锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜、制备方法及其应用的制作方法
【专利摘要】一种锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，其化学式为MeAlSiN3：xMn4+，其中，0.01≤x≤0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素,镁元素,钙元素，锶元素和钡元素中的一种。该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的电致发光光谱（EL）中，在655nm波长区都有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。本发明还提供该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的制备方法及其应用。
【专利说明】锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜、制备方法及其应用
【【技术领域】】
[0001]本发明涉及一种锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜、其制备方法、薄膜电致发光器件及其制备方法。
【【背景技术】】
[0002]薄膜电致发光显示器(TFELD)由于其主动发光、全固体化、耐冲击、反应快、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，已引起了广泛的关注，且发展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，开发多波段发光的薄膜，是该课题的发展方向。但是，可应用于薄膜电致发光显示器的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，仍未见报道。
【
【发明内容】
】
[0003]基于此，有必要提供一种可应用于薄膜电致发光器件的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜、其制备方法该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜电致发光器件及其制备方法。
[0004]—种猛掺杂碱土氮招娃盐发光薄膜，其化学式为MeAlSiN3:xMn4+,其中，
0.01 ^ X ^ 0.08,MeAlSiN3是基质，猛元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素,银元素和钡元素中的一种。
[0005]猛掺杂碱土氮招娃盐发光薄膜的厚度为80nm~300nm。
[0006]一种锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的制备方法，包括以下步骤:
[0007]将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为
1.0X KT2Pa ~LOXKT3Pa ；
[0008]调节衬底的温度为250°C~650°C，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流的载体，根据MeAlSiN3:xMn4+各元素的化学计量比将(C5H5)2Me、(CH3)3A1、硅烷和甲基二茂锰通入反应室内，及
[0009]然后通入氨气，进行化学气相沉积得到锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜其化学式为MeAlSiN3:xMn4+的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，其中，0.01 ^ 0.08，MeAlSiN3是基质，铈元素是激活元素，Me 为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
[0010](C5H5)2Me' (CH3) 3A1、硅烷和甲基二茂锰摩尔比为 1:(0.92 ~0.99):1:(0.01 ~
0.08);
[0011]IS气气流量为5~15sccm,氨气气流量为10~200sccm。
[0012]一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，所述发光层的材料为锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的化学式为MeAlSiN3:xMn4+，其中，0.01 ^ x ^ 0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
[0013]一种薄膜电致发光器件的制备方法，包括以下步骤:
[0014]提供具有阳极的衬底；
[0015]在所述阳极上形成发光层，所述发光层的材料为锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的化学式为MeAlSiN3:xMn4+，其中，0.01 ^ x ^ 0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种；
[0016]在所述发光层上形成阴极。
[0017]在优选的实施例中，所述发光层的制备包括以下步骤:
[0018]将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为
1.0X KT2Pa ~LOXKT3Pa ；
[0019]调节衬底的温度为250°C~650°C，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流的载体，根据MeAlSiN3:xMn4+各元素的化学计量比将(C5H5)2Me、(CH3)3A1、硅烷和甲基二茂锰通入反应室内，其中，氩气气流量为5~15SCCm，及
[0020]然后通入氨气，流量为10~200sCCm ;进行化学气相沉积得到发光层化学式为MeAlSiN3:xMn4+的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，其中，0.01 ^ x ^ 0.08，MeAlSiN3:xMn4+是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
[0021]上述锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜(MeAlSiN3:xMn4+)的电致发光光谱(EL)中，在655nm波长区都有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。
【【专利附图】
【附图说明】】
[0022]图1为一实施方式的薄膜电致发光器件的结构示意图；
[0023]图2为实施例1制备的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的电致发光谱图；
[0024]图3为实施例1制备的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的XRD图；
[0025]图4为实施例1制备的薄膜电致发光器件的电压与电流和亮度关系图。
【【具体实施方式】】
[0026]下面结合附图和具体实施例对锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜、其制备方法和薄膜电致发光器件及其制备方法作进一步阐明。
[0027]—实施方式的猛掺杂碱土氮招娃盐发光薄膜,其化学式为MeAlSiN3:xMn4+,其中，0.01 ^ X ^ 0.08,MeAlSiN3是基质，猛元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素,银元素和钡元素中的一种。
[0028]优选的，猛掺杂碱土氮招娃盐发光薄膜的厚度为80nm~300nm, x为0.05。
[0029]该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜中MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素。该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的电致发光光谱(EL)中，在655nm波长区都有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。
[0030]上述锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的制备方法，包括以下步骤:
[0031]步骤S11、将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为L0X10_2Pa ~1.0X10_3Pa。
[0032]在本实施方式中，衬底为铟锡氨化物玻璃(ΙΤ0)，可以理解，在其他实施例中，也可以为掺氟氨化锡玻璃(FT0)、掺招的氨化锌(AZO)或掺铟的氨化锌(IZO);衬底先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入反应室；
[0033]优选的，反应室的真空度为4.0X 10_3Pa。
[0034]步骤S12、将衬底在600°C~800°C下热处理10分钟~30分钟。
[0035]步骤S13、调节衬底的温度为250°C~650°C，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流的载体，根据MeAlSiN3:xMn4+各元素的化学计量比将(C5H5)2Me、(CH3)3AU硅烷和甲基二茂锰通入反应室内；
[0036]所述(C5H5)2Me' (CH3) 3A1、硅烷和甲基二茂锰摩尔比为1:(0.92~0.99):1:(0.01 ~0.08)；
[0037]所述衬底的温度优选为500°C，衬底的转速优选为300转/分钟，氩气气流量为5 ~15sccm ；
[0038]所述気气气流量为1sccm ；
[0039]步骤S14、然后通入氨气，进行化学气相沉积得到锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜其化学式为MeAlSiN3:XMn4+,其中，0.01 ^ x ^ 0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
[0040]所述氨气气流量为10~200sccm，x为0.05。
[0041]更优选氨气气流量为120sccm。
[0042]步骤S15、沉积完毕后停止通入(C5H5) 2Me、(CH3) 3A1、硅烷和甲基二茂锰及氦气，继续通入氨气使锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的温度降至80°C~150°C。
[0043]本实施方式中，优选的，使锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的温度降至100°C。
[0044]可以理解，步骤S12和步骤S15可以省略。
[0045]请参阅图1，一实施方式的薄膜电致发光器件100，该薄膜电致发光器件100包括依次层叠的衬底1、阳极2、发光层3以及阴极4。
[0046]衬底I为玻璃衬底。阳极2为形成于玻璃衬底上的氨化铟锡(ΙΤ0)。发光层3的材料为锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的化学式为MeAlSiN3:xMn4+，其中，0.01 ^ x ^ 0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。阴极4的材质为银(Ag)。
[0047]上述薄膜电致发光器件的制备方法，包括以下步骤:
[0048]步骤S21、提供具有阳极2的衬底I。
[0049]本实施方式中，衬底I为玻璃衬底，阳极2为形成于玻璃衬底上的氨化铟锡(ΙΤ0)。可以理解，在其他实施例中，也可以为掺氟氨化锡玻璃(FT0)、掺铝的氨化锌(AZO)或掺铟的氨化锌(IZO);具有阳极2的衬底I先后用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗并用对其进行氨等离子处理。
[0050]步骤S22、在阳极2上形成发光层3，发光层3的材料为锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的化学式为MeAlSiN3:xMn4+，其中，0.01^x^0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
[0051] 本实施方式中，发光层3由以下步骤制得:
[0052]首先，将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为L0X10_2Pa ~1.0X10_3Pa,
[0053]再则、将衬底在600°C~800°C下热处理10分钟~30分钟。也可以无需此步骤。
[0054]其次，调节衬底的温度为250°C~650°C，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流的载体，根据MeAlSiN3:xMn4+各元素的化学计量比将(C5H5)2Me、(CH3)3AU硅烷和甲基二茂锰通入反应室内；
[0055]在优选的实施例中，(C5H5)2Me、(CH3)3A1、硅烷和甲基二茂锰摩尔比为1: (0.92~0.99):1:(0.01 ~0.08);
[0056]在优选实施例中，衬底的温度优选为500°C，衬底的转速优选为300转/分钟，氩气气流量为5~15sccm ；
[0057]更优选实施例中，気气气流量为1sccm;
[0058]然后通入氨气，进行化学气相沉积薄膜在所述阳极上形成发光层。
[0059]优选实施例中，氨气的流量优选为10~200sccm;
[0060]更优选实施例中，氨气气流量为120sccm。
[0061]最后、沉积完毕后停止通入(C5H5) 2Me、(CH3)3AU硅烷和甲基二茂锰及氦气，继续通入氨气使锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的温度降至80°C~150°C。
[0062]本实施方式中，优选的，使锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的温度降至100°C。可以无需此步骤。
[0063]步骤S23、在发光层3上形成阴极4。
[0064]本实施方式中，阴极 4的材料为银(Ag)，由蒸镀形成。
[0065]下面为具体实施例。
[0066]实施例1
[0067]衬底为ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X KT3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入有机源(C5H5)2Zru (CH3)3AU硅烷(SiH4)和甲基二茂锰的摩尔比为1:0.95:1:0.035,载气气体为気气,気气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为120sccm,开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至150nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品ZnAlSiN3:0.05Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0068]本实施例中得到的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的化学通式为ZnAlSiN3:
0.05Mn4+,其中ZnAlSiN3是基质,猛元素是激活元素。
[0069]请参阅图2，图2所示为实施例1得到的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的电致发光谱(EL)。由图2可以看出，实施例1得到的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的电致发光谱曲线在655nm波长区都有很强的发光峰能够应用于薄膜电致发光显示器中。
[0070]请参阅图3，图3为实施例1制备的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的XRD曲线，测试对照标准PDF卡片。从图3中可以看出，对照标准PDF卡片，图中大部分为碱土氮铝硅盐的衍射峰，没有出现掺杂元素以及其它杂质的衍射峰，证明掺杂元素是进入了碱土氮铝硅盐的晶格，没有出现分相。
[0071]请参阅图4，图4为实施例1制备的薄膜电致发光器件的电压与电流和亮度关系图，曲线I是电压一电流密度，可看出器件从5.5V开始发光，曲线2是电压一亮度，最大亮度为80cd/m2，表明器件具有良好的发光特性。
[0072]实施例2
[0073]衬底为ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 1-3Pa;然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入机源(C5H5)2Zru (CH3)3AU硅烷(SiH4)和甲基二茂锰的摩尔比为I:
0.99:1:0.01,载气气体为気气,気气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为1sccm,开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至80nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品ZnAlSiN3:0.0IMn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0074]实施例3
[0075]衬底为ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0 X 1-2Pa ;然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入有机源(C5H5)2Zru (CH3)3AU硅烷(SiH4)和甲基二茂锰的摩尔比为1:
0.92:1:0.08,载气气体为気气,気气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为200sccm,开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至300nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品ZnAlSiN3:0.08Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0076]实施例4:衬底为ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至
4.0 X 10? ;然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入有机源(C5H5)2Mg、(CH3)3AU硅烷(SiH4)和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.95:1:0.05,载气气体为IS气,IS气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为120sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至150nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品MgAlSiN3:0.05Mn4+最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0077]实施例5:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入机源(C5H5) 2Mg、(CH3)3AU SiH4和甲基二茂锰的摩尔比为1:0.99:1:0.01,载气气体为気气,気气气流量为lOsccm。通入氨气,氨气气流量为lOsccm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至80nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品MgAlSiN3:0.0IMn4+0最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0078]实施例6:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_2Pa ;然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入有机源(C5H5)2Mg、(CH3)3AU SiH4和甲基二茂锰的摩尔比为1:0.92:1:0.08，载气气体为氩气，氩气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为200sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至300nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品MgAlSiN3:0.0SMn4+0最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag,作为阴极。
[0079]实施例7:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X10_3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入有机源(C5H5)2Ca、(CH3)3AUSiH4和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.95:1:0.05,载气气体为IS气,IS气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为120sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至150nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品CaAlSiN3:0.05Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0080]实施例8:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入有机源(C5H5) 2Ca、(CH3)3AU SiH4和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.99:1:0.01,载气气体为IS气,IS气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为lOsccm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至80nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品CaAlSiN3:0.0IMn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0081]实施例9:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_2Pa ;然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入机源(C5H5)2Ca、(CH3)3AU SiH4和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.92:1:0.08,载气气体为IS气,IS气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为200sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至300nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品CaAlSiN3:0.08Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0082]实施例10:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X 10_3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入机源(C5H5)2Sr、(CH3)3AUSiH4和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.95:1:0.05,载气气体为IS气,IS气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为120sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至150nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品SrAlSiN3:0.05Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0083]实施例11:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入机源(C5H5)2Sr、(CH3)3AU SiH4和甲基二茂锰的摩尔比为1:0.99:1:0.01,载气气体为気气,気气气流量为lOsccm。通入氨气,氨气气流量为lOsccm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至80nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品SrAlSiN3:0.0IMn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0084]实施例12:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_2Pa ;然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入机源(C5H5)2Sr、(CH3)3AU SiH4和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.92:1:0.08,载气气体为IS气,IS气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为200sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至300nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品SrAlSiN3:0.08Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0085]实施例13:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X 10_3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分，通入机源(C5H5)2Ba、(CH3)3AUSiH4和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.95:1:0.05,载气气体为IS气,IS气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为120sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至150nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品BaAlSiN3:0.05Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0086]实施例14:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_3Pa ;然后把衬底进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分，通入机源(C5H5) 2Ba、(CH3)3AU SiH4和甲基二茂锰的摩尔比为1:0.99:1:0.01,载气气体为気气,気气气流量为lOsccm。通入氨气,氨气气流量为lOsccm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至80nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品BaAlSiN3:0.0IMn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0087]实施例15:衬底为南玻公司购买的ITO玻璃，先后用甲苯、丙酮和乙醇超声清洗5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_2Pa ;然后把衬底进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C。打开旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分，通入机源(C5H5)2Ba、(CH3)3A1、SiH4和甲基二茂猛的摩尔比为1:0.92:1:0.08,载气气体为気气,気气气流量为lOsccm。通入氨气，氨气气流量为200sCCm，开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至300nm，关闭有机源和载气，继续通氨气，温度降到100°C以下，取出样品BaAlSiN3:0.08Mn4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层Ag，作为阴极。
[0088]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，其特征在于，其化学式为MeAlSiN3:xMn4+,其中，0.01≤X≤0.08, MeAlSiN3是基质，猛元素是激活元素，Me为锌元素,镁元素,钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
2.根据权利要求1所述的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，其特征在于，所述锰掺杂碱土氮招娃盐发光薄膜的厚度为80nm~300nm。
3.—种锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，并将反应室的真空度设置为1.0X KT2Pa ~LOXKT3Pa ； 调节衬底的温度为250°C~650°C，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流的载体，根据MeAlSiN3:xMn4+各元素的化学计量比将(C5H5) 2Me、(CH3) 3A1、硅烷和甲基二茂锰通入反应室内 '及 通入氨气，进行化学气相沉积得到化学式为MeAlSiN3:xMn4+的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，其中，0.01≤X≤0.08,MeAlSiN3:xMn4+是基质,猛元素是激活元素,Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
4.根据权利要求3所述的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述(C5H5)2Me' (CH3)3AU硅烷和甲基二茂锰摩尔比为 1:(0.92 ~0.99):1:(0.01 ~0.08)。
5.根据权利要求3所述的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述IS气气流量为5~15sccm,所述氨气气流量为10~200sccm。
6.根据权利要求3所述的锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，将所述衬底装入所述反应室后将所述衬底在600°C~800°C下热处理10分钟~30分钟。
7.一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层的材料为锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的化学式为MeAlSiN3:xMn4+，其中，0.01 ^ 0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种。
8.根据权利要求7所述的薄膜电致发光器件，其特征在于，所述发光层的厚度为80nm ~300nm。
9.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 提供具有阳极的衬底； 在所述阳极上形成发光层，所述发光层的薄膜为锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜，该锰掺杂碱土氮铝硅盐发光薄膜的化学式为MeAlSiN3:xMn4+，其中，0.01 ^ x ^ 0.08，MeAlSiN3是基质，锰元素是激活元素，Me为锌元素，镁元素，钙元素，锶元素和钡元素中的一种； 在所述发光层上形成阴极。
10.根据权利要求9所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的制备包括以下步骤: 将所述衬底装入化学气相沉积设备的反应室，并将反应室的真空度设置为1.0X KT2Pa ~LOXKT3Pa ； 调节衬底的温度为250°C~650°C，转速为50转/分钟~1000转/分钟，采用氩气气流作为载体，根据MeAlSiN3:xMn4+各元素的化学计量比将(C5H5)2Me、(CH3) 3A1、硅烷和甲基二茂锰通入反应室内，其中，氩气气流量为5~15sccm，然后通入氨气， 氨气气流量为10~200SCCm ;沉积薄膜在所述阳极上形成发光层。
【文档编号】C09K11/64GK104178142SQ201310191471
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2013年5月22日 优先权日:2013年5月22日
【发明者】周明杰, 王平, 陈吉星, 张娟娟 申请人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司