真空处理装置的制作方法

本申请发明涉及真空装置的技术领域，特别地涉及将搭载了处理对象物体的搭载装置搬出搬入真空槽内部的技术。

背景技术：

图23的符号101示出了现有技术的真空处理装置。

该真空处理装置101具有真空槽108，引导轨道115固定于真空槽108的顶板，且行驶轨道148固定于真空槽108的底板面上。

真空处理装置101真空处理的处理对象物体130多个配置在搭载装置132。在搭载装置132的底面设有行驶车轮135，在上部设有引导车轮103。搭载装置132以通过引导车轮103沿引导轨道115移动而被引导移动方向，且通过行驶车轮135在行驶轨道148上移动的方式构成。

多台搭载装置132在真空槽108的内部配置在行驶轨道148上，通过盖装置109来密闭真空槽108的开口，对真空槽108的内部进行真空排气，且对处理对象130进行真空处理。

若真空处理结束，则如图24、图25所示，使盖装置109移动而打开开口，通过连接用引导轨道114连接真空槽108内的引导轨道115、以及真空槽108外部的引导轨道113，通过引导轨道113～115来引导移动方向且使搭载装置132在行驶轨道148上移动，并从真空槽108的开口搬出。

此时，使在真空槽108的开口附近设置的升降机构142上升，使搭载装置132载于升降机构142，若使升降机构142下降，则搭载装置132的行驶车轮135与底板面105接触。在真空槽108的外部，通过引导轨道113引导移动方向，且使搭载装置132在行驶轨道138上或底板上行驶。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2009/060805号公报；

专利文献2：日本特开2002-147023号公报；

专利文献3：日本特开2001-39667号公报。

技术实现要素：

发明要解决的课题

在上述现有技术中，由于设置行驶轨道138、148和引导轨道113～115二者，故装置复杂。

另外，由于需要升降机构142，故成本高，为了使底板面105上的搭载装置132移动，需要大的力，为了使搭载装置乘降，需要大的空间。

本发明提供能够使用小面积的场所将搭载装置搬出搬入真空槽内的技术。

另外，在利用盖装置开闭真空槽时，防止搭载装置从行驶轨道脱落，或者变得无法移动的情况。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明的真空处理装置具有：真空槽，其在侧面具有搬出搬入用开口；搭载装置，其搭载在所述真空槽内处理的处理对象物体；以及轨道装置，其水平地配置，且悬吊所述搭载装置，所述轨道装置具有：槽内部，其为配置在所述真空槽内部的部分；槽外部，其为配置在所述真空槽外部的部分；以及连接部，其配置在所述槽内部的一端与所述槽外部的一端之间并以能够旋转移动的方式构成，所述连接部在水平面内旋转，所述连接部的状态以能够在将所述槽外部和所述槽内部连接的连接状态、以及所述槽外部与所述槽内部之间分离且在所述槽内部与所述槽外部之间形成盖用间隙的分离状态之间切换的方式构成，在所述连接部处于所述分离状态时，所述搬出搬入用开口以能够由配置在所述盖用间隙的盖装置密闭的方式构成，在所述槽内部和所述槽外部以及所述连接部，分别设有引导所述搭载装置的移动方向的引导部、以及载置在所述搭载装置的上部设置的行驶部所具有的悬吊车轮以悬吊所述搭载装置的轨道部，若在所述引导部和所述行驶部之中，用一者夹着另一者，则使得所述搭载装置在通过所述引导部被引导移动方向的状态下，所述悬吊车轮在所述轨道部上旋转，所述搭载装置能够沿所述引导部移动，在通过所述盖装置密闭且被真空排气的所述真空槽的内部，悬吊于所述槽内部的所述搭载装置所搭载的所述处理对象物体受到真空处理的真空装置，所述槽外部具有所述引导部直线状地延伸的直线部、以及所述引导部弯曲的弯曲部，通过使所述搭载装置在能够沿水平方向移动的搭载车设置的能够上下移动的升降部上并使所述升降部上升，利用所述搭载车来支撑所述升降部上的所述搭载装置和搭载于所述搭载装置的所述处理对象物体的重量，在利用所述直线部的所述引导部、以及重量由所述搭载车支撑的所述搭载装置的所述行驶部中的任一者夹着另一者的状态下，使重量由所述搭载车支撑的所述搭载装置的所述悬吊车轮从所述直线部的与连接于所述弯曲部的部分为相反侧的端部开始移动到所述直线部的所述轨道部上。

本发明是在通过使所述搭载车在沿所述直线部的所述引导部的一定方向上直线移动来使所述搭载装置在所述一定方向上直线移动之后，使所述升降部下降并将所述升降部上的所述搭载装置悬吊于所述直线部的所述轨道部，使所述搭载装置从所述升降部间隔开的真空处理装置。

本发明是在使所述搭载装置从所述升降部间隔开之后，若沿所述一定方向移动所述升降部，则所述升降部向所述搭载装置的正下方的外侧移动的真空处理装置。

本发明是若悬吊于所述直线部的所述轨道部的所述搭载装置的所述悬吊车轮在从所述直线部的所述轨道部上开始在所述弯曲部的所述轨道部上和处于连接状态的所述连接部的所述轨道部上滚动移动之后，到达所述槽内部的所述轨道部上，则位于所述真空槽外部的所述搭载装置被搬入所述真空槽的内部的真空处理装置。

本发明是在所述直线部的所述轨道部的与连接于所述弯曲部的部分为相反侧的端部，设有防止悬吊于所述直线部的所述搭载装置脱落的止动部件的真空处理装置。

本发明是在所述轨道装置，设有槽内侧脱落防止装置和槽外侧脱落防止装置的真空处理装置，所述槽内侧脱落防止装置在所述连接部为所述分离状态时，与悬吊于所述槽内部的所述搭载装置的所述行驶部接触以防止所述搭载装置从所述槽内部脱落到所述盖用间隙，所述槽外侧脱落防止装置与悬吊于所述槽外部的所述搭载装置的所述行驶部接触以防止所述搭载装置从所述槽外部脱落到所述盖用间隙。

本发明是在所述连接部和所述槽外部中的任一者设有凸部，在另一者设有凹部，在所述连接部处于所述连接状态时，所述凸部和所述凹部嵌合以维持所述连接状态，在所述连接部从所述连接状态变更为所述分离状态时，所述凸部和所述凹部的嵌合解除，所述连接部变得能够旋转的真空处理装置。

本发明的真空处理除了真空干燥之外，包含真空烧成、真空退火、真空表面处理等多种真空处理。

另外，处理对象物体除了食品之外，包含半导体、玻璃基板、机械部件等多种材质、形状的物品。

发明效果

能够使用小面积的场所将搭载装置从真空槽内搬出搬入。

在使连接轨道旋转以在槽内部与槽外部的轨道之间形成间隙时，脱落防止机构工作，搭载装置不会从轨道装置脱落。

附图说明

图1是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽正视图(1)；

图2是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽正视图(2)；

图3是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽正视图(3)；

图4是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽正视图(4)；

图5是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽正视图(5)；

图6是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽正视图(6)；

图7是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽内部侧视图(1)；

图8是用于说明本发明的真空处理装置的真空槽内部侧视图(2)；

图9是用于说明本发明的真空处理装置的平面图(1)；

图10是用于说明本发明的真空处理装置的平面图(2)；

图11是用于说明本发明的真空处理装置的平面图(3)；

图12是用于说明本发明的真空处理装置的平面图(4)；

图13是用于说明本发明的真空处理装置的平面图(5)；

图14是用于说明本发明的真空处理装置的平面图(6)；

图15是用于说明通过槽内侧脱落防止装置被防止下落的搭载装置的图；

图16是用于说明真空槽内部的内部平面图(1)；

图17是用于说明真空槽内部的内部平面图(2)；

图18是用于说明真空槽内部的内部平面图(3)；

图19中，(a)是用于说明连接状态的连接部的平面图，(b)是用于说明分离状态的连接部的平面图；

图20中，(a)是用于说明行驶部的连接部的正视图，(b)是其平面图，(c)是轨道装置的截面图，(d)是用于说明行驶部的行驶的正视图，(e)是其平面图；

图21(a)、(b)是用于说明槽内侧脱落防止装置的动作的图；

图22是用于说明排列装置的图；

图23是用于说明现有技术的图(1)；

图24是用于说明现有技术的图(2)；

图25是用于说明现有技术的图(3)。

具体实施方式

图1示出本发明的真空处理装置2。

真空处理装置2具有真空槽8，在真空槽8的侧面，设有用于将处理对象物体搬出搬入真空槽8内部的搬出搬入用开口7。符号9是封闭搬出搬入用开口7以密闭真空槽8内部的盖装置，若使真空排气装置29工作，对用盖装置9密闭的真空槽8的内部真空排气，则能够使真空槽8的内部为真空气氛。在此，处理对象物体是载于托盘的食品，在真空槽8的内部受到真空干燥(冷冻干燥)的处理。

图1是将盖装置9打开的状态，该状态的平面图示于图9。

在配置有真空槽8的洁净室的底板面5，形成有如图7所示的凹状部，真空槽8和盖装置9配置在凹状部，以不在洁净室的底板面5形成因真空槽8的底面引起的凸部。

在真空槽8的顶板，从真空槽8的外部到内部，设有细长的轨道装置10。

参照图9，轨道装置10具有配置在真空槽8外部的细长的槽外部16、以及配置在真空槽8内部的细长的槽内部15。槽外部16固定于洁净室的顶板，槽内部15固定于真空槽8的顶板。

槽内部15和槽外部16间隔开而配置。另外，轨道装置10具有连接部14，以槽内部15和槽外部16之间能够通过连接部14而连接的方式构成。在图9中是连接的。

图2的符号是悬吊于轨道装置10的搭载装置。在图2中，搭载装置30未被悬吊，而是载于搭载车40，并被移动至真空槽8附近的状态。图10是该状态的平面图。

搭载装置30具有框体31、以及在框体31底面设置的多个搭载车轮35。

搭载车40具有本体21、以及固定于本体21框体的底盘22，在本体21的内部设有行驶用的马达等驱动装置。

本体21位于底盘22的一端，在本体21的底面和底盘22的本体附近的位置，安装有两个以上的后轮26。在底盘22的与本体21相反的一侧，安装有两个以上的前轮25。

若将各前轮25和各后轮26载于洁净室的底板面5上，使本体21内部的驱动装置工作以使后轮26旋转，则搭载车40在洁净室的底板面5上行驶。

各前轮25在铅垂且相互平行的平面内分别旋转，各后轮26也在铅垂且相互平行的平面内分别旋转。

各前轮25所旋转的平面相对于底盘22固定。

在本体21设有操作装置55。后轮26能够通过操作装置55在相互平行的状态下变更相对于底盘22的朝向，前轮25在搭载车40直线前进时朝向行进方向，前轮25的朝向相对于底盘22固定。操纵者6操作操作装置55来变更后轮26相对于底盘22的朝向，能够变更搭载车40行驶的朝向。

在通过操作装置55使前轮25所旋转的平面和后轮26所旋转的平面平行的情况下，底盘22直线移动，若使前轮25所旋转的平面和后轮26所旋转的平面不平行，则底盘22的移动方向拐弯。

在本体21的内部，设有马达等构成的升降装置，在该升降装置中，板状的升降部23相对于底盘22平行地安装于底盘22的上部。

若将前轮25和后轮26载于底板面5上，则底盘22和升降部23变得水平，若升降装置工作，则升降部23能够维持水平状态且在底盘22上沿上下方向移动。

框体31的底面与搭载车轮35相比位于上部，升降部23和底盘22的宽度比搭载车轮35的间隔短。

若在搭载车轮35接触在洁净室的底板面5上的搭载装置30的框体31的底面和底板面5之间，插入底盘22和升降部23，并使升降装置工作，以使升降部23上升，则搭载装置30的框体31的底面与升降部23的表面接触，搭载装置30载于升降部23上。

此时，搭载车轮35从升降部23露出，若进一步使升降部23上升，则搭载车轮35与底板面5间隔开。

在该状态下，搭载装置30的框体31的底面载于升降部23。若使升降装置工作，则载于升降部23的搭载装置30能够随着升降部23的上下移动而向上方向和向下方向移动。

在搭载装置30配置有进行真空处理的多个处理对象物体33，在搭载装置30载于升降部23上的状态下，搭载装置30的重量和配置在搭载装置30的处理对象物体33的重量由搭载车40的前轮25和后轮26支撑。

搭载装置30的框体31在上部设有行驶部32。

将行驶部32的正视图示于图20(a)，并将平面图示于同图(b)。

行驶部32具有固定于框体31顶板部分的底板44，在底板44上，两片安装板41a、41b相互间隔开并平行地固定于底板44上，在两片安装板41a、41b的相互相向的侧面，分别设有悬吊车轮42a、42b。在此，在一个安装板41a和另一个安装板41b，悬吊车轮42a、42b每两个设置，一个安装板41a的悬吊车轮42a和另一个安装板41b的悬吊车轮42b配置在相互相向的位置。各悬吊车轮42a、42b的大小相同。

轨道装置10的槽外部16、连接部14、以及槽内部15为截面H型的金属制轨道，如图20(c)所示，分别具有为细长的平板状且相互平行的安装部46和轨道部47、以及为细长板状，上端固定于安装部46的宽度方向中央位置，且下端固定于轨道部47的宽度方向中央位置并铅垂地配置的引导部48。在轨道装置10中，安装部46直接或是间接地固定于真空槽8的顶板、洁净室的顶板。

在悬吊车轮42a、42b与底板44之间，设有间隙49，如后所述，在将轨道部47和引导部48分别插入间隙49和相互相向的两个悬吊车轮42a、42b之间之后，若使行驶部32下降，则如图20(d)所示，各悬吊车轮42a、42b载于轨道部47上。同图(e)是同图(d)的状态的平面图。轨道部47为平面状，且水平。

各悬吊车轮42a、42b所旋转的平面是铅垂的，如图20(d)、(e)那样，引导部48直线状地延伸的情况下，各悬吊车轮42a、42b所旋转的平面与引导部48所位于的平面平行，在引导部48在铅垂的状态下弯曲的情况下，各悬吊车轮42a、42b所旋转的平面沿引导部48的弯曲回旋，在任一情况下，行驶部32和设有行驶部32的搭载装置30都能够沿引导部48移动。

在图2、图10的状态下，搭载装置30载于搭载车40，首先，说明将搭载车40上的搭载装置30悬吊于轨道装置10的顺序。

如图9～14所示，槽外部16具备引导部48直线状地延伸的直线部12、以及在引导部48铅垂且轨道部47水平的状态下，在水平面内弯曲的弯曲部13。

直线部12的与连接于弯曲部的部分为相反侧的端部开放，该直线部12的开放的部分能够插入间隙49。

在直线部12的开放的部分附近，在轨道部47上，设有从轨道部47的表面突出的止动部件90。设有止动部件90的轨道部47的表面为悬吊车轮42a、42b所接触的表面。

首先，使升降装置工作，使升降部23上升，直到升降部23上的搭载装置30的悬吊车轮42a、42b的下端变为比止动部件90的上端高的位置。

在直线部12的开放的一端，安装有安装棒11，多个引导装置19₁～19₃(在此为3个)朝向下方铅垂地设置于安装棒11。

各引导装置19₁～19₃为细长的形状，且以位于直线部12的引导部48所位于的平面内的方式排列为直线状。

从图2、图10所示的状态开始，操纵者6使搭载有搭载装置30的搭载车40的本体21及后轮26在最前，并使前轮25在最后，使该搭载车40行驶。

此时，操纵者6观察引导装置19₁～19₃和移动中的行驶部32的位置关系，对操作装置55进行操作来修正搭载车40的移动方向，以使引导装置19₁～19₃位于相向的悬吊车轮42a、42b之间。

各引导装置19₁～19₃的宽度比悬吊车轮42a、42b之间的宽度窄，位于中心的引导装置19₁～19₃能够通过悬吊车轮42a、42b之间。图3、图11示出一个引导装置19₂通过悬吊车轮42a、42b之间的状态。

在引导装置19₁～19₃由“绳子”、能够弯折地安装的“棒”等构成，引导装置19₁～19₃不能够通过悬吊车轮42a、42b之间并与行驶部32冲突的情况下，引导装置19₁～19₃弯折或弯曲，搭载车40在引导装置19₁～19₃不妨碍行驶部32的行驶的情况下行驶。

在引导装置19₁～19₃和行驶部32冲突的情况下，在到达下个引导装置19₂、19₃、轨道装置10的端部之前，修正搭载车40的移动方向，使下个引导装置19₂、19₃、轨道装置10的端部的引导部48依次通过相向的悬吊车轮42a、42b之间即可。

若通过操纵者6来控制搭载车40的移动方向以使多个引导装置19₁～19₃依次通过相向的悬吊车轮42a、42b之间，且使搭载车40在底板面5上行驶，则搭载车40的移动方向与直线部12的引导部48延伸的方向平行，使直线部12的引导部48延长的平面位于相向的悬吊车轮42a、42b之间，并与行驶部32交叉。

在该状态下，搭载车40的前轮25所旋转的平面与后轮26所旋转的平面平行，若使后轮26旋转并使本体21及后轮26在最前以使搭载车40移动，则各悬吊车轮42a、42b通过止动部件90的上方，直线部12的引导部48插入相向的悬吊车轮42a、42b之间，变为引导部48被行驶部32夹着的状态。在该状态下，悬吊车轮42a、42b位于露出的轨道部47之上。

在直线部12设有多个排列装置17₁～17₃(在此为3台)，通过排列装置17₁～17₃，以直线部12的引导部48位于相向的悬吊车轮42a、42b的正中的方式移动搭载车40。

在此，如图22所示，排列装置17₁～17₃具有板状的两片排列部件37a、37b，若在行驶部32通过排列部件37a、37b之间时，行驶部32与排列部件37a、37b中的任一者接触，则从所接触的排列部件37a、37b受到朝向排列部件37a、37b的中央方向的力，搭载车40朝中央方向移动。

排列部件37a、37b的间隔按行驶部32通过的顺序逐渐地变窄，通过利用各排列装置17₁～17₃沿与直线部12的引导部48垂直的方向移动搭载车40，使直线部12的引导部48位于相互相向的两个悬吊车轮42a、42b的中央。

然后，在使其通过最后的排列装置17₃，接着使搭载装置30直线移动之后，如图4、图12所示，在悬吊车轮42a、42b位于直线部12的轨道部47之上时，使升降部23下降，使悬吊车轮42a、42b载于直线部12的轨道部47上。

然后，若使升降部23进一步下降，则如图5所示，升降部23从搭载装置30的框体31间隔开。此时，悬吊于轨道装置10直线部12的搭载装置30的搭载车轮35的下端位于底板面5的上方，搭载车轮35与底板面5不接触。

因而，该搭载装置30的包含处理对象物体33的重量的重量通过直线部12而被悬吊支撑，搭载装置30成为悬吊于轨道装置10的状态。

因为搭载车40与搭载装置30不接触，能够在不使搭载装置30移动的情况下使搭载车40移动，所以，若使搭载车40沿与在使直线部12的引导部48位于悬吊车轮42a、42b之间且使搭载装置30直线移动时相同的方向移动，则搭载装置30静止，且如图6、图13所示，本体21与搭载装置30之间的距离变大。

在图6、图13中，使搭载车40移动，直到升降部23和底盘22移动到搭载装置30的框体31的正下方位置的外侧。

直线部12通过弯曲部13和连接部14而连接于槽内部15。弯曲部13的弯曲为四分之一圆，连接部14和槽内部15为直线状，且以成为直线的方式连接。连接于弯曲部13一端的直线部12和连接于另一端的连接部14以向相互直角的方向延伸的方式配置。

槽内部15以延伸方向与搬出搬入用开口7成为直角的方式配置在真空槽8的内部，因而，在使升降部23和底盘22从搭载装置30的框体31的正下方位置移动到外侧时，由于搭载车40与搬出搬入用开口7平行地移动，故搭载车40不会进入真空槽8内部。

直线部12、弯曲部13、连接部14、以及槽内部15的轨道部47位于相同的高度。

关于搭载装置30，引导部48由行驶部32夹着，若通过行驶部32夹着各部12～16的引导部48且对搭载装置30施加力以使悬吊车轮42a、42b在各部12～16的轨道部47上旋转，则搭载装置30按照直线部12、弯曲部13、连接部14、以及槽内部15的顺序沿轨道装置10移动，因而搭载装置30沿引导部48移动。虽然此时，引导部48位于行驶部32之中，但还可以以行驶部位于引导部之中的方式构成。

在此，当操纵者6通过人力推压或牵引搭载装置30以使悬吊车轮42a、42b旋转，且使搭载装置30沿轨道装置10移动，搭载装置30在弯曲部13行驶时，按照弯曲部13的弯曲形状移动，在通过连接部14之后，如图14所示，在悬吊于槽内部15的状态下，移动到真空槽8的内部。在真空槽8的内部，搭载车轮35不与真空槽8的底板面接触。

如以上说明的那样，若将多个搭载装置30分别载于搭载车40，并一台一台地悬吊于轨道装置10，并搬入真空槽8内部，则如图7、图16所示，能够将多个悬吊于槽内部15的搭载装置30配置在真空槽8内部。

图7、图16是在真空槽8的内部悬吊有既定个数的搭载装置30的状态，为了关闭盖装置9以通过真空排气装置29对真空槽8内部进行真空排气，首先，使连接部14旋转，以在搬出搬入用开口7前的位置如图17所示地形成用于定位盖装置9的盖用间隙38。盖用间隙38位于槽内部15与槽外部16之间，且位于贯穿搬出搬入用开口的部位。

将连接部14及其周围部分以放大的平面图示于图19(a)、(b)。

连接部14以能够水平旋转的方式安装于在槽外部16铅垂地设置的旋转轴64，同图(a)是通过连接部14连接了槽外部16和槽内部15的状态，在该连接状态下，悬吊的搭载装置30能够在槽外部16与槽内部15之间通过连接部14而移动。

连接部14能够将旋转轴64作为中心沿顺时针方向和逆时针方向二者旋转。在此，处于连接状态的连接部14从上方看沿逆时针方向旋转，为在槽内部15与槽外部16之间形成盖用间隙38的分离状态。图19(b)示出处于分离状态的连接部14。

此外，为了使连接部14能够旋转，使得，为连接部14和槽外部16所接触的接触面、以及连接部14和槽内部15所接触的接触面之间的距离的，连接部14的长度越在逆时针的行进方向的位置则越大。

在连接部14为连接状态时，盖装置9配置在搬出搬入用开口7的左侧、右侧、上侧中的任一者，真空槽8的内部为通过搬出搬入用开口7而开放的状态。

若连接部14变为分离状态且如图17所示，在槽外部16与槽内部15之间形成盖用间隙38，则盖装置9能够位于盖用间隙38，因而若如此移动盖装置9，则如图8、图18所示，盖装置9位于搬出搬入用开口7的正面，若盖装置9紧贴于真空槽8，则真空槽8由盖装置9密闭。

若在真空槽8被密闭的状态下使真空排气装置29工作，则能够对真空槽8的内部进行真空排气。

此外，由于连接部14安装于在槽外部16设置的旋转轴64，故在连接部14处于分离状态且真空槽8由盖装置9封闭的情况下，连接部14位于真空槽8的外部。

图19的(b)所示的槽外侧脱落防止装置61设于连接部14。

在连接部14处于连接状态时，槽外侧脱落防止装置61位于轨道装置10的侧面，在悬吊于轨道装置10的搭载装置30移动时，槽外侧脱落防止装置61不与搭载装置30接触，但在分离状态下，槽外侧脱落防止装置61通过连接部14的旋转而移动，以位于槽外部16的设有旋转轴64的端部附近。

在连接部14处于分离状态时，槽外侧脱落防止装置61位于能够与悬吊于槽外部16的搭载装置30的行驶部32接触的场所，在所悬吊的搭载装置30朝槽外部16的与连接部14连接的端部移动的情况下，在行驶部32从槽外部16的端部落下之前，槽外侧脱落防止装置61与行驶部32接触，在落下之前停止行驶部32在轨道部47上的行驶，以防止落下。

另外，在连接部14之中的为连接于槽内部15的部分的帽部69的端部，设有推压部件54，在槽内部15的连接于连接部14的位置，设有槽内侧脱落防止装置51。

将与图19(a)、(b)对应的，槽内部15的截面的正视图示于图21(a)、(b)。

在槽内部15的安装部46，设有安装装置52，槽内侧脱落防止装置51以能够旋转的方式安装于在安装装置52水平地设置的旋转轴53。

推压部件54以连接部14处于连接状态时，位于推压槽内侧脱落防止装置51的场所的方式配置，被推压的槽内侧脱落防止装置51位于槽内部15的轨道部47的外侧，悬吊车轮42a、42b在轨道部47上旋转，使得对悬吊于轨道装置10的搭载装置30在槽内部15与连接部15之间移动没有障碍。

在连接部14从连接状态过渡到分离状态时，若连接部14旋转，则推压部件54向从槽内侧脱落防止装置51间隔开的方向移动，若推压部件54与槽内侧脱落防止装置51变得不接触，则槽内侧脱落防止装置51位于槽内部15的轨道部47之上，位于与悬吊于槽内部15的搭载装置30接触的场所。

在悬吊于槽内部15的搭载装置30移动，槽内部15的与连接部14连接的端部落下到盖用间隙38之前，槽内侧脱落防止装置51与该搭载装置30的行驶部32接触，使搭载装置30的在槽内部15上的行驶停止，以防止落下。图15表示槽内侧脱落防止装置51与悬吊车轮42a、42b接触而被防止了下落的搭载装置30。

在连接部14旋转以从分离状态过渡至连接状态时，推压部件54向接近槽内侧脱落防止装置51的方向移动，推压部件54抵接于槽内侧脱落防止装置51，若进一步移动，则推压部件54推压槽内侧脱落防止装置51。

通过推压，槽内侧脱落防止装置51旋转，并被从槽内部15的轨道部47上去除，对在轨道部47上行驶的悬吊车轮42a、42b的移动的障碍得到消除。

此外，卡止部件70固定于槽外部16，在卡止部件70和连接部14中的任一者设有凹部65，在另一者设有凸部66。凸部66在安装于凸部本体68的状态下设于卡止部件70和连接部14中的任一者，若通过配置在凸部本体68内的弹簧，凸部66受到推压，则凸部66向凸部本体68的内部方向移动并被掩埋。凸部本体68和帽部69通过中继部60而相互固定，中继部60安装于旋转轴64。

凹部65设于平坦的平面上，在连接部14从分离状态变为连接状态时，通过连接部14的旋转而从凸部本体68突出的凸部66由设有凹部65的平面推压，并掩埋在凸部本体68内。然后在连接部14在将槽外部16和槽内部15连接的位置处静止而变为连接状态时，掩埋的凸部66和凹部65相向，相向的部分非平面，在凹部65处，凸部66变得不被推压，因而凸部66恢复至从凸部本体68突出的位置，其结果，凸部66与凹部65嵌合。

在凸部66和凹部65嵌合的状态下，连接部14不旋转，维持连接状态。

此外，图19(a)、(b)的符号67a、67b是用于使连接部14旋转的绳子，且所延伸的方向通过辊71而被改变。操纵者6通过在与连接部14间隔开的场所处操作该绳子来使连接部14旋转，能够在连接状态与分离状态之间切换连接部14的状态。

若为了将连接部14从连接状态变更为分离状态而拉绳子67a，则凸部66被拉入凸部本体68的内部，凸部66与凹部65的嵌合解除，利用通过绳子67a施加于连接部14的牵引力，连接部14旋转，并从连接状态变更为分离状态。拉绳子67a来从分离状态向连接状态变更。

此外，虽然连接部14使槽外部16的弯曲部13与槽内部15连接，但还可以在弯曲部13和连接部14之间设置直线部，并将直线部和槽内部15连接。在该情况下，以能够旋转的方式安装连接部14的旋转轴设于直线部。

若真空槽8中的搭载于搭载装置30的处理对象物体33的真空处理开始、并结束，则从真空槽8的内部取出搭载装置30。例如，在处理对象物体33为食品(及装载食品的托盘)的情况下，冷阱(未图示)连接于真空槽8，在基于冷阱的为真空干燥的真空处理之后，从真空槽8取出搭载装置30。

在取出时，首先使真空槽8的内部为大气压并打开盖装置9，在使盖装置9从盖用间隙38移动之后，使连接部14旋转，以将连接部14从分离状态变更为连接状态。在变为连接状态时，凸部66和凹部65嵌合以维持连接状态。施加使位于真空槽8内部的近前，距搬出搬入用开口7最近的搭载装置30在悬吊的状态下从真空槽8的内部移动到外部的力，以使其按槽内部15、连接部14、槽外部16的顺序移动。在此，使搭载装置30在到达槽外部16的直线部12时停止。

搭载车40使前轮25朝向直线部12和弯曲部13连接的部分，并使后轮26及本体21朝向其相反侧，预先配置在直线部12的正下方，或将直线部12的引导部48延长的线或面的正下方位置。

使升降部23下降至比悬吊于轨道装置10(在此为直线部12)的搭载装置30的框体31的底面低的位置，使搭载车40向所悬吊的搭载装置30所在的方向移动，在将升降部23和底盘22的前轮25侧的部分插入悬吊于直线部12的搭载装置30的框体31的底面与底板面5之间之后，使升降部23上升，将悬吊的搭载装置30载于升降部23，将搭载装置30从轨道装置10移载至搭载车40。

搭载于升降部23的搭载装置30以悬吊车轮42a、42b的下端变得比止动部件90的上端高的方式上升，若使搭载车40朝向直线部12的开放端部方向，沿直线部12所延伸的方向移动，则从搭载装置30的相向的悬吊车轮42a、42b之间、以及两片安装板41a、41b之间拔去引导部48。

接着，若使升降部23下降，将搭载车轮35载于底板面5上，并进一步使升降部23下降以使升降部23从框体31的底面间隔开，并使搭载车40向后轮26所在的方向移动，则能够使搭载车40从载于底板面5上的搭载装置30分离。

虽然在上述例子中，通过行驶部32，夹着引导部48使搭载装置30沿引导部48移动，但也可以变更行驶部和引导部的构成，以利用引导部夹着行驶部，搭载装置沿引导部移动的方式构成。

符号说明

8 真空槽

9 盖装置

10 轨道装置

12 直线部

13 弯曲部

14 连接部

15 槽内部

16 槽外部

17₁～17₃ 排列装置

30 搭载装置

33 处理对象物体

40 搭载车

23 升降部

46 安装部

47 轨道部

48 引导部

65 凹部

66 凸部。