专利名称：卡匣结构的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关于一种卡匣结构，特别是指一种用来放置及清洗晶圆或玻璃基 板的卡匣，该卡匣结构可以增加晶圆或基板清洗面积的装置。
背景技术：
目前，晶圆或玻璃基板制成之后，基于后续工艺及搬运上的需要，会将工艺后的单 片晶圆或玻璃基板，以机械手臂或人力夹取并放置于一具有容置空间的卡匣内，一个卡匣 通常可容纳多个晶圆或玻璃基板，而将所述晶圆或玻璃基板整齐排列于卡匣中，以方便清 洁大量的晶圆或玻璃基板。请参阅图IA所示，其是为先前技术卡匣的立体结构组合示意图。先前技术中的卡 匣6构造包含一第一板体61、一第二板体62、多个立柱63及至少一钢棒64，其中该钢棒 64是装设于该卡匣6的底部以支撑晶圆或玻璃基板，且表面以硅胶包覆。请加参阅图IB所 示，其是为先前技术卡匣的立柱的局部立体结构放大示意图。该立柱63上是布设有多个承 载部65，该承载部65与另一承载部6 间的间隙，是提供一晶圆或玻璃基板7进入后，进而 贴靠于该承载部65上，进行清洗。但由于该承载部65的设计为椭圆柱状结构，因此当晶圆或玻璃基板7贴靠于该承 载部65上，几乎为线接触甚至于面接触，造成清洗时遮蔽面积过大，以致于晶圆或玻璃基 板7清洗不干净，影响电讯导通而成为不良品。有鉴于此，本实用新型人乃潜心研思、设计 组制，期能提供一种构造精简、有效增加晶圆或基板清洗面积且方便实施的卡匣结构，以克 服该先前技术卡匣的问题，为本实用新型所欲研创的创作动机。
实用新型内容本实用新型的主要目的，在于提供一种卡匣结构，由与一晶圆或基板接触的一承 载部设计大致呈一角锥状，以使该卡匣结构具有增加晶圆或基板清洗面积，显见本实用新 型的实用性、进步性和便利性。为达上述目的，本实用新型的一种卡匣结构，其特征在于，该卡匣结构包括—架体，二端分别具有相对应的一第一板体以及一第二板体，且以多个柱体连接 该第一板体与该第二板体，该架体的一侧具有一开口 ；至少一挡止部，该挡止部设于该架体相对应该开口的另一侧上；多个承载部，其是以适当排列位于该柱体上，该承载部大致呈一角锥状，该承载部 还包括有一顶端，其位于该柱体上，该顶端与另一顶端沿该柱体延伸方向相距有一间距；二侧端，其位于该柱体上，且分别位于该顶端的二侧，该侧端与该顶端沿该柱体延 伸方向相距有一距离；一凸端，其与该柱体外缘表面相距有一高度。其中该挡止部为一包覆减震材质的钢索。[0014]其中该减震材质为硅胶、塑料及橡胶的其中任一种。其中该挡止部为一硅胶胶条、塑料胶条及橡胶胶条的其中任一种。其中该挡止部的至少一端连结一以供调整该挡止部的张力的调整件，且该调整件 穿设于该架体的外侧。其中该挡止部与该调整件连结方式是采焊接、熔接、粘合、扣合、套合、锁合和嵌合 的其中任一种。本实用新型的有益效果是具有清洗时仅与晶圆或基板进行点接触的卡匣结构， 确能有效增加晶圆或基板清洗面积，进而提升晶圆或基板良率。
为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本 实用新型的详细说明与附图，惟所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型，其 中图IA为先前技术卡匣的立体结构组合示意图。图IB为先前技术卡匣的立柱的局部立体结构放大示意图。图2A为本实用新型卡匣较佳实施例的立体结构组合示意图。图2B为本实用新型卡匣较佳实施例的立体结构分解示意图。图3A为本实用新型卡匣的柱体较佳实施例的立体结构示意图。图;3B为本实用新型卡匣的柱体较佳实施例的正视结构示意图。图4为本实用新型卡匣较佳实施例的侧视剖面结构示意图。图5为本实用新型卡匣较佳实施例的正视使用状态示意图。图6为本实用新型卡匣另一实施例的使用状态示意图。
具体实施方式
请参阅图2A至图5所示，其是为本实用新型卡匣较佳实施例的结构示意图。卡匣 结构，该卡匣结构1包括一架体10、至少一挡止部2以及多个承载部3。该架体10 二端分 别具有相对应的一第一板体11以及一第二板体12，且以多个柱体13连接该第一板体11与 该第二板体12，该架体10内恰形成一容置空间14，且该架体的一侧具有一开口 15，约位于 该架体10上端，且该容置空间14是形成于该第一板体11、第二板体12及多个柱体13之 间。多个承载部3其是以适当排列位于该柱体13上，请加参阅图3A及图所示，为 本实用新型卡匣的柱体较佳实施例的立体结构及正视结构示意图。于本实用新型较佳实施 例中，该承载部3大致呈一角锥状，因此该承载部3更定义有一顶端31、二侧端32、33以 及一凸端34。该顶端31其是位于该柱体13上，该顶端31与另一顶端31a沿该柱体延伸方 向91相距有一间距S。而二侧端32、33其是分别位于该柱体13上，且分别位于该顶端31 的二侧，该侧端32与该顶端31沿该柱体延伸方向91相距有一距离d。而该凸端34其是 与该柱体13外缘表面相距有一高度h。因此当一晶圆或玻璃基板7进入该架体10，是藉由 该承载部3与另一承载部3a间的间隙，而位于该容置空间14，此时该基板7仅贴靠于该侧 端32而加以固定，因此清洗时，该基板7与该承载部3是为点接触，可使清洗时遮蔽面积减小，提供将基板7清洗更干净，不致影响电讯导通，而减少成为不良品的产生。该挡止部2是设于该架体1底部，本实施例中该挡止部2是为一包覆减震材质22 的钢索21，而该减震材质22在本实施例是为硅胶(如图4所示)，且该挡止部2的一端是 固定于该第一板体11的下缘，而另一端是固定于该第二板体12的下缘。使用时，请参阅图5所示，为本实用新型卡匣较佳实施例的正视使用状态示意图， 当多个基板7放置于卡匣缓冲结构时，该挡止部2的减震材质22会先承受并减缓放置基板 7的冲击或撞击力，且该钢索21亦具有可挠性能进一步将冲击或撞击力吸收，能保护基板7 在放置于卡匣1时，不会因冲击或撞击造成破裂或缺损，且当卡匣1内放置多个基板7时， 该挡止部2会因多个基板7的重量自然下垂，且该挡止部2在负载状态下亦能维持其可挠 性，以降低放置多个基板7的重量因搬运过程产生的震动导致基板7破裂或缺损。此外，请参阅图6所示，本实用新型还能依据卡匣负载物品重量的不同，改变该挡 止部2的张力以符合使用的需要，该挡止部2的张力是由一调整件4进行调整，该调整件 4包含一螺件41及一螺帽42，该螺件41是与该挡止部2的一端相连结，且该螺件41是穿 设于该第二板体12的外侧，并于该螺件41上螺组该螺帽42，由该螺帽42的轴向位移调整 该挡止部2的张力，而该挡止部2的另一端是固定于该第一板体11下缘，由此，该挡止部2 能依据卡匣实际使用的需求实时调整张力，以增加该挡止部2的适用吸收冲击力及承载范 围，进而有效吸收放置晶圆进卡匣时产生的冲击力，或搬运载有晶圆的卡匣时所产生的震 动，降低因放置时的冲击力或搬运产生的震动所造成晶圆的破损，以达到保护晶圆的目的。 除此之外，该挡止部2与该调整件4的螺件41的连结方式，是采焊接、熔接、粘合、扣合、套 合、锁合和嵌合的其中任一种。另外，该挡止部2在实际实施上亦可为一硅胶胶条、塑料胶 条及橡胶胶条的其中任一种。本实用新型的卡匣结构的特点在于该基板7与该承载部3是为点接触，可使清 洗时遮蔽面积减小，提供将基板7清洗更干净，不致影响电讯导通，而减少成为不良品的产 生。以上所述仅为本实用新型的较佳可行实施例，非因此即局限本实用新型的专利范围，凡 是运用本实用新型说明书及附图内容所为的等效结构变化，均理同包含于本实用新型权利 要求的范围内。
权利要求1.一种卡匣结构，其特征在于，该卡匣结构包括一架体，二端分别具有相对应的一第一板体以及一第二板体，且以多个柱体连接该第 一板体与该第二板体，该架体的一侧具有一开口 ；至少一挡止部，该挡止部设于该架体相对应该开口的另一侧上； 多个承载部，其是以适当排列位于该柱体上，该承载部大致呈一角锥状，该承载部还包 括有一顶端，其位于该柱体上，该顶端与另一顶端沿该柱体延伸方向相距有一间距； 二侧端，其位于该柱体上，且分别位于该顶端的二侧，该侧端与该顶端沿该柱体延伸方 向相距有一距离；一凸端，其与该柱体外缘表面相距有一高度。
2.如权利要求1所述的卡匣结构，其特征在于，其中该挡止部为一包覆减震材质的钢索。
3.如权利要求2所述的卡匣结构，其特征在于，其中该减震材质为硅胶、塑料及橡胶的 其中任一种。
4.如权利要求1所述的卡匣结构，其特征在于，其中该挡止部为一硅胶胶条、塑料胶条 及橡胶胶条的其中任一种。
5.如权利要求1所述的卡匣结构，其特征在于，其中该挡止部的至少一端连结一以供 调整该挡止部的张力的调整件，且该调整件穿设于该架体的外侧。
6.如权利要求5所述的卡匣缓冲结构，其特征在于，其中该挡止部与该调整件连结方 式是采焊接、熔接、粘合、扣合、套合、锁合和嵌合的其中任一种。
专利摘要本实用新型是提供一种卡匣结构，该卡匣结构包括一架体、至少一挡止部以及多个承载部。该架体二端分别具有相对应的一第一板体以及一第二板体，且以多个柱体连接该第一板体与该第二板体，该架体的一侧具有一开口。该挡止部设于该架体相对应该开口的另一侧上。多个承载部以适当排列位于该柱体上，该承载部大致呈一角锥状，该承载部还包括有一顶端、二侧端以及一凸端。该顶端位于该柱体上，该顶端与另一顶端沿该柱体延伸方向相距有一间距。该侧端位于该柱体上，且分别位于该顶端的二侧，该侧端与该顶端沿该柱体延伸方向相距有一距离。该凸端与该柱体外缘表面相距有一高度。当置入至少一基板进行清洗时，基板因贴靠该侧端仅进行点接触，可增加清洗面积，提升基板良率。
文档编号B65D81/05GK201816968SQ20102017681
公开日2011年5月4日 申请日期2010年4月12日 优先权日2010年4月12日
发明者陈延方, 颜晖展 申请人:中勤实业股份有限公司