螺旋涂敷装置制造方法
【专利摘要】本发明根据实施形态，提供具备载物台、喷嘴、移动单元、气体供给部、洗净液供给部和喷嘴洗净部的螺旋涂敷装置。载物台具有载置涂敷对象物的载置面。喷嘴往载置在载物台上的涂敷对象物吐出液体。移动单元使喷嘴相对于载物台相对地移动。气体供给部提供气体。洗净液供给部提供洗净液。喷嘴洗净部具有气体供给口和洗净液供给口，从气体供给口向喷嘴喷射从气体供给部提供来的气体，从洗净液供给口向喷嘴吐出从洗净液供给部提供来的洗净液。
【专利说明】螺旋涂敷装置
[0001]本发明申请基于2013年9月18日提出的日本专利申请N0.2013-193286号并主张该申请的优先权，引用该申请的全部内容并入本发明中。
【技术领域】
[0002]本发明的实施形态涉及螺旋涂敷装置。
【背景技术】
[0003]在例如半导体等领域中，作为在基板上形成膜的装置有螺旋涂敷装置。螺旋涂敷装置使将圆盘状的基板固定的圆形旋转台旋转，边从涂敷喷嘴吐出材料边使涂敷喷嘴从基板中央向基板外周直线状地移动，描绘螺旋状(旋涡状)的涂敷轨迹，通过这样在整个基板面形成膜。此时，通过精度良好地将涂敷喷嘴顶端面(吐出面)与基板表面之间的距离控制在大致一定的值，能够形成厚度更均匀的膜。
[0004]如果涂敷喷嘴的顶端被污染了的话，则膜的厚度产生参差不齐，因此一般情况下，螺旋涂敷装置在形成膜后用例如有机溶剂等洗净液将附着在涂敷喷嘴上的附着物洗净。但是，如果在涂敷喷嘴的顶端残留有洗净液的话，则涂敷开始部的膜厚产生参差不齐。涂敷喷嘴的洗净工序复杂。因此，希望涂敷喷嘴的洗净工序简化。
【发明内容】
[0005]本发明想要解决的问题是提供一种能够简化涂敷喷嘴的洗净工序的螺旋涂敷装置。
[0006]本发明为一种螺旋涂敷装置，具备:载物台，具有载置涂敷对象物的载置面；喷嘴，往载置在上述载物台上的上述涂敷对象物吐出液体；移动单元，使上述喷嘴相对于上述载物台相对地移动，该移动单元具有使上述喷嘴沿与上述载物台的旋转轴平行的方向移动的第I移动机构部、以及使上述喷嘴沿与上述旋转轴交叉的方向沿着上述载置面移动的第2移动机构部；气体供给部，提供气体；洗净液供给部，提供洗净液；以及，喷嘴洗净部，具有气体供给口和洗净液供给口，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，从上述洗净液供给口向上述喷嘴吐出从上述洗净液供给部提供的上述洗净液。
[0007]利用上述结构，能够提供能够简化涂敷喷嘴的洗净工序的螺旋涂敷装置。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为表示本发明实施形态的螺旋涂敷装置的示意俯视图；
[0009]图2A及图2B为表示本实施形态的喷嘴洗净部的示意图；
[0010]图3A?图3F为说明喷嘴洗净部的作用及喷嘴的洗净方法的示意俯视图；
[0011]图4A?图4F为说明比较例的喷嘴的洗净方法的示意俯视图；
[0012]图5A及图5B为举例说明本实施形态的喷嘴洗净部的变形例的示意俯视图；
[0013]图6A及图6B为举例说明本实施形态的擦去部的具体例的示意俯视图。
【具体实施方式】
[0014]根据实施形态，提供具备载物台、喷嘴、移动单元、气体供给部、洗净液供给部和喷嘴洗净部的螺旋涂敷装置。上述载物台具有载置涂敷对象物的载置面。上述喷嘴往载置在上述载物台上的上述涂敷对象物吐出液体。上述移动单元使上述喷嘴相对于上述载物台相对地移动。上述移动单元具有第I移动机构部和第2移动机构部。上述第I移动机构部使上述喷嘴沿与上述载物台的旋转轴平行的方向移动。上述第2移动机构部使上述喷嘴沿与上述旋转轴交叉的方向沿着上述载置面移动。上述气体供给部提供气体。上述洗净液供给部提供洗净液。上述喷嘴洗净部具有气体供给口和洗净液供给口，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体、从上述洗净液供给口向上述喷嘴吐出从上述洗净液供给部提供来的上述洗净液。
[0015]下面参照附图对本发明的实施形态进行说明。另外，各附图中相同的构成要素附加相同的标记，适当省略详细的说明。
[0016]图1为表示本发明实施形态的螺旋涂敷装置的示意俯视图。
[0017]图1所示的螺旋涂敷装置100具备载物台101、喷嘴102、涂敷液供给部103、检测部104、移动单元105、喷嘴洗净部110、气体供给部14、洗净液供给部20和擦去部30。
[0018]在载物台101的载置面1la上载置有作为涂敷对象物的基板W。载物台101保持载置的基板W。载物台101被形成为例如圆形状，在驱动部107的驱动下能够在水平面内(沿着载置面1la的面内)旋转。基板W被例如使用了未图示的真空泵等的吸附机构保持在载物台101上。
[0019]驱动部107能够在水平面内旋转地支承载物台101，用例如电动机等使载物台101以载物台101的中心为旋转中心在水平面内旋转。由此，载置在载物台101上的基板W在水平面内旋转。
[0020]喷嘴102从顶端朝基板W的表面吐出涂敷液L。喷嘴102连续地吐出涂敷液L，将涂敷液L涂敷到基板W的表面上。例如，基板W为半导体晶片等。例如，涂敷液L为抗蚀剂液等。
[0021]涂敷液供给部103通过喷嘴102将涂敷液L提供给基板W的表面。例如，涂敷液供给部103具有储存容器、泵、供给阀和吐出阀。储存容器收容涂敷液L。泵向喷嘴102提供涂敷液L。供给阀和吐出阀根据从未图示的控制部发送来的信号开闭，控制涂敷液L向基板W表面的提供。
[0022]检测部104检测到基板W的表面或载物台101的载置面1la的距离。喷嘴102的顶端面(吐出面)102a与基板W的表面之间的距离由未图示的控制部根据检测到的到基板W表面的距离进行控制。或者，喷嘴102的顶端面102a与载物台101的载置面1la之间的距离由未图示的控制部根据检测到的到载物台101的载置面1la的距离进行控制。作为检测部104能够列举例如反射型激光传感器等。
[0023]移动单元105具有升降部(第I移动机构部)105a和移动部(第2移动机构部)105b，使喷嘴102相对于载物台101相对移动。升降部105a保持喷嘴102使喷嘴102升降。S卩，升降部105a使喷嘴102沿与载物台101的旋转轴平行的方向移动。移动部105b保持升降部105a，使喷嘴102沿与升降方向正交的方向移动。即，移动部105b使喷嘴102沿与载物台101的旋转轴垂直的方向沿着载置面1la移动。作为移动单元105，能够列举例如双轴控制的机械手等。
[0024]喷嘴洗净部110用从气体供给部14提供的气体202和从洗净液供给部20提供的洗净液201洗净喷嘴102的顶端部。有关喷嘴洗净部110的详细结构后述。
[0025]气体供给部14具有供给部14a、压力控制部14b和开闭阀14c，通过气体供给流路14d向喷嘴洗净部110提供气体202。供给部14a为例如收容有高压气体202的储存容器和工厂管线等。压力控制部14b使从供给部14a提供来的气体202的压力在规定范围内地进行控制。开闭阀14c控制气体202的供给和停止。
[0026]这种情况下，具有压力控制部14b和开闭阀14c的组也可以设置多组。在具有压力控制部14b和开闭阀14c的组设置有多组的情况下，能够与附着在喷嘴102上的附着物的粘度等相对应地切换喷射的气体202的流速。
[0027]例如，对于粘度低的附着物，能够通过降低压力设定的压力控制部14b而使气体202喷射。并且，对于粘度高的附着物，能够通过提高了压力设定的压力控制部14b而使气体202喷射。由此，能够容易地除去粘度高的附着物，能够抑制粘度低的附着物飞散。
[0028]洗净液供给部20具有收容部22、送液部23和流量控制部24，通过洗净液供给流路20a向喷嘴洗净部110提供洗净液201。
[0029]收容部22收容洗净液201。对于洗净液201没有特别限制，能够根据附着物的材质而适当选择。例如，在附着物为抗蚀剂的情况下，洗净液201包括酮系溶剂或乙醇系溶剂坐寸ο
[0030]送液部23通过给收容部22的内部提供气体而将收容在收容部22中的洗净液201朝喷嘴洗净部110压送。
[0031]送液部23具有压力控制部23a、开闭阀23b和供给部23c。
[0032]压力控制部23a控制从供给部23c提供到收容部22内部的气体的压力。对于从供给部23c提供的气体没有特别限制，包括例如空气或氮气等。
[0033]开闭阀23b进行气体向收容部22的供给和停止。
[0034]供给部23c为例如收容有高压气体的储存容器或工厂管线等。
[0035]流量控制部24具有流量调整阀24a和开闭阀24b。
[0036]流量调整阀24a调整提供给喷嘴洗净部110的洗净液201的流量。
[0037]开闭阀24b进行洗净液201向喷嘴洗净部110的供给和停止。
[0038]图2A及图2B为表示本实施形态的喷嘴洗净部的示意图。
[0039]图2A为表示本实施形态的喷嘴洗净部的示意俯视图。图2B为图2A中表示的截面A-A中的示意剖视图。
[0040]本实施形态的喷嘴洗净部110具有壳体111和升降机构部(第3移动机构部)119。
[0041]壳体111为例如容器等，呈中空形状。如图2A及图2B所示，喷嘴102中的至少一部分插入壳体111的内部。即，壳体111覆盖喷嘴102外周的至少一部分。
[0042]升降机构部119保持壳体111，使壳体111升降。即，升降机构部119使壳体111沿与喷嘴102的轴平行的方向相对于喷嘴102相对地升降。升降机构部119保持在移动部105b上，能够沿与升降方向正交的方向移动。即，升降机构部119能够沿与载物台101的旋转轴垂直的方向沿着载置面1la与喷嘴102—起移动。由此，本实施形态的喷嘴洗净部110能够沿升降方向相对于喷嘴102相对地移动，同时能够沿与载物台101的旋转轴垂直的方向沿着载置面1la与喷嘴102 —起移动。
[0043]壳体111具有气体通道113和洗净液通道115。
[0044]气体通道113的一端连接在气体供给流路14d上。气体通道113的另一端形成气体供给口 113a。例如，气体通道113遍布喷嘴102的全周地被设置成环形。或者，气体通道113也可以隔开规定的间隔而遍布喷嘴102的全周地配置有多个。像图2A所示的箭头Al及A2那样，通过气体供给流路14d和气体通道113提供来的气体202从气体供给口 113a朝喷嘴102的顶端部喷射。
[0045]洗净液通道115的一端连接在洗净液供给流路20a上。洗净液通道115的另一端形成洗净液供给口 115a。例如，洗净液通道115遍布喷嘴102的全周被设置成环形。或者，洗净液通道115也可以隔开规定间隔遍布喷嘴102的全周地配置有多个。如图2A所示的箭头A3和A4那样，通过洗净液供给流路20a和洗净液通道115提供来的洗净液从洗净液供给口 115a朝喷嘴102的顶端部吐出。
[0046]如图2A所示，气体供给口 113a设置在比洗净液供给口 115a靠上方。
[0047]图3A?图3F为说明喷嘴洗净部的作用和喷嘴的洗净方法的示意俯视图。
[0048]图4A?图4F为说明比较例的喷嘴的洗净方法的示意俯视图。
[0049]首先，参照图4A?图4F说明比较例的喷嘴的洗净方法。
[0050]如图4A所示，往附着有附着物211的喷嘴102的顶端部适当地喷射气体。接着，像图4B所示那样，利用移动单元105使喷嘴102移动，使喷嘴102的顶端部进入收容在洗净槽221内的洗净液201中。然后，从喷嘴102吐出涂敷液L。通过使喷嘴102的顶端部进入洗净液201中，洗净液201混入位于喷嘴102顶端部的涂敷液L中。因此，排出混入了洗净液201的涂敷液L。
[0051]接着，如图4B所示的箭头All和图4C所示，利用移动单元105使喷嘴102移动，插入喷吹容器223中。然后，像图4C所示的箭头A13和箭头A14那样，从喷吹容器223的喷射孔223a往喷嘴102的顶端部喷射气体。
[0052]接着，像图4C所示的箭头A12那样，利用移动单元105使喷嘴102移动到擦去部30的上方。然后像图4D所示的箭头A15和箭头A16那样使喷嘴102的顶端面102a与擦去部30的布部接触，通过使其在保持接触的状态下在擦去部30的布部上移动，能够擦拭喷嘴102的顶端面102a。
[0053]接着，像图4E所示那样，利用移动单元105使喷嘴102移动，就这样放置。由此，使附着在喷嘴102的顶端面102a及喷嘴102的顶端部上的洗净液201干燥。接着，像图4F所示那样，利用移动单元105使喷嘴102移动到载物台101之上，进行螺旋涂敷。
[0054]这样，比较例的喷嘴102的洗净方法中使将喷嘴102放置，使喷嘴102的顶端面102a和附着在喷嘴102的顶端部上的洗净液201干燥。因此，在喷嘴102的洗净工序中有时花费比较长的时间。并且，在例如使喷嘴102从洗净槽221向喷吹容器223移动的情况下，喷嘴102的移动有时花费比较长的时间。
[0055]与此不同，本实施形态中螺旋涂敷装置100具备喷嘴洗净部110。像有关图2A及图2B的前述那样，喷嘴洗净部110能够沿升降方向相对于喷嘴102相对地移动，同时能够沿与载物台101的旋转轴垂直的方向沿着载置面1la与喷嘴102 —起移动。
[0056]参照图3A?图3F说明本实施形态的喷嘴102的洗净方法。
[0057]像图3A所示那样，在附着物211附着在喷嘴102的顶端部的状态下，像图3B所示的箭头A21和箭头A22那样，从气体供给口 113a向喷嘴102的顶端部喷射气体202。
[0058]接着，像例如图3C所示的箭头A21及箭头A22那样，从气体供给口 113a向喷嘴102的顶端部喷射气体202，同时像图3C所示的箭头A23及箭头A24那样从洗净液供给口115a向喷嘴102的顶端部吐出洗净液201。由此，洗净液201遍及喷嘴102顶端部的大致全周。
[0059]接着，像图3D所示的箭头A21、箭头A22及箭头A25那样，从气体供给口 113a向喷嘴102的顶端部喷射气体202，并且升降机构部119使壳体111向喷嘴102的顶端部下降。由此，使附着在喷嘴102顶端部的大致全周上的洗净液201飞散。
[0060]接着，从气体供给口 113a向喷嘴102的顶端部喷射气体202，并且利用移动单元105使喷嘴102移动到擦去部30的上方。像前述那样，气体供给口 113a被设置在比洗净液供给口 115a靠上方。由此，在用气体202使附着在喷嘴102顶端部的洗净液201飞散后，能够抑制洗净液201再次附着在喷嘴102的顶端部残留。
[0061]像图3E所示的箭头A21、箭头A22及箭头A26那样，从气体供给口 113a向喷嘴102的顶端部喷射气体202，并且升降机构部119使壳体111向与喷嘴102的顶端部相反一侧上升。接着，像例如图3E所示的箭头A21及箭头A22那样从气体供给口 113a向喷嘴102的顶端部喷射气体202，并且像图3E所示的箭头A27那样使喷嘴102的顶端面102a与擦去部30的布部接触，在接触状态不变的情况下在擦去部30的布部上移动，通过这样擦拭喷嘴102的顶端面102a。
[0062]接着，像图3F所示那样，使从气体供给口 113a喷射的气体202停止，利用移动单元105使喷嘴102移动到载物台101上，进行螺旋涂敷。
[0063]根据本实施形态，能够省略将喷嘴102放置、使喷嘴102的顶端部干燥的工序。因此，能够缩短喷嘴102的洗净工序所花费的时间，能够简化喷嘴102的洗净工序。并且，在使喷嘴102移动的过程中或者用擦去部30擦拭喷嘴102的顶端面102a的过程中等能够从气体供给口 113a向喷嘴102的顶端部持续地喷射气体202。由此，能够谋求促进干燥，能够缩短喷嘴102的洗净工序所花费的时间。
[0064]并且，由于不需要有关图4B的前述洗净槽221，因此能够谋求节省空间，能够简化螺旋涂敷装置100。而且，由于往喷嘴102的顶端部吐出洗净液201、喷射气体202，因此与使喷嘴102的顶端部进入收容在洗净槽221中的洗净液201中的情况相比，能够提高喷嘴102的洗净效率。
[0065]图5A及图5B为举例说明本实施形态的喷嘴洗净部的变形例的示意俯视图。
[0066]图5A为举例说明喷嘴洗净部的变形例的一个例子的示意俯视图。图5B为举例说明喷嘴洗净部的变形例的另一个例子的示意俯视图。
[0067]图5A所示的喷嘴洗净部IlOa具有洗净液通道117。洗净液通道117设置在壳体111下端部的外周部。洗净液通道117的一端连接在洗净液供给流路20a上。洗净液通道117的另一端形成洗净液供给口 117a。例如，洗净液通道117遍布喷嘴102顶端部的全周地被设置成环形。或者，洗净液通道117也可以隔开规定的间隔遍布喷嘴102顶端部的全周地被配置有多个。如图5A所示的箭头A31及箭头A32那样，通过洗净液供给流路20a及洗净液通道117提供来的洗净液从洗净液供给口 117a向喷嘴102的顶端部喷射。除此以外的结构与有关图2A及图2B的前述喷嘴洗净部110的结构相同。
[0068]根据本变形例，喷嘴洗净部IlOa从洗净液供给口 117a向喷嘴102的顶端部喷射洗净液201。因此，能够使洗净液201更确实地遍及喷嘴102顶端部的大致全周。
[0069]另外，从气体供给口 113a喷射、通过壳体111中的气体202的气流最好成为层流。由此，能够抑制位于喷嘴102顶端部的涂敷液L被气体202的气流从喷嘴102拖出去。
[0070]图5B所示的喷嘴洗净部IlOb与图5A所示的喷嘴洗净部IlOa相比，还具有底座118。由此，能够更容易地使从气体供给口 113a喷射、经过壳体111中的气体202的气流变成层流。由此,能够更容易地抑制位于喷嘴102顶端部的涂敷液L被气体202的气流从喷嘴102拖出去。
[0071]接着，参照附图对本实施形态的擦去部30的具体例进行说明。
[0072]图6A及图6B为举例说明本实施形态的擦去部的具体例的示意俯视图。
[0073]另外，图6A为图6B所示的截面C-C的示意剖视图。图6B为图6A所示截面B-B的示意剖视图。
[0074]如图6A及图6B所示，擦去部30具有基座31、支承部32、引导部33、保持部34、衬垫35、弹性部36、支承板37、压板38、布部39、供给部40和卷取部41。
[0075]基座31呈板状，被设置在供给部40与卷取部41之间。
[0076]支承部32分别被设置在基座31的长度方向的两端部。支承部32呈柱状。
[0077]引导部33设置在支承部32上。引导部33沿支承部32的轴线方向延伸。
[0078]保持部34在保持衬垫35的同时还沿引导部33移动。
[0079]衬垫35与布部39的与喷嘴102的顶端面接触侧的相反一侧接触。衬垫35呈板状，两端部被保持部34保持着。衬垫35的长度方向与基座31的长度方向相同。
[0080]弹性部36设置在基座31与衬垫35之间，朝布部39对衬垫35施力。弹性部36为例如压缩弹簧等。
[0081]支承板37与布部39的与喷嘴102的顶端面接触侧的相反一侧接触。支承板37在与衬垫35的长度方向正交的方向上夹着衬垫35而设置2个。支承板37例如被保持在支承部32上。
[0082]压板38分别设置在2块支承板37的上方。即，压板38夹着布部39与支承板37相对峙地设置。压板38被未图示的弹性部朝支承板37施力。
[0083]另外，虽然举例说明了设置2组支承板37和压板38的情况，但组数能够适当变更。例如，既可以设置I组支承板37和压板38，也可以设置3组以上。
[0084]布部39呈带状。布部39的一端被供给部40的卷心40a保持，另一端被卷取部41的卷心41a保持。
[0085]布部39经过供给部40 —侧的支承板37与压板38之间、衬垫35的上面、以及卷取部41 一侧的支承板37与压板38之间。
[0086]通过使喷嘴102的顶端面与布部39接触，在保持接触的状态下使其在布部39上移动，能够擦拭喷嘴102的顶端面。此时，在弹性部36的作用下，通过衬垫35将布部39推顶到喷嘴102的顶端面上。因此，能够维持布部39与喷嘴102的顶端面之间的密合性。
[0087]供给部40保持缠绕有布部39的卷心40a。并且，卷心40a能够旋转。
[0088]卷取部41保持卷心41a。并且，用未图示的驱动装置使卷心41a旋转，来卷取布部39。
[0089]本实施形态的擦去部30中布部39被夹在支承板37与压板38之间。因此，即使衬垫35的位置被喷嘴102推顶而移动到下方，也能够抑制布部39在供给部40 —侧与卷取部41 一侧之间挠曲。因此，能够有效地除去附着在喷嘴102上的附着物。
[0090]以上虽然说明了本发明的几个实施形态，但这些实施形态只是作为例子提出，并没有限定发明范围的意图。这些新的实施形态能够以各种各样的形态实施，在不超出发明宗旨的范围内能够进行种种省略、置换和变更。这些实施形态或其変形在包含在发明范围或宗旨内的同时，还包含在权利要求的范围中记载的发明及其均等的范围内。
【权利要求】
1.一种螺旋涂敷装置，具备: 载物台，具有载置涂敷对象物的载置面； 喷嘴，往载置在上述载物台上的上述涂敷对象物吐出液体； 移动单元，使上述喷嘴相对于上述载物台相对地移动，该移动单元具有使上述喷嘴沿与上述载物台的旋转轴平行的方向移动的第I移动机构部、以及使上述喷嘴沿与上述旋转轴交叉的方向沿着上述载置面移动的第2移动机构部； 气体供给部，提供气体； 洗净液供给部，提供洗净液；以及 喷嘴洗净部，具有气体供给口和洗净液供给口，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，从上述洗净液供给口向上述喷嘴吐出从上述洗净液供给部提供来的上述洗净液。
2.如权利要求1所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部具有设置了上述气体供给口及上述洗净液供给口的壳体，上述壳体覆盖上述喷嘴外周中的至少一部分。
3.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述壳体为呈中空形状的容器。
4.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴中的至少一部分被插入到上述壳体的内部。
5.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述壳体具有一端形成上述气体供给口的气体通道。
6.如权利要求5所述的螺旋涂敷装置，上述气体通道遍布上述喷嘴的全周地被设置成环形。
7.如权利要求5所述的螺旋涂敷装置，上述气体通道隔开规定的间隔而遍布上述喷嘴的全周地配置有多个。
8.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述壳体具有一端形成上述洗净液供给口的洗净液通道。
9.如权利要求8所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道遍布上述喷嘴的全周地被设置成环形。
10.如权利要求8所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道隔开规定的间隔而遍布上述喷嘴的全周地配置有多个。
11.如权利要求8所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道被设置在上述壳体下端部的外周部上。
12.如权利要求11所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道遍布上述喷嘴顶端部的全周地被设置成环形。
13.如权利要求11所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道隔开规定的间隔而遍布上述喷嘴顶端部的全周地配置有多个。
14.如权利要求1所述的螺旋涂敷装置，上述气体供给口被设置在比上述洗净液供给口靠上方。
15.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部具有保持上述壳体的第3移动机构部，上述第3移动机构部使上述壳体沿与上述喷嘴的轴平行的方向相对于上述喷嘴相对地移动。
16.如权利要求15所述的螺旋涂敷装置，上述第3移动机构部被保持在上述第2移动机构部上，能够沿与上述旋转轴交叉的方向沿着上述载置面与上述喷嘴一起移动。
17.如权利要求1所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时从上述洗净液供给口向上述喷嘴吐出从上述洗净液供给部提供来的上述洗净液。
18.如权利要求15所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时利用上述第3移动机构部使上述壳体向上述喷嘴的顶端部移动。
19.如权利要求18所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部在使上述壳体向上述喷嘴的顶端部下降后，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时利用上述第3移动机构部使上述壳体向与上述喷嘴的顶端部相反一侧移动。
20.如权利要求19所述的螺旋涂敷装置，还具备擦去部，该擦去部具有能够与上述喷嘴的顶端面接触地设置的布部； 上述喷嘴洗净部在使上述壳体向与上述喷嘴的顶端部相反一侧移动后，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时， 上述移动单元使上述喷嘴的顶端面在保持与上述布部接触的状态下在上述布部上移动。
【文档编号】B05C13/02GK104437932SQ201410437598
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年8月29日 优先权日:2013年9月18日
【发明者】贵志寿之, 渊上安彦, 大城健一 申请人:株式会社东芝