载带移行装置及电子零件搬送装置的制作方法

本发明涉及一种在将电子零件收容于载带(carrier tape)的用途与将电子零件从载带中取出的用途之间进行切换而使用的载带移行技术。

背景技术：

电子零件在其制造过程中经过各种检查而被分类为合格品或次品，且在捆包之后发货。如果检查的基准严格，则将为合格品的电子零件分类到次品的收容体中的超负荷(overkill)率高，生产效率降低。如果检查的基准宽松，则会将为次品的电子零件作为合格品而发货，从而品质产生差异，检查的可靠性降低。在单个零件的单价高的集成电路(Integrated Circuit，IC)或大规模集成电路(1arge-scale integration，LSI)等集成电路的电子零件中，超负荷率高或品质产生差异尤其会成为问题。

因此，检查及分类的工序中，也会出现如下的情况：改变检查项目、检查方法或检查精度而再检查合格品群中是否包含次品、或次品群中是否包含合格品，然后，反映再检查结果而将合格品群或次品群进行再分类，在再捆包之后发货。

对电子零件进行检查、分类、再检查、然后再分类的电子零件搬送装置，作为包含多个捆包(taping)装置与一台揭膜机(detaper)装置的系统而构成。该电子零件搬送装置将电子零件载置于搬送路径而进行检查，且将电子零件分类到根据品质的等级(rank)而准备的多个捆包装置中。当电子零件的分类结束时，将捆包着成为再检查对象的等级的卷轴(reel)从捆包装置转移到揭膜机装置，再次将电子零件载置于搬送路径而进行再检查，且将电子零件分类到根据品质的等级而准备的多个捆包装置中。

捆包装置是使载带间歇地朝向卷绕载带的卷轴移行的装置(例如参照专利文献1)。载带中，袋状物(pocket)沿着长边方向受到压花加工。在捆包装置使载带停止的期间，操纵器(manipulator)等将电子零件放入到袋状物中。捆包装置通过将密封带重叠压接到载带，而将收容于袋状物的电子零件密封。

揭膜机装置是一边将载带从卷轴中抽出一边间歇地移行的装置(例如参照专利文献2)。在揭膜机装置使载带停止的期间，利用操纵器等将电子零件从袋状物中取出。该揭膜机装置将爪插入到载带与密封带之间，使密封带从载带中剥离，而露出电子零件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2007-137426号公报

专利文献2：日本专利特开2009-140994号公报

技术实现要素：

发明所要解决的问题

能够检查、分类、再检查及再分类的电子零件搬送装置除搭载捆包装置外，还搭载着揭膜机装置，在非频繁地实施再检查及再分类的情况下，揭膜机装置只会提高装置的成本，大幅占据制造设备而降低制造设备的每单位面积的生产效率。然而，因再检查及再分类并非是完全不需要的工序，所以也无法废除揭膜机装置。

本发明为了解决所述问题而提出，目的在于提供一种能够兼用作捆包装置与揭膜机装置的载带移行装置、及具备该载带移行装置的电子零件搬送装置。

解决问题的技术手段

为了解决所述课题，本发明的载带移行装置使等间隔地形成着用以收纳电子零件的袋状物的载带沿长边方向移行，所述载带移行装置的特征在于包括：链轮，钩挂住所述载带而使其移行；电动机，进行正转及逆转，而使所述链轮旋转；卷轴，卷绕着粘附在所述载带的密封带；一对区块，能够相对于所述载带的移行线接触或背离地移动，夹入从所述卷轴中抽出的所述密封带与所述载带，而将所述密封带粘附在所述载带；以及压紧辊(hold-down roller)，能够相对于所述载带的移行线接近或背离，并且，所述载带移行装置成为如下的捆包装置，即，使所述电动机正转，而从所述卷轴中抽出所述密封带，使所述压紧辊接近所述载带的移行线，而使所述一对区块接近，由此，利用所述密封带将所述载带密封，且成为如下的揭膜机装置，即，使所述电动机逆转，而将所述密封带向所述卷轴拉入，使所述一对区块背离，而使所述压紧辊背离所述载带的移行线，由此，将所述密封带从所述载带剥离。

所述链轮也可在周面形成着针状突起，将突起钩挂在形成于所述载带的链轮孔中而进行旋转，所述突起的针尖具有内旋形状(involute shape)。

也可包括正时皮带作为所述链轮与所述电动机之间的传动机构。

也可包括压紧辊，所述压紧辊插在所述卷轴与所述载带的移行线之间，将所述密封带引导至所述载带的附近，所述压紧辊在将所述密封带粘附在所述载带时，接近所述载带的附近，在将所述密封带从所述载带剥离时，离开所述载带，使剥离基点处的所述载带与所述密封带所成的角度比所述粘附时有所缓和。

也可包括抽吸部，所述抽吸部穿过形成于所述袋状物的底面的孔，来抽吸收容于所述袋状物内的电子零件，

所述抽吸部在所述载带的移行中，将所述电子零件吸引到所述载带。

为了解决所述课题，本发明的电子零件搬送装置包括所述载带移行装置，沿搬送路径搬送电子零件，所述电子零件搬送装置的特征在于包括：搬送台，形成所述搬送路径；收容体保持单元，配置于所述搬送台的周围，保持电子零件的收容体；观察单元，配置于所述搬送台的周围，观察所述搬送路径内的电子零件；以及多个所述载带移行装置，配置于所述搬送台的周围，并且，所述电子零件搬送装置具有分类模式与再分类模式，所述分类模式与再分类模式将所述收容体保持单元与所述载带移行装置作为电子零件的供给单元或成为电子零件的分类目的地的分类单元，所述分类模式中，所述收容体保持单元为所述供给单元，全部所述载带移行装置成为所述捆包装置而为所述分类单元，所述再分类模式中，所述载带移行装置中的一部分成为所述揭膜机装置而为所述供给单元，所述载带移行装置中的其他部分成为所述捆包装置而为所述分类单元。

在所述再分类模式中，除成为所述揭膜机装置的所述载带移行装置之外，所述收容体保持单元也可为所述分类单元。

所述收容体保持单元也可为晶片环(wafer ring)保持部或托盘保持部，所述晶片环保持部对呈阵列状排列着电子零件的晶片环加以保持，所述托盘保持部对将平面呈格子状隔开而呈阵列状排列着电子零件的托盘加以保持。

发明的效果

根据本发明，载带移行装置可兼用作捆包装置与揭膜机装置，因而无需另外准备捆包装置与揭膜机装置，从而能够降低设备的成本。

附图说明

图1是作为载带移行装置的捆包装置的内部结构图。

图2是作为载带移行装置的揭膜机装置的内部结构图。

图3是载带移行装置所具备的抽吸部的结构图，(a)为俯视图，(b)为侧视图。

图4是具备载带移行装置的电子零件搬送装置的构成图。

图5是表示电子零件搬送装置的电子零件搬送路径的示意图。

具体实施方式

一边参照附图一边对本发明的实施方式的载带移行装置、及具备该载带移行装置的电子零件搬送装置进行详细说明。

(载带移行装置)

(构成)

如图1所示，载带移行装置1使用以将电子零件104收容于袋状物101的载带100沿长边方向移行。该载带移行装置1使载带100向卷轴200侧移行而作为捆包装置发挥功能，并且以从卷轴200侧抽出载带100的方式逆移行而作为揭膜机装置发挥功能。

载带移行装置1具备卷绕密封带102的密封带卷轴3、及密封部2，作为捆包装置，一边使载带100向卷轴200侧移行，一边从密封带卷轴3中抽出密封带102，将密封带102粘附在载带100。而且，载带移行装置1作为揭膜机装置，使密封部2从载带100的移行线退避，一边以从卷轴200侧抽出载带100的方式逆移行，一边将密封带102卷绕于密封带卷轴3，而将密封带102从载带100剥离。

该载带移行装置1具备两台链轮41、42。两台链轮41、42为沿周面突出设置着突起43的同径的圆盘。链轮41、42经由正时皮带51a、52a而与分别对应的电动机51、52的输出轴连接，以同一周方向、同一旋转量及同一时机而间歇旋转。

载带100架设在两链轮41、42上。载带100中，在带单侧沿长边方向等间隔地开设着链轮孔。两链轮41、42的突起43啮合于该链轮孔。链轮41、42将突起43钩挂在链轮孔中而旋转，使载带100沿长边方向移行。该突起43具有圆形形状，且加工成内旋形状。突起43的直径稍小于载带100的链轮孔。

两链轮41、42在同一铅垂面上排列，旋转轴平行且为同一高度。因此，载带100在将延伸方向保持为水平的状态下，向卷轴200侧或离开卷轴200的方向移行。

电动机51、52的旋转间距与袋状物101的配置间隔相对应。载带100沿长边方向等间隔地具有经压花加工的袋状物101。也就是，电动机51、52使袋状物100在共同的停止位置处停止。共同的停止位置中的一处设定为电子零件104的交接位置6。

吸附喷嘴等保持单元311能够升降地位于交接位置6的正上方。载带移行装置1通过使袋状物101依次对准交接位置6，作为捆包装置，使脱离了保持单元311的电子零件104收容于载带100，或者作为揭膜机，使袋状物101内的电子零件104由保持单元311取出。

该电动机51、52作为捆包装置进行正转，且作为揭膜机装置进行逆转。该电动机51、52为例如具有H桥电路的伺服电动机。电动机51、52利用控制旋转方向、旋转量及旋转时机的电动机驱动器7，相应于是捆包还是揭膜(detape)而得到控制。电动机驱动器7可设置于载带移行装置1，也可设置于综合控制保持单元311等的控制装置侧。

密封部2如图1所示，具备加热区块21及基底区块22。加热区块21与基底区块22隔着载带100的移行线而相向配置。加热区块21从载带100的移行线的上方按压载带100，基底区块22从载带100的移行线的下方按压载带100。如图1及图2所示，加热区块21能够相对于载带100的移行线接触或背离地移动。

密封带102与载带100重叠地供给到该密封部2中。加热区块21与基底区块22通过夹入而压接密封带102与载带100，加热区块21进而对封带102与载带100的压接面供给热。

密封带卷轴3作为捆包装置，将密封带102朝向载带100抽出，作为揭膜机装置，将密封带102向离开载带100的方向卷绕。该密封带卷轴3位于比载带100的移行线靠上方的位置，且具备电动机31与压紧辊32。

电动机31经由正时皮带而使密封带卷轴3旋转。密封带卷轴3能够进行正转及逆转，为例如具有H桥电路的伺服电动机。压紧辊32位于载带100的移行线附近，将密封带102向载带100引导。

如图1及图2所示，压紧辊32能够相对于载带100的移行线接近或背离地移动。载带移行装置1在作为捆包装置发挥功能时，如图1所示，靠近载带100的移行线，将密封带102对载带100挤压。载带移行装置1在作为揭膜机发挥功能时，如图2所示，离开载带100的移行线。因压紧辊32离开载带100的移行线，而载带100与密封带102的剥离基点9处的、载带100与密封带102所成的角度θ变得缓和。

而且，如图1所示，使该载带100向两方向移行的载带移行装置1在载带100的移行线下方具备抽吸部8。载带100在各袋状物101的底面具有孔部。抽吸部8通过该孔部来抽吸袋状物101内部的电子零件104，并贴附于袋状物101的底面。

如图3所示，该抽吸部8在载带100的移行线侧具有开设着抽吸槽82的容器81，在容器81的底部穿设多个抽吸孔83。抽吸槽82沿着移行线开设于载带100的移行线正下方。抽吸槽82的槽宽为开设于载带100的袋状物101的孔部的直径以上，且小于载带100的带宽。抽吸孔83与真空泵等负压产生装置的空气压回路连通。

该抽吸部8通过抽吸孔83而使容器81内减压，通过抽吸槽82与形成于载带100的袋状物101的孔部而将袋状物101内的电子零件104贴附于袋状物101的底面。

(动作)

该载带移行装置1的捆包动作为如下所述。载带移行装置1利用电动机51、52的正转使正时皮带51a、52a移行，而使链轮41、42正转。链轮41、42将突起43钩挂在链轮孔上，使载带100向卷轴200侧移行。

载带移行装置1通过使电动机51、52间歇地旋转，而将载带100间歇地向卷轴200侧移送，使空的袋状物101依次地位于交接位置6。各保持单元311逐个地保持电子零件104并依次在交接位置6处停止，从而将电子零件104收容于位于交接位置6的空的袋状物101中。

密封带卷轴3利用电动机31的正转而将密封带102向载带100侧抽出。压紧辊32将从密封带卷轴3抽出的密封带102向载带100的表面引导，使密封带102重合于载带100的袋状物101所开口的面。

密封部2预先使加热区块21与载带100的移行线接触。密封部2中重合而

共有密封带102与载带100。密封部2利用加热区块21与基底区块22来夹入载带100与密封带102，利用加压与加热将密封带102粘附在载带100。由此，袋状物101内的电子零件104由密封带102与袋状物104的内壁而密封。

载带100在由密封带102密封后，利用进一步的间歇的移行而引导至卷轴200，并卷绕在卷轴200上。

载带移行装置1的揭膜动作为如下所述。载带移行装置1利用电动机51、52的间歇的逆转而使正时皮带51a、52a移行，从而使链轮41、42逆转。链轮41、42将突起43钩挂在链轮孔中，将载带100从卷轴200中间歇地抽出。

此处，突起43为圆形且内旋形状。一般来说，内旋形状是通过使齿轮的齿彼此以固定角度及固定面积接触，且形成适当的游隙，而使齿轮的旋转变得容易的形状。如果将该内旋形状应用于突起43，则伴随载带100的移行的振动得到抑制，移行的稳定性增加。

而且，将电动机51、52与链轮41、42之间的传动机构从揭膜机装置中普通的棘轮(ratchet wheel)设为正时皮带51a、52a，由此伴随载带100的移行的振动得到抑制，移行的稳定性增加。

另一方面，密封带卷轴3以与载带100的逆移行相同的速度、相同的量、相同的时机卷绕密封带102。载带100水平地逆移行，密封带102被上拉到载带100的移行线的上方。因此，载带100与密封带102在不同的方向上分为两股，密封带102从载带100剥离。

此时，密封部2在揭膜动作中，使加热区块21退避到上方，从靠近卷轴200的部位开始留出供载带100与密封带102分为两股的余地。而且，密封带卷轴3在揭膜动作中，使压紧辊32移动到上方。由此，载带100与密封带102以缓和的角度θ剥离。

在袋状物101开口的区域，因载带100与密封带102的密接面积小，所以在该区域剥离所需的力小，如果剥离中施加一定的力，则在该区域剥离会一下子完成。而且，如果超过袋状物101开口的区域则剥离中需要相对大的力，反而使剥离的进展变慢。因此，有揭膜动作中在载带100产生大的振动的可能。

然而，该载带移行装置1中，因载带100与密封带102以缓和的角度θ剥离，所以袋状物101开口的区域中的剥离的进展缓慢，揭膜动作时的载带100的振动减弱，载带100的逆移行稳定化。

而且，载带移行装置1在揭膜动作中，使抽吸部8驱动。抽吸部8通过抽吸孔83而使容器81减压，通过抽吸槽82与袋状物101的孔来抽吸袋状物101内的电子零件104。因此，载带100的间歇的逆移行中，将电子零件104吸引到载带100而成为一体，电子零件104在袋状物101内的晃动得到抑制，载带100的移行稳定化。而且，抽吸部8产生吸引载带100的作用，剥离密封带102时产生于载带100的振动也得到缓和。

而且，因密封带102从载带100的剥离而露出的袋状物101利用电动机51、52的间歇的逆转，依次地位于交接位置6。空的各保持单元311依次在交接位置6处停止，取出位于交接位置6的电子零件104。

(电子零件搬送装置)

(构成)

一边参照附图一边对具备该载带移行装置1的电子零件搬送装置进行详细说明。如图4所示，电子零件搬送装置300中，配设电子零件104的搬送路径301，且沿着搬送路径301同时整列搬送多个电子零件104。而且，电子零件搬送装置300沿着搬送路径301，并列设置着晶片环支架320、多个观测装置340及多个捆包移行装置1。拾取装置330插在晶片环支架320与搬送路径301之间。

搬送路径301由搬送台310形成。搬送台310具有以一点为中心而呈放射状扩散的圆盘或星形等形状，在周方向上间歇地每次以规定角度旋转。在搬送台310的外周安装着保持单元311。保持单元311能够沿着其轴线方向升降。该保持单元311沿着搬送台310的外周在圆周平均分配位置处，且离搬送台310的中心为相同的距离地安装着多个。

保持单元311例如为吸附喷嘴。吸附喷嘴内部中空且一端开口，从搬送台310向下方延伸，使开口端朝向下方。吸附喷嘴的内部与真空泵或喷射器(ejector)等负压产生装置的空气压回路连通。通过空气压回路使吸附喷嘴的内部产生负压，由此利用开口端来抽吸保持电子零件104，利用真空破坏或大气释放而解除抽吸，释放电子零件104。

搬送台310的动力源为直接驱动电动机312。直接驱动电动机312以一间距为单位间歇旋转。相对于直接驱动电动机312的旋转间距的搬送台310的旋转距离与保持单元311的配置间隔相等。也就是，保持单元311伴随搬送台310的间歇旋转而沿着共同的移动轨迹，在共同的停止位置处停止。在该停止位置，设置着晶片环支架320、观测装置340及捆包移行装置1。

晶片环支架320保持晶片环103，使该晶片环103与面平行地移动。晶片环103为贴附着晶片片材的环，晶片片材为贴附着将电子零件104切割为单片所得的晶片的片材。环支架320将电子零件104的粘附面朝向搬送台310的外缘而将晶片环103竖立放置。该晶片环支架320包括使晶片环103从背侧朝向拾取装置330突出的推顶销321。

拾取装置330从晶片环103中拾取电子零件104并供给到搬送路径301。该拾取装置330具有从一点开始在同一平面上呈放射状延伸的臂331。臂331的放射面与保持单元311的移动面及晶片环扩展的铅垂面正交。在臂331前端附设吸附喷嘴。吸附喷嘴使轴沿臂331延伸设置，使吸附电子零件104的开口端朝向放射方向外方。该拾取装置330钻入搬送台310的下方，设置于拾取装置330的顶点与搬送路径301重合的位置，在正侧面与晶片环103相向。

拾取装置330使臂331在放射中心间歇旋转。晶片环支架320利用上推销321将电子零件104从背侧上推，将电子零件104交付到与晶片环103相向的臂331。接收到电子零件104的拾取装置330的臂331在拾取装置330的顶点与搬送台310的保持单元311相向，将电子零件104交付到该搬送台310。

观测装置340观察电子零件104的外观或电气特性，或为了该观察而辅助电子零件104的位置修正等。也就是，观测装置340为具有电荷耦合器件(charge-coupled device，CCD)或互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)等摄像元件与透镜的相机，具有与电子零件104的端子接触而注入电流或施加电压的接触件的电气特性测定装置，或载置电子零件104而进行旋转及平面移动，由此变更电子零件104的朝向与位置的位置修正装置。

(动作)

图5是搬送该电子零件搬送装置300的电子零件104的第一形态。如图5所示，该电子零件搬送装置300沿着搬送路径301具备一台晶片环支架320与两台载带移行装置1。载带移行装置1为合格品等级用及其以外用。晶片环支架320上保持着检查对象的晶片环103。

晶片环支架320使晶片环103平行移动，使各电子零件104依次向拾取位置移动，利用上推销321朝向拾取装置330上推。拾取装置330利用臂331将拾取位置的电子零件104拾取，并交付给搬送台310的保持单元311。晶片环支架320与拾取装置330重复进行电子零件104朝向拾取位置的移动、拾取位置的电子零件104的拾取及向保持单元311的交付。

搬送台310利用直接驱动电动机312而间歇旋转，保持单元311保持电子零件104且在搬送路径301上移动。在保持单元311通过各观测装置340时，各观测装置340进行电子零件104的观测处理。例如，在设置位置修正装置、相机及电气特性测定装置作为观测装置340的情况下，电子零件由位置修正装置修正位置以供检查，且利用相机及电气特性测定装置进行外观检查及电气特性测定检查。电子零件104根据外观检查与电气特性测定检查的结果，而等级划分为合格品及合格品以外。

搬送台310利用直接驱动电动机312进一步间歇旋转，当等级划分为合格品的电子零件104到达合格品用的载带移行装置1时，保持该电子零件104的保持单元311使电子零件104脱离。

在合格品用的载带移行装置1上安装密封部2而作为捆包装置发挥功能。该合格品用的载带移行装置1一边使载带100向卷轴200的方向移行，一边将电子零件104收纳在载带100的袋状物101中，且由密封带102进行密封。卷轴200卷绕由密封带102密封的载带100。

当分类为合格品以外的等级的电子零件104到达合格品以外用的载带移行装置1时，保持该电子零件104的保持单元311使电子零件104脱离。

在合格品以外用的载带移行装置1上安装着密封部2而作为捆包装置发挥功能。该合格品用的载带移行装置1一边使载带100向卷轴200的方向移行，一边在交接位置6将电子零件104收纳在载带100的袋状物101中，且由密封带102密封。卷轴200卷绕由密封带102密封的载带100。

晶片环103的各电子零件104被分类为合格品或合格品以外，当载带100的捆包完成时，分类为合格品以外的电子零件104被再检查。再检查中，作业人员检查由观测装置340所获得的数据，将被分类为合格品以外的电子零件104再判定为合格品与合格品以外。

再判定后，合格品以外用的载带移行装置1将密封部2卸下，并设定剥离部3，由此成为揭膜机。而且，电子零件搬送装置300为再分类模式，合格品以外用的载带移行装置1作为揭膜机，从卷轴200展开载带100，使密封带102从载带100剥离，且使电子零件104露出于交接位置6。

保持单元311保持交接位置6的电子零件104，伴随搬送台310的间歇旋转，在搬送路径301上移动。再分类模式中，晶片环支架320将合格品以外的电子零件捆包，与成为揭膜机的载带移行装置1不同的另一个载带移行装置1然后作为捆包装置将合格品捆包。

当保持再判定为合格品以外的电子零件104的保持单元311到达晶片环支架320时，晶片环支架320的上推销321将晶片环103的片材上推而迎向电子零件104，将再判定为合格品以外的电子零件104粘附在片材上。保持单元311利用大气破坏或真空破坏而解除电子零件104的吸附，将电子零件104交付到晶片环103。

保持着再判定为合格品的电子零件104的保持单元311利用搬送台310的间歇旋转而到达安装着密封部2的合格品用的载带移行装置1，利用大气破坏或真空破坏解除电子零件104的吸附，而使电子零件104脱离到交接位置6的袋状物101内。

合格品用的载带移行装置1在交接位置6将电子零件104收纳于载带100的袋状物101，由密封带102进行密封。卷轴200卷绕由密封带102密封的载带100。

由此，电子零件104从晶片环103分类到合格品用的载带移行装置1与合格品以外的载带移行装置1。然后，对于分类到合格品以外的载带100的电子零件104而言，由在再判定后分类时成为捆包装置而收容着合格品以外的电子零件104的载带移行装置1作为揭膜机装置实施再供给，然后再分类到成为捆包装置的合格品用的载带移行装置1与合格品以外用的晶片环支架320。

(效果)

如此，本实施方式的载带移行装置1利用链轮41、42钩挂载带100而使其移行。链轮41、42利用正转及逆转的电动机51、52而旋转。而且，具备：卷绕着粘附在载带100的密封带102的密封带卷轴3；以及加热区块21与基底区块22，所述加热区块21与基底区块22将从密封带卷轴3抽出的密封带102及载带100夹入，而将密封带102粘附在载带100。

该载带移行装置1成为如下的捆包装置，即，使电动机51、52正转，而从密封带卷轴3抽出密封带102，使一对区块21、22接近，由此利用密封带102将载带100密封。而且，成为如下的揭膜机装置，即，使电动机51、52逆转，而将密封带102向密封带卷轴3拉入，使一对区块21、22背离，由此将密封带102从载带100剥离。

由此，载带移行装置1可兼用作捆包装置与揭膜机装置。因此，无需另外准备捆包装置与揭膜机装置，从而可降低设备的成本。例如，电子零件搬送装置300中无需设置专用的揭膜机装置。而且，与不设置揭膜机装置相应地，电子零件搬送装置300的占有面积减少，设备的单位面积的电子零件生产效率提高。

作为电子零件搬送装置300，在形成搬送路径301的搬送台310的周围，设置保持电子零件104的收容体的收容体保持单元、观察搬送路径301内的电子零件104的观察装置340、以及多个载带移行装置1。收容体保持单元例如为晶片环支架320，其收容体为晶片环103。此外，作为收容体，为平面呈格子状隔开，且在该格子内收容电子零件104的托盘。作为保持托盘的收容体保持单元，为使托盘平面移动的平台。

该电子零件搬送装置300具有分类模式与再分类模式，该分类模式与再分类模式是将收容体保持单元与载带移行装置1作为电子零件104的供给单元或成为电子零件的分类目的地的分类单元。而且，分类模式中，收容体保持单元为供给单元，全部载带移行装置1成为捆包装置而作为分类单元。再分类模式中，载带移行装置1中的一部分成为揭膜机装置而作为供给单元，载带移行装置1中的其他部分成为捆包装置而作为分类单元即可。而且，再分类模式中，除成为揭膜机装置的载带移行装置1外，收容体保持单元也可作为分类单元。

此种电子零件搬送装置300中，也无需为了再分类而将卷轴200从捆包装置转移到揭膜机装置，因而设备成本降低，生产效率提高，此外减轻作业人员的劳力。

进而，链轮41、42在周面形成突起43，将突起钩挂在形成于载带100的链轮孔而旋转。该突起43具有内旋形状。由此，在载带100的移行时振动减轻，可防止电子零件104从袋状物101飞出，从而生产效率提高。

而且，设置正时皮带51a、52a作为链轮41、42与电动机51、52之间的传动机构。由此，与将传动机构设为棘轮的情况相比，载带100的逆移行时不易从传动机构产生振动，可防止电子零件104从袋状物101飞出，从而生产效率提高。

而且，使压紧辊32插在密封带卷轴3与载带100的移行线之间，将密封带102引导至载带100的附近。该压紧辊32在将密封带102粘附在载带100时，接近载带100的附近。

另一方面，压紧辊32在将密封带102从载带100剥离时，离开载带100，而使剥离基点9处的载带100与密封带102所成的角度比粘附时有所缓和。由此，能够抑制由将密封带102从载带100剥离引起的振动，能够防止电子零件104从袋状物101飞出，从而生产效率提高。

而且，也可具备抽吸部8，该抽吸部8通过形成于袋状物101的底面的孔，来抽吸收容于袋状物101内的电子零件104。该抽吸部8在载带100的移行中，将电子零件104吸引到载带100。由此，载带100与电子零件104成为一体，即便载带100的移行中产生振动，袋状物101内电子零件104也不易晃动，且载带100的振动得到缓和，可防止电子零件104从袋状物101飞出，从而生产效率提高。

如上所述般对本发明的实施方式进行了说明，但在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种省略、置换、变更。而且，所述实施方式或其变形包含在发明的范围或主旨内，并且包含在权利要求书记载的发明及其均等的范围内。

例如，关于保持单元311，以吸附喷嘴为例进行了说明，但也可配置静电吸附方式、伯努利吸盘(Bernoulli chuck)方式、或机械夹持电子零件104的夹盘机构。而且，关于电子零件104，只要能够捆包于载带100，则可为任一者。例如，关于电子零件104，可列举半导体元件、及半导体元件以外的电阻或电容器等。关于半导体元件，可列举晶体管、二极管、发光二极管(Light Emitting Diode，LED)、及闸流晶体管(thyristor)等分离式半导体(discrete semiconductor)、IC或LSI等集成电路等。

而且，本实施方式中，是利用两台电动机51、52使载带100移行，但也可设置电动机51、52中的任一台，并利用该电动机使载带100移行。此外，关于链轮41、42，也可设置任一个，而另一方设为引导载带100的无销辊。

[符号的说明]

1：载带移行装置

2：密封部

21：加热区块

22：基底区块

3：密封带卷轴

31：电动机

32：压紧辊

41：链轮

42：链轮

43：突起

51：电动机

51a：正时皮带

52：电动机

52a：正时皮带

6：交接位置

7：电动机驱动器

71：控制台

72：捆包参数

73：揭膜参数

8：抽吸部

81：容器

82：抽吸槽

83：抽吸孔

9：剥离基点

100：载带

101：袋状物

102：密封带

103：晶片环

104：电子零件

200：卷轴

300：电子零件搬送装置

301：搬送路径

310：搬送台

311：保持单元

312：直接驱动电动机

320：晶片环支架

321：上推销

330：拾取装置

331：臂

340：观测装置