卡匣结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型有关于一种卡匣结构，卡匣结构包含二侧板、多个连接杆、多个活动柱体与多个填充件，该两侧板具有多个孔洞，每一侧板的侧边具有多个卡榫孔，每一卡榫孔贯穿对应的该孔洞的侧壁，每一连接杆的二端部分别组设于对应的该二侧板的该孔洞，该连接杆与该二端部分别具有一贯穿孔，该贯穿孔对应该卡榫孔，每一活动固定柱的一端穿设于对应的该卡榫孔，并贯穿该贯穿孔，而该活动固定柱的另一端设有一凹槽，其中，该凹槽用于拆卸该活动固定柱。本实用新型的卡匣结构的连接杆透过该些活动固定柱组装于二侧板的上，亦可从该二侧板上卸下，达到更换该连接杆的功效，另外，本实用新型的卡匣结构的该连接杆与该二侧板间具有良好的连结强度及稳定性，以避免该连接杆与该二侧板脱离。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型是有关于一种卡匣结构，尤指针对一种用于承载至少一基板（如：太 阳能晶圆）的卡匣结构。 卡匣结构
【背景技术】
[0002] 现在科技日新月异，惟各种高科技所运用的制造技术亦由各种基础工业堆栈而 成，而发明了许多工业产品与电子科技产品，使人类生活更加方便，造福了许多人民，而许 多工业产品与电子产品于技术上面，尤其是针对半导体制造等技术方面的需求日益增加， 而针对于半导体研发合理的制造方法与用于制造所需应用的装置，才能投入实际应用。
[0003] 目前半导体的制程中，在晶圆、玻璃基板或其它基板制成之后，基于后续制程之间 须要搬运该些基板，大多会利用机械手臂或人力将制程后的晶圆、玻璃基板或其它基板置 入一容器中，以藉容器载运大量的基板于各制程间，以避免该些基板于搬运过程中产生碰 撞。
[0004] 目前利用一卡匣结构承载该些基板，卡匣结构由多个杆体与二框片组合而成，而 该些杆体固定于二框片利用熔接方式，此种卡匣结构承载基板后，于运送过程中卡匣结构 会产生晃动，使设置于卡匣结构的基板于卡匣结构内产生位移，而当基板产生位移时，基板 与该些杆体产生碰撞，所以该些杆体因与基板碰撞产生磨耗。当该些杆体发生严重磨损时， 则必须更换该些杆体，但该些杆体与二框片利用熔接方式组合而成，导致无法单独更换磨 耗严重的杆体，必需将整组的卡匣结构汰换。将整组的卡匣结构汰换则会提升成本。
[0005] 再者，卡匣结构于利用于太阳能相关等制程时，连接杆上用于置放基板的卡槽结 构易于积存水分，于使用时须将该些水分排干，否则会对芯片造成影响，不利于制程。
[0006] 故，本实用新型针对以上习知技术的缺点做进一步的改良，本实用新型提供一种 卡匣结构，卡匣结构的至少一连接杆透过活动固定柱组装于二侧板，另外，该活动固定柱的 一端具有一凹槽，利用该凹槽能卸下该活动固定柱，进而该使连接杆可从二侧板卸下，如此 当连接杆产生严重磨损时，只要进行替换连接杆即可，而不须将整组的卡匣结构汰换，另 夕卜，该连接杆的部分设有向下旋转的功能，以增强排水功能，以利于制程的进行，此为一种 具有进步性及新颖性的实用新型。 实用新型内容
[0007] 本实用新型的主要目的，在于提供一种卡匣结构，卡匣结构的多个连接杆透过多 个活动固定柱组装于二侧板，如此当连接杆产生严重磨损时，只要卸下该些活动固定柱，即 可从该二侧板上卸下该些连接杆，并更换新的连接杆，而不须将整组的卡匣结构汰换。
[0008] 本实用新型的次要目的，在于提供一种卡匣结构，该卡匣结构的该些连接杆透过 该些活动固定柱组设于二侧板，以避免该些连接杆脱离二侧板，使该卡匣结构具有良好的 连结强度及稳定性。
[0009] 为达上述所指称的主要目的的功效，本实用新型提供一种卡匣结构，其包含：二侧 板，其分别具有多个孔洞，每一侧板的侧边具有多个卡榫孔，每一卡榫孔贯穿对应的该孔洞 的侧壁；多个连接杆，每一连接杆的二端分别组设于该二侧板的该孔洞，该连接杆与该二端 部分别具有一贯穿孔，该贯穿孔对应该卡榫孔；以及多个活动固定柱，每一活动固定柱的一 端穿设于对应的该卡榫孔，并贯穿该贯穿孔，而该活动固定柱的另一端设有一凹槽，其中， 该凹槽用于拆卸该活动固定柱。
[0010] 上述技术方案中，其中每一孔洞的侧壁更设有一卡榫槽，该卡榫槽对应该卡榫孔。
[0011] 上述技术方案中，更包含：多个填充件，其分别设置于对应的该活动固定柱的该凹 槽内。
[0012] 上述技术方案中，其中将该凹槽内设有一螺纹结构。
[0013] 上述方案中，其中该填充件具有对应该螺纹结构的一螺纹表面，该填充件螺合于 该凹槽内。
[0014] 上述技术方案中，其中每一连接杆包含：
[0015] 一杆体；以及
[0016] 二连接件，其设置于该杆体的两端，并分别组设于该二侧板的该孔洞，并分别具有 该贯穿孔，该贯穿孔对应该卡榫孔。
[0017] 上述技术方案中，其中该杆体的表面具有多个卡固件。
[0018] 上述技术方案中，其中每一^^固件为一角锥。
[0019] 上述技术方案中，其中该杆体的两端分别具有一组装孔，每一连接件设置于对应 的该组装孔。
[0020] 上述技术方案中，其中该二连接件与该杆体为一体成形的结构。
[0021] 实施本实用新型的有益效果：本实用新型的卡匣结构，其该些连接杆分别透过该 些活动固定柱组设于该二侧板，而该些连接杆可承载基板。本实用新型利用位于该活动固 定柱的另一端的该凹槽，以将该活动固定柱从该卡榫孔拆卸下来，进而让该连接杆可从该 二侧板上卸下，并更换新的连接杆进行组装，如此仅须将因与基板摩擦而发生损坏的连接 杆从该二侧板上卸下，而不需将整组的卡匣结构汰换，有效节省成本。另外，该连接杆的该 杆体能向下旋转，增强该连接杆的排水功能，使该连接杆不易积存积水，而影响太阳能制 程。
【专利附图】
【附图说明】
[0022] 下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
[0023] 图1 :其为本实用新型的第一实施例的卡匣结构的立体图；
[0024] 图2A :其为本实用新型的第一实施例的卡匣结构的组装图；
[0025] 图2B :其为本实用新型的图2A的A区域的放大图；
[0026] 图3A :其为本实用新型的第一实施例的连接杆结构的示意图；
[0027] 图3B :其为本实用新型的第二实施例的连接杆结构示意图；以及
[0028] 图3C :其为本实用新型的第三实施例的连接杆结构的示意图。
[0029] 【图号对照说明】
[0030] 10 侧板
[0031] 110 孔洞
[0032] 120 卡榫孔
[0033] 121 卡榫槽
[0034] 20 连接杆
[0035] 210 贯穿孔
[0036] 22〇 连接件
[0037] 230 杆体
[0038] 240 组装孔
[0039] 30 活动固定柱
[0040] 310 凹槽
[0041] 311 螺纹结构
[0042] 40 填充件
[0043] 410 螺纹表面
[0044] 50 容置空间
[0045] 60 卡固件
【具体实施方式】
[0046] 为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较 佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：
[0047] 习知卡匣结构的多个杆体直接焊接于二框片上，导致该些杆体无法更换，当该些 杆体的其中一者严重磨损时，必须汰换整组的卡匣结构，导致成本的提升。有鉴于上述问 题，本实用新型提供一种卡匣结构，透过多个活动固定柱固定多个连接杆于二侧板之间，然 而，每一活动固定柱的一端设有凹槽，以方便卸除该些活动固定柱，进而拆卸该些连接杆， 使每一连接杆可个别更换，且，本实用新型的卡匣结构利用该些活动固定柱固定该些连接 杆于该二侧板之间，以避免该些连接杆脱离该二侧板，使卡匣结构具有良好的连结强度及 稳定性。
[0048] 请参阅图1、图2A及图2B，其为本实用新型的第一实施例的卡匣结构的立体图、组 装图及图2A的A区域的放大图；如图所示，本实用新型主要包含二侧板10、多个连接杆20 与多个活动固定柱30,该二侧板10分别具有多个孔洞110与多个卡榫孔120,于该连接杆 20的二端部分别具有一贯穿孔210,而该些活动固定柱30的其中一端分别设有一凹槽310， 其中，该凹槽310用于拆卸该活动固定柱30。
[0049] 承上所述，本实用新型的该二侧板10的相对应的二表面分别设有该些孔洞110， 而该些卡榫孔120设置于每一侧板10的侧边，并分别对应该些孔洞110,且贯穿对应的该孔 洞110的侧壁。然该些连接杆20的二端部分别接设于该二侧板10的该孔洞110,每一连 接杆20的该贯穿孔210对应贯穿该孔洞110的该卡榫孔120,如此该贯穿孔210与该卡榫 孔120内形成一通道。最后将每一活动固定柱30的一端穿设于对应的该卡榫孔120,并顺 势贯穿该贯穿孔210,即该活动固定柱30沿着该贯穿孔210与该卡榫孔120所形成的通道 插入，以固定该些连接杆20于该二侧板10上，此时，该二侧板10与该些连接杆20之间产 生一容置空间50,该容置空间50可容置多个基板，例如：太阳能晶圆。此外，每一活动固定 柱30的另一端设有该凹槽310,其中，利用一工具插设于该凹槽310,该工具利用转动或拉 动可将该活动固定柱30从该卡榫孔120拆卸下来。
[0050] 然每一孔洞110的侧壁更具有一卡榫槽121，该卡榫槽121对应贯穿该孔洞110的 侧壁的该卡榫孔120,如此该卡榫孔120、该贯穿孔210与该卡榫槽121形成一通道，使每一 活动固定柱30能贯穿该卡榫孔120与该贯穿孔210,进而贯穿至该卡榫槽121内，以确保该 活动固定柱30已固定该连接杆20固定于该侧板10上。
[0051] 再者，当该活动固定柱30设于该卡榫孔210时，位于该活动固定柱30的另一端的 该凹槽310更设置一填充件40,该填充件40将该凹槽310填满，如此以防止该卡匣结构于 清洗时，清洗液会残留于该些活动固定柱30的该些凹槽310内。本实用新型的该凹槽310 内设有一螺纹结构311，而该填充件40具有对应该螺纹结构311的一螺纹表面410,使该填 充件40能螺合于该凹槽310内，另外，本实用新型的该凹槽310内也并非限定设置为该螺 纹结构311，而该填充件40也并非限定为该螺纹表面410,该凹槽310的目的在于方便将该 些活动固定柱30抽出拆卸下来，而该填充件40的目的在于填满该凹槽310,以上述目的为 本实用新型的技术手段，使该凹槽310内也可设置卡勾件（未图示）用于勾取该活动固定 柱30,而该填充件40为对应该卡勾件的结构而用于填满该凹槽310,故，本实用新型并不限 定该凹槽310内的结构与该填充件40的结构变化，其随使用者的需求做改变。
[0052] 请一并参阅图3A到图3C，其为本实用新型的第一到三实施例的连接杆结构的示 意图；如图所示，于此详细说明本实用新型的该连接杆20的结构，该连接杆20具有二连接 件220及一杆体230,该二连接件220分别设置于该杆体230的两端，其中该杆体230的两 端分别具有一组装孔240,该二连接件220分别插设于该杆体230的该二组装孔240,如此 该二连接件220相当于该连接杆20的二端部，所以每一连接件220具有该贯穿孔210,且 该连接件220的形状对应于该孔洞110的形状，而该杆体230的表面具有多个卡固件60， 该些卡固件60分别为角锥状，如图3B的B与图3C的C，该些卡固件60为线性排列于该杆 体230的表面，而该些卡固件60朝向该二侧板10与该些连接杆20间的该容置空间50,以 卡设多个基板于该容置空间50内，其中本实用新型的该杆体230由塑料管体包覆金属圆柱 条。当然本实用新型的该些卡固件60也可为其它形状，只要能固定该些基板于该容置空间 50即可。且更进一步该杆体230能进行旋转，使该固定件60的结构不易积存水分，以增强 排水功能，另外，该连接件220与该杆体230可为一体成形的结构，其加强该连接杆20的强 度。
[0053] 综上所述，本实用新型提供一种卡匣结构，其该些连接杆分别透过该些活动固定 柱组设于该二侧板，而该些连接杆可承载基板。本实用新型利用位于该活动固定柱的另一 端的该凹槽，以将该活动固定柱从该卡榫孔拆卸下来，进而让该连接杆可从该二侧板上卸 下，并更换新的连接杆进行组装，如此仅须将因与基板摩擦而发生损坏的连接杆从该二侧 板上卸下，而不需将整组的卡匣结构汰换，有效节省成本。另外，该连接杆的该杆体能向下 旋转，增强该连接杆的排水功能，使该连接杆不易积存积水，而影响太阳能制程。
[0054] 应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换， 而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
【权利要求】
1. 一种卡匣结构，其特征在于，其包含： 二侧板，其分别具有多个孔洞，每一侧板的侧边具有多个卡榫孔，每一卡榫孔贯穿对应 的该孔洞的侧壁； 多个连接杆，每一连接杆的二端部分别组设于该二侧板的该孔洞，该连接杆与该二端 部分别具有一贯穿孔，该贯穿孔对应该卡榫孔；以及多个活动固定柱，每一活动固定柱的一 端穿设于对应的该卡榫孔，并贯穿该贯穿孔，而该活动固定柱的另一端设有一用于拆卸该 活动固定柱的凹槽。
2. 如权利要求1所述的卡匣结构，其特征在于，其中每一孔洞的侧壁更设有一卡榫槽， 该卡榫槽对应该卡榫孔。
3. 如权利要求1所述的卡匣结构，其特征在于，更包含： 多个填充件，其分别设置于对应的该活动固定柱的该凹槽内。
4. 如权利要求3所述的卡匣结构，其特征在于，其中将该凹槽内设有一螺纹结构。
5. 如权利要求4所述的卡匣结构，其特征在于，其中该填充件具有对应该螺纹结构的 一螺纹表面，该填充件螺合于该凹槽内。
6. 如权利要求1所述的卡匣结构，其特征在于，其中每一连接杆包含： 一杆体；以及 二连接件，其设置于该杆体的两端，并分别组设于该二侧板的该孔洞，并分别具有该贯 穿孔，该贯穿孔对应该卡榫孔。
7. 如权利要求6所述的卡匣结构，其特征在于，其中该杆体的表面具有多个卡固件。
8. 如权利要求7所述的卡匣结构，其特征在于，其中每一卡固件为一角锥。
9. 如权利要求6所述的卡匣结构，其特征在于，其中该杆体的两端分别具有一组装孔， 每一连接件设置于对应的该组装孔。
10. 如权利要求6所述的卡匣结构，其特征在于，其中该二连接件与该杆体为一体成形 的结构。
【文档编号】H01L21/673GK203910770SQ201320889309
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2013年12月31日 优先权日:2013年12月31日
【发明者】王圣元, 邱铭乾, 谢正严 申请人:家登精密工业股份有限公司