搬运装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对收纳有半导体基板等工件的搬运容器进行搬运的搬运装置。
【背景技术】
[0002]在现有技术的半导体器件等的制造设备中，有时，收纳有半导体基板等工件的搬运容器，在被沿着设于设备的顶棚附近的行走轨行走的顶棚搬运车(搬运装置)把持的状态下，在多个处理装置之间依次进行搬运。
[0003]例如，在专利文献I中公开了一种搬运装置，该搬运装置具备升降单元，该升降单元设置于水平移动单元，使对工件(密闭匣)进行保持的工件保持单元升降，在工件保持单元与各处理装置之间进行工件的交接，该搬运装置在洁净室内在多个处理装置间循环，向各处理装置搬运工件。
[0004]在专利文献I的搬运装置中，上述工件保持单元由向工件(密闭匣)的两侧面以3字状延伸的工件保持部构成。通过在此工件保持部的两侧部的下端相向地设置对工件的底面进行保持的手，上述工件保持单元对工件(密闭匣)进行保持。
[0005]专利文献1:日本特开2004-25427号公报
【发明内容】
[0006]然而，专利文献I的搬运装置以对形状相同的密闭匣(搬运容器)进行搬运为目的，不能随时搬运形状或大小不同的搬运容器。因此，特别是在必须搬运各种各样的形状或大小的搬运容器的半导体器件制造工序的后工序，存在必须与搬运容器的形状或大小适应地变更装置构成(例如容器的把持单元的构成)的问题。
[0007]另外，在用于半导体器件制造工序的后工序的搬运容器中，具有用于防止被收纳的工件跳出的跳出防止构件(例如用于将搬运容器密闭的盖等)的搬运容器少。因此，需要另行在搬运装置设置跳出防止构件，还存在装置构成变复杂这一问题。
[0008]因此，本发明的目的在于提供一种搬运装置，该搬运装置不变更装置构成即可进行各种各样的形状或大小的搬运容器的搬运，并且，可由简单的装置结构防止搬运容器内的工件跳出。
[0009]本发明的要解决的课题如上，接下来对用于解决此课题的技术手段进行说明。
[0010]S卩，本发明中的技术方案I记载的搬运装置具备对收纳工件的搬运容器进行把持的容器把持单元，在上述容器把持单元对上述搬运容器进行把持的状态下搬运上述搬运容器；在该搬运装置中，上述容器把持单元具备对上述搬运容器进行把持的把持部和对由上述把持部把持的搬运容器进行检测的容器检测部；上述把持部基于由上述容器检测部进行的检测来控制对上述搬运容器的把持动作，并且，上述把持部防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
[0011]当采用上述构成时，通过容器检测部对搬运容器进行检测，来控制把持部对上述搬运容器的把持动作，并且，把持部防止被收纳在搬运容器中的工件跳出。
[0012]另外，技术方案2记载的发明在技术方案I记载的搬运装置中，上述把持部以覆盖上述搬运容器的上述工件的收纳口的方式对上述搬运容器进行把持，由此来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
[0013]当采用上述构成时，通过把持部对搬运容器进行把持，并且在对搬运容器进行把持的状态下覆盖工件的收纳口，防止被收纳在搬运容器中的工件跳出。
[0014]并且，技术方案3记载的发明在技术方案I或技术方案2记载的搬运装置中，上述把持部通过使相对于上述搬运容器的移动方向分阶段地改变来对上述搬运容器进行把持。
[0015]当采用上述构成时，通过一边使把持部相对于该搬运容器的移动方向分阶段地改变一边与搬运容器接近或分开，对搬运容器进行把持。
[0016]并且，技术方案4记载的发明在技术方案I至技术方案3的任意一项记载的搬运装置中，上述容器检测部由对上述搬运容器的一个侧面进行检测的第I容器检测部和对上述搬运容器的另一个侧面进行检测的第2容器检测部构成。
[0017]当采用上述构成时，在两个检测部(第I及第2容器检测部)，从两方向对搬运容器进行检测。
[0018]根据本发明的搬运装置，因为对搬运容器进行把持的把持部基于对搬运容器进行检测的容器检测部的检测对搬运容器进行把持，所以，可与搬运容器的形状或大小适应地对搬运容器进行把持。因此，不用对搬运装置(把持部)的构成进行变更即可搬运各种各样的形状或大小的搬运容器。
[0019]另外，根据本发明的搬运装置，因为对搬运容器进行把持的把持部具有防止被收纳在搬运容器中的工件跳出的跳出防止构件的功能，所以，不需要在搬运装置另行设置跳出防止构件。因此，可由简单的装置结构防止搬运容器内的工件跳出。
【附图说明】
[0020]图1是作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车的正视图。
[0021]图2是由顶棚搬运车搬运的盒的立体图。
[0022]图3是顶棚搬运车的夹持装置的侧面剖视图。
[0023]图4 (a)至(C)是使顶棚搬运车的第I夹头纵构件及第2夹头纵构件分两个阶段进行移动的场合的俯视简图，(d)及(e)是使顶棚搬运车的第I夹头纵构件及第2夹头纵构件以一个阶段进行移动的场合的俯视简图。
[0024]图5(a)是表示由顶棚搬运车搬运的盒的另外的实施例的立体图，(b)及(C)是相对于该盒使面导向构件移动的场合的俯视简图。
【具体实施方式】
[0025]首先，对作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车10进行说明。
[0026]如图1所示那样，顶棚搬运车10是用于向对于半导体基板等工件(未图示)进行规定的处理的多个处理装置(未图示)搬运工件的搬运车。顶棚搬运车10在对收纳工件的盒80( “搬运容器”的一例)进行了把持的状态下进行搬运。
[0027]如图2所示那样，顶棚搬运车10搬运的盒80是大致长方体的箱状的搬运容器。在搬运的盒80的内部设置可收纳多个工件的多层的载置部81。盒80可从在其长度方向的两端部开口的收纳口 82收纳工件地构成。收纳口 82的上下部分形成为被开槽口的状态。
[0028][顶棚搬运车10]
[0029]如图1所示那样，顶棚搬运车10以相对于设置在设备的顶棚90附近的行走轨91悬挂的状态进行安装。顶棚搬运车10可沿行走轨91移动地构成。顶棚搬运车10主要由移动车11、升降驱动部12和夹持装置20 ( “容器把持单元”的一例)构成。
[0030]移动车11可沿固定地安装于顶棚90的行走轨91行走地构成。移动车11主要由线性马达式的行走车体13和支承部14构成。线性马达式的行走车体13产生用于沿行走轨91行走的行走推力。支承部14被相对于行走车体13连结，对升降驱动部12进行支承。另外，行走车体13不限定于线性马达式的行走车体，只要是可在洁净室等要求洁净度的空间中行走的方式的行走车体即可。
[0031]升降驱动部12是在悬挂了夹持装置20的状态下进行升降的部分。升降驱动部12安装于移动车11的下端部。升降驱动部12具有多条升降皮带15。升降驱动部12构成为可同时地卷取及开卷多条升降皮带15。通过进行多条升降皮带15的卷取及开卷，由升降皮带15悬挂支承的夹持装置20被一边维持大致水平姿势一边进行升降操作。
[0032][夹持装置20]
[0033]夹持装置20是对盒80进行把持的装置。夹持装置20被安装于升降驱动部12。夹持装置20以从盒80的底部将盒80包入(掏取)的方式对盒80进行把持。夹持装置20主要由对盒80进行把持的把持部21、对把持部21进行驱动的驱动部22和对盒80进行检测的传感器23 ( “容器检测部”的一例)构成。
[0034][把持部21]
[0035]如图1至图3所示那样，把持部21沿夹持装置20的上下方向延设。把持部21是以从盒80的底部将盒80包入(掏取)的方式可搬运地对盒80进行保持的部分。即，把持部21是对盒80进行把持的部分。把持部21由沿上下方向延设的多条(在图1中是3条)夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)构成。把持部21由多个夹头纵构件对盒80进行把持。另外，通过由3条夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)构成把持部21，盒80的重量确实地搭乘在各夹头纵构件(夹头纵构件24、25、26)的承接部分(承接部分28、30)上，可更稳定地对盒80进行把持。
[0036]第I夹头纵构件24及第2夹头纵构件25是在对盒80进行把持时被配置于盒80的角部的角导向构件。第I夹头纵构件24及第2夹头纵构件25是对盒80的角部进行把持并且对盒80的角部进行导向的构件。第I夹头纵构件24及第2夹头纵构件25由与盒80的角部抵接的臂部分27和形成于臂部分27的一端部、对盒80的底面进行承接的承接部分28构成。
[0037]臂部分27是与盒80的角部的形状适应地将2片板状构件27a接合成大致L字形状形成的部分。臂部分27在由把持部21对盒80进行把持时与盒80的角部抵接。通过臂部分27与盒80的角部抵接，成为第I夹头纵构件24及第2夹头纵构件25可与第3夹头纵构件26 —起对盒80的侧面进行把持的状态。
[0038]并且，通过臂部分27与盒80的角部抵接，成为臂部分27在上下方向上对盒80的收纳口 82的一端进行覆盖的