形缝隙441 输出并据此形成环形气流。当该环形气流产生装置4采用该种实施方式时，该环形气流产生装置4是使用在对圆形工作件2的内表面的薄膜涂布作业上。于进行圆形工作件2表面涂布时(本发明于此仅以该环形气流产生装置4的第一较佳设计为实施说明)，是先将如图1中的圆形工作件2架置于该旋转机构1上，并以该旋转机构1的固定部11将该圆形工作件2固定。接着原料供给机构6的出料口 61会在圆形工作件2上预先涂上所要涂布的材料，之后开始令圆形工作件2进行自体旋转如图3、图 11 ；又令气体供应源413所供应的高压气体透过气环41的进气孔412进入各个气孔411中， 并由气环41内部的气孔411喷出(如图2、图3)。当平移机构3透过导引部31引导气环 41朝向该圆形工作件2方向移动且令该圆形工作件2进入该气环41后，气环41内所喷出的高压空气便会开始挤压涂布在该圆形工作件2表面的涂布原料，使得涂布在该圆形工作件2表面的涂布原料得以平整均勻。请参阅图12，为本发明在圆形工作件2旋转速度为ISOrpm、高分子液体粘度为 lOOOcps、高压气体压力为Ibar及环形气流产生装置4与圆形工作件2间的间隙为2mm条件下于进行涂布后，在图12(c)所示的圆形工作件2表面上各点所测得的薄膜厚度，由图12的表(a)及曲线图(b)显示的检测数据，可证实此一技术确实能得到一趋近于均厚的薄膜厚度。另外，在本实施例中该旋转机构1是以车床为示范，如图1所示。而该涂布原料为 UV胶，或任何高分子聚合物(Polymer)系列材质、有机材料或上述材料中两者或两者以上所合成的材料。而该高压气体可以为普通空气或纯净氮气。请参见图13，其是本发明一较佳实施例的一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法流程示意图；本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法至少包括以下步骤(A)步骤将涂布原料载入圆形工作件表面；(B)步骤驱动圆形工作件使该圆形工作件依预定速度并以其轴为轴心自体旋转；(C)步骤旋转中的圆形工作件通过一环状高压气流，该环状高压气流环设在圆形工作件的径向方位，以借高压气流挤压涂布在圆形工作件表面上的涂布原料；该高压气流的大小可被调整。经由以上的实施说明，可知本发明至少具有如下所列的各项优点1.本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法因是将该圆形工作件固定在旋转机构上，并利用旋转机构带动圆形工作件进行自体旋转的动作，且出料口设置于圆形工作件上面，并能调整出料口与圆形工作件的距离，使涂布原料自出料口输出后，即与旋转中的圆形工作件接触，而借由圆形工作件的自体旋转，将涂布原料预先涂布在圆形工作件表面，出料口并可将高于间隙的涂布原料剩余刮除，使该圆形工作件表面上的涂布原料具有一定的初始厚度，而该初始厚度由出料口与圆形工作件的间隙而定，旋转速度愈快，通过出料口的次数愈多，涂布于圆形工作件上的膜厚愈均勻；因此，该圆形工作件的旋转速度能决定涂布原料的均勻度，且可透过数字化调控。2.本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备其环形气流产生装置是设在平移机构上；因此，可透过设定该平移机构自动平移的速度，控制该环形气流产生装置穿套该圆形工作件的速度。3.本发明的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备因是利用该旋转机构上的固定部将该圆形工作件夹设固定在该旋转机构上；因此，该圆形工作件不仅在操作夹置固定上相当方便、且固定后的稳定性亦高。4.本发明借由喷头的纵、横向导料沟槽设计，让多余的涂布原料可往前进[横向] 与旋转[纵向]方向导引及作溢流，让涂布原料的涂布状态平整且不浪费。5.本发明借由喷头与圆形工作件表面相互接触的部位，形成如抹刀般的功能，抹除多余的涂布原料，以达到涂布于圆形工作件表面上的涂布原料均勻平整的效果。以上所述仅为本发明示意性的具体实施方式
，并非用以限定本发明的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的构思和原则的前提下所作的等同变化与修改，均应属于本发明保护的范围。
权利要求
1.一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法，其特征在于，所述涂布方法的流程为步骤一将涂布原料载入于圆形工作件表面，该表面为圆形工作件的外表面或内表面其中之一；步骤二 旋转机构带动该圆形工作件以其轴心进行自体旋转动作；步骤三该圆形工作件的径向方向环绕高压环形气流，以利用气流方式挤压该圆形工作件表面预先涂布的涂布原料。
2.如权利要求1所述的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法，其特征在于，该圆形工作件的材质取自中碳钢、高碳钢、以及高分子聚合物、有机材料、半导体材料、金属材料、石英、玻璃材料、陶瓷材料、无机材料、导电材质其中之一。
3.如权利要求1所述的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法，其特征在于，该涂布原料选自UV胶，或高分子聚合物、有机材料或上述材料中两者或两者以上所合成的材料。
4.一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备，其特征在于，该气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备至少包括旋转机构，其设于机台上，并具有固定部，以固定圆形工作件；平移机构，其设于该机台上，并具有导引该平移机构朝向旋转机构方向移动的导引部；环形气流产生装置，其固定在该平移机构上并能产生环形气流，且令环形气流作用于该圆形工作件的表面，所述表面为圆形工作件的外表面或内表面其中之一；原料供给机构，在原料供给机构的出料口处装设喷头，该喷头具有贯穿的管道，该喷头在对应圆形工作件的端面上具有导料沟槽及与圆形工作件表面接触的部位，且该导料沟槽与该管道相通；该导料沟槽包括有纵向导料沟槽及横向导料沟槽。
5.如权利要求4所述的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备，其特征在于，该圆形工作件为经精密研磨加工达到2微米以下真圆度和真直度的圆形工作件。
6.如权利要求4所述的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备，其特征在于，所述表面为圆形工作件的外表面时，该环形气流产生装置由环形的气环构成，该气环的内壁面具有多个气孔，每一个气孔均等距设置且与一贯穿气环壁面的进气孔相连通，该进气孔则连接气体供应源，当气体供应源开始供应高压气体时，透过气环内面的气孔，使气环内面产生环形气流。
7.如权利要求4所述的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备，其特征在于，所述表面为圆形工作件的外表面时，该环形气流产生装置由环形的气环构成，该气环的内面设置一环形缝隙，该环形缝隙与一贯穿气环壁面的进气孔相连通，该进气孔则连接气体供应源，使气体供应源提供的高压气流由该环形缝隙输出并据此形成环形气流。
8.如权利要求4所述的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备，其特征在于，在所述表面为圆形工作件的外表面时，该环形气流产生装置具设一中空的筒体，该筒体的一端具有开口，该开口的口径略大于圆形工作件的直径，使圆形工作件能穿套其中，该筒体的另一端为高压气体的输入端。
9.如权利要求4所述的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布设备，其特征在于，在所述表面为圆形工作件的内表面时，该环形气流产生装置在一筒体的外面设置环形缝隙，该环形缝隙与筒体的内部相通，该筒体的内部则连接气体供应源。
10. 一种喷头，装设在如权利要求4至9项任一项所述的圆形工作件对应处，其特征在于，该喷头与原料供给机构的出料口衔接，该喷头具有贯穿的管道，该喷头在对应圆形工作件的端面上具有导料沟槽及与圆形工作件表面接触的部位，且该导料沟槽与该管道相通。
全文摘要
本发明提出一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法、设备及喷头，是将要涂布的圆形工作件架置于旋转机构上，并令原料供给机构透过具有能引导多余原料往特定方向溢流的喷头与圆形工作件距离约100μm，当启动旋转机构，将高分子溶液预置在圆形工作件表面，开启气压阀，使高压气体于筒体的四周形成环形高压气流，将高分子溶液压平到指定厚度；同时利用该喷头的设置让圆形工作件表面所涂布的高分子溶液厚度具有更佳的均匀度与平整度，且该厚度为1微米的十分之几至100微米，本方法亦可将高分子溶液涂布于前述的圆形工作件的内表面。
文档编号B05D1/02GK102310029SQ20101022127
公开日2012年1月11日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者卓首屹, 李传祥, 李永春 申请人:国立成功大学