金刚石电镀设备上的伺服放线装置的制作方法

文档序号:12098577阅读:615来源:国知局
金刚石电镀设备上的伺服放线装置的制作方法

本实用新型涉及电镀设备领域,尤其涉及一种金刚石电镀设备上的伺服放线装置。



背景技术:

随着国家新能源战略计划的制定和实施及半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大,对硅片的厚度不断降低,对切割精度越来越高,从而对金刚石线锯的生产设备要求也越来越高。金刚石线锯在生产时,其放线是第一道工序,放线的速度与整条线的协调至关重要,如果放线不能够匀速进行,就会影响到后断工序,甚至引起断线的可能。目前较为传统的方法就是利用普通马达来完成。利用普通马达来放线,它主要的不足就是普通马达的减速器齿轮间隙比伺服马达减速器的齿轮间隙要大,从而影响到传动精度,就会影响到放线的平稳性,也不利于智能化的生产。



技术实现要素:

针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供一种传动精度高、放线平稳且生产效率高的金刚石电镀设备上的伺服放线装置。

为实现上述目的,本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的伺服放线装置,包括伺服马达、减速器、传动轴和绕线轮,所述减速器安装在轴承箱的侧边,所述传动轴的一端穿过轴承箱侧边后置于轴承箱内,且所述传动轴的一端通过减速器与伺服马达驱动连接;所述绕线轮通过绕线轮轴与传动轴的另一端固定连接后,绕线轮与传动轴驱动连接;绕线轮上缠绕的线材穿过导线轮进行放线。

其中,该装置还包括联轴器、轴承和轴承座,所述传动轴的一端依次贯穿轴承和联轴器后与减速器连接,且该联轴器和轴承均安装在轴承箱内;所述轴承座安装在轴承箱外减速器所在的相对侧上,且所述传动轴的另一端穿过轴承箱的另一侧边后套接在轴承座内。

其中,所述绕线轮轴的一端贯穿固定压盘后穿进轴承座内与传动轴的另一端连接,且固定压盘抵持在绕线轮的一端挡轮上;所述绕线轮轴和传动轴的连接处套接有衬垫。

其中,所述绕线轮轴的另一端贯穿绕线轮,且绕线轮轴贯穿绕线轮的部分套接有活动压盘,且所述活动压盘抵持在绕线轮另一端挡轮上。

其中,所述活动压盘通过螺母套接在绕线轮轴上。

本实用新型的有益效果是:与现有技术相比,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的伺服放线装置,该装置的放线是通过伺服马达来完成的,把需要生产的线材安装到绕线轮上,再把线材经过导线轮绕到下一工序,当开启时,伺服马达开始运转后进行放线;且由减速器调整速度,由此可保证与其他工序之间的配合协调,实现了放线不需要进行人工干预。另外,该减速器的齿轮间隙小,由此提高了传动的精度。本实用新型具有生产效率高、放线精度高等特点,且对设备整体的智能化生产的提高有很大的作用。

附图说明

图1为本实用新型的金刚石电镀设备上的伺服放线装置的爆炸图;

图2为图1组装后的结构图;

图3为图2的剖视图。

主要元件符号说明如下:

10、伺服马达 11、减速器

12、传动轴 13、绕线轮

14、轴承箱 15、绕线轮轴

16、联轴器 17、轴承

18、轴承座 19、固定压盘

20、衬垫 21、活动压盘

22、螺母 131、挡轮。

具体实施方式

为了更清楚地表述本实用新型,下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。

请参阅图1-3,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的伺服放线装置,包括伺服马达10、减速器11、传动轴12和绕线轮13,减速器11安装在轴承箱14的侧边,传动轴12的一端穿过轴承箱14侧边后置于轴承箱14内,且传动轴12的一端通过减速器11与伺服马达10驱动连接;绕线轮13通过绕线轮轴15与传动轴12的另一端固定连接后,绕线轮13与传动轴12驱动连接;绕线轮13上缠绕的线材穿过导线轮进行放线。

相较于现有技术的情况,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的伺服放线装置,该装置的放线是通过伺服马达10来完成的,把需要生产的线材安装到绕线轮上,再把线材经过导线轮绕到下一工序,当开启时,伺服马达10开始运转后进行放线;且由减速器调整速度,由此可保证与其他工序之间的配合协调,实现了放线不需要进行人工干预。另外,该减速器的齿轮间隙小,由此提高了传动的精度。本实用新型具有生产效率高、放线精度高等特点,且对设备整体的智能化生产的提高有很大的作用。

在本实施例中,该装置还包括联轴器16、轴承17和轴承座18,传动轴12的一端依次贯穿轴承17和联轴器16后与减速器11连接,且该联轴器16和轴承17均安装在轴承箱14内;轴承座18安装在轴承箱14外减速器11所在的相对侧上,且传动轴12的另一端穿过轴承箱14的另一侧边后套接在轴承座18内。本案中将联轴器16、轴承17均安装在轴承箱内,由此大大减小了该装置的体积,且可通过联轴器把动能传递到绕线轮上。

在本实施例中,绕线轮轴15的一端贯穿固定压盘19后穿进轴承座18内与传动轴12的另一端连接,且固定压盘19抵持在绕线轮13的一端挡轮131上;绕线轮轴15和传动轴12的连接处套接有衬垫20。绕线轮轴15的另一端贯穿绕线轮13,且绕线轮轴15贯穿绕线轮13的部分套接有活动压盘21,且活动压盘21抵持在绕线轮13另一端挡轮131上。本案中绕线轮的挡轮上抵持有固定压盘和活动压盘,通过活动及固定压盘的作用,使得绕线轮在转动过程中不会出现位置偏移的现象,进而保证放线的准确性。

在本实施例中,活动压盘21通过螺母22套接在绕线轮轴15上。当然,还可以其他方式固定。

本装置可以做成模组的形式,放线是通过伺服马达来完成,它具有占地面积小、控制精度高、通用性高等特性,能与后断工序紧密配合、协调一致等特点。采用此种伺服放线装置后,其生产效率、放线精度都能够大大的提高。

本案是伺服放线装置在金刚石电镀设备上的具体应用,工作前首先把需要生产的线材安装到绕线轮上,在把线材经过导线轮绕到下一工序,当设备开启时,伺服马达开始运转,并能通过减速器调整速度,与其它工序之间配合、协调;当设备开启后,不需要进行人工干预,以达到自动化、智能化的生产。

以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例,但是本实用新型并非局限于此,任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。

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