从盒子C2被传送到指示器Il到14中的任一个。例如，竖直驱动柱114(图1B)被运动到位置P02以从盒子C2取回托盘然后从位置P02位置P03运动到位置P04以输送托盘到指示器14。在一些实施例中，托盘可从盒子C3被传送到指示器Il到14中的任一个。在若干实施例中，托盘可从盒子C4被传送到指示器Il到14中的任一个。
[0113]在一些实施例中，托盘从盒子Cl通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他盒子C2到C4中的任一个。在若干实施例中，托盘从盒子C2通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他盒子Cl，C3，和C4中的任一个。在各个实施例中，托盘从盒子C3通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他盒子C1，C2和C4中的任一个。在若干实施例中，托盘从盒子C4通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他盒子Cl，C2和C3中的任一个。
[0114]类似地，托盘从指示器Il到14中的任一个被传送到盒子Cl到C4中的任一个。例如，竖直驱动柱114(图1B)被运动到位置POl以从指示器Il取回托盘然后从位置POl经由位置P02和P03运动到位置P04以输送托盘到盒子C4。作为另一个例子，托盘从指示器12被传送到盒子Cl到C4中的任一个。作为另一个例子，托盘从指示器13被传送到盒子Cl到C4中的任一个。在若干实施例中，托盘从指示器14被传送到盒子Cl到C4中的任一个。
[0115]在各个实施例中，托盘从指示器Il通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他指示器12到14中的任一个。在各个实施例中，托盘从指示器12通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他指示器II，13和14中的任一个。在各个实施例中，托盘从指示器13通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他指示器II，12和14中的任一个。在若干实施例中，托盘从指示器14通过使用位置POl到P04中的一个或更多个被传送到其他指示器II，12和13中的任一个。
[0116]图3是用于识别托盘在制造实验室(fab) 150内的位置的系统148的实施例的顶视图。fab 150包括多个分类器和多个工具，例如，计量工具，制作工具，用于处理晶圆的工具，用于处理药品的工具，用于处理DNA样品的工具，用于处理发光二极管的工具，用于处理MEMS装置的工具等。例如，fab 150包括清理晶圆裸片的工具，从托盘取回裸片的工具，放置裸片到托盘的隔间中的工具，清理发光二极管的工具等。
[0117]照相机，例如，照相机Cl，C2(图1B)等，其被附连到分类器106 (图2)的门，捕捉图像并将这些图像传送到计算机系统152。计算机系统152包括一个或更多个处理器和一个或更多个存储装置，其是计算机可读的媒介。计算机系统152的例子包括台式机，膝上计算机，工作站等。
[0118]如在此使用的，处理器可以是专用集成电路(ASIC)，可编程逻辑器件(PLD)，中央处理单元(CPU)，微处理器等。此外，存储装置的例子包括只读存储器(R0M)，随机存取存储器(RAM)，或者它们的组合。例如，存储装置包括闪速存储器，冗余磁盘阵列，硬盘等。
[0119]盒子和/或指示器在fab 150的分类器之间传送。在各个实施例中，盒子和/或指示器在fab 150的工具之间传送。在若干实施例中，盒子和/或指示器在fab 150的工具和fab 150的分类器之间传送。
[0120]位于fab 150内且用来传送在fab 150内的托盘的盒子的标识被储存在存储装置中。例如，识别盒子并将fab 150内的盒子与fab 150内的另一个盒子区别开的编码被储存在存储装置中。
[0121]此外，位于fab 150内且用来传送在fab 150内的托盘的指示器的标识被储存在存储装置中。例如，识别指示器并将fab 150内的指示器与fab 150内的另一个指示器区别开的编码被储存在存储装置中。
[0122]而且，识别在fab 150内使用的托盘的信息被储存在所述存储装置中。例如，识别在fab 150内的托盘并将该托盘与在fab 150内使用的另一个托盘区别开的条型码被储存在存储装置中。
[0123]位于fab 150内且用来传送在fab 150内的托盘的分类器的标识被储存在存储装置中。例如，识别分类器且将fab 150内的分类器与fab 150内的另一个分类器区别开的编码被储存在所述存储装置中。
[0124]此外，位于fab 150内且用来处理在fab 150内的托盘的工具的标识被储存在所述存储装置中。例如，识别工具并将fab 150内的工具与fab 150内的另一个工具区别开的编码被储存在所述存储装置中。
[0125]盒子的标识和识别在fab 150内使用的托盘的信息之间的关系也被储存在所述存储装置中。例如，指示具有标识编码aaaa的托盘被储存在具有标识编码bbbb的盒子中的关系被储存在所述存储装置中。
[0126]此外，指示器的标识和识别在fab 150内使用的托盘的信息之间的关系也被储存在所述存储装置中。例如，指不具有标识编码aaaa的托盘被储存在具有标识编码cccc的指示器中的关系被储存在所述存储装置中。
[0127]分类器的标识和识别在fab 150内使用的托盘的信息之间的关系也被储存在所述存储装置中。例如，指示具有标识编码aaaa的托盘在具有标识编码dddd的分类器中被分类的关系被储存在所述存储装置中。
[0128]此外，照相机的标识和识别照相机所在的分类器的门的信息之间的关系也被储存在所述存储装置中。例如，指示具有标识编码eeee的照相机被定位在具有标识编码ffff的分类器门上的关系被储存在所述存储装置中。
[0129]而且，阅读器的标识和识别其上放置有阅读器的指示器的信息之间的关系也被储存在所述存储装置中。例如，指示具有标识编码gggg的阅读器被定位在具有标识编码hhhh的指示器上的关系被储存在所述存储装置中。阅读器的例子包括扫描器，照相机等。阅读器进一步在下面被进一步描述。
[0130]当托盘从盒子被传送到分类器时，分类器的照相机从托盘捕捉识别该托盘的信息的图像并将该图像发送到计算机系统152。当图像被接收时，计算机系统152的处理器确定由所述信息识别的托盘不再被储存在盒子中并且从盒子被传送到照相机所在的分类器中。
[0131]类似地，当托盘从分类器被传送到指示器时，指示器的阅读器阅读识别托盘的信息并将该信息发送到计算机系统152。在接收识别托盘的信息时，计算机系统152的处理器确定托盘正被储存在所述指示器中。
[0132]与托盘在分类器内、在指示器内的位置以及工具在盒子内的位置等有关的信息可从计算机系统152经由网络154被发送到另一个计算机系统(未示出)。网络154的例子包括局域网，广域网等。网络154和计算机系统152可以是因特网或者内部网的一部分。
[0133]图4A是装备前端模块(EFEM)156的装载端口侧的实施例的等距视图，其是分类器
106(图1A)和分类器117 (图1C)的例子。EFEM 156包括允许空气流入到EFEM 156中的空气进口 158。流入到EFEM 156中的空气被过滤并用来将污染物从托盘移除并且空气吹动以将污染物从EFEM 156中移除。例如，空气使用超低微粒空气(ULPA)过滤器被过滤。在一些实施例中，流入EFEM 156中的空气被过滤以减少例如防止在EFEM 156内的空气的污染等的机会。
[0134]如所示的，EFEM 156的门被向下降低以形成在壁Wl中的开口 01，02，03和04。托盘在盒子Cl到C4中的一个或更多个和EFEM 156之间经由相应的开口 01到04中的一个或更多个被传送。
[0135]在各个实施例中，EFEM 156包括温度和/或湿度控制器。在一些实施例中，EFEM156包括提供气体，例如，氩气，氦气，氮气等，以保护在EFEM 156内的裸片。在各个实施例中，气体可使用再循环方法被使用。
[0136]盒子C4包括两个凹槽159和160并被支撑在架子162上，该架子162是架子
107(图1A)的例子。类似地，盒子Cl到C3包括两个凹槽并被支撑在架子162上。
[0137]在一些实施例中，每个盒子Cl到C4包括任何其他数目的凹槽，例如一个凹槽，三个凹槽等。
[0138]EFEM 156的壁W3基本上垂直于壁Wl和壁W2 (图1A)。
[0139]图4B是EFEM 156的指示器侧的实施例的等距视图。指示器Il到14被支撑在架子164上，该架子164是架子132 (图1A)的例子。
[0140]如所示的，托盘被堆叠在指示器Il的顶部上。例如，托盘被堆叠在指示器模块頂1的顶部上，指示器模块被定位在指示器底座IBl的顶部上。在指示器Il的顶部上的这堆托盘由指示器支架IS11，IS12，IS13和IS14支撑，其在图4B中是不可见的。例如，指示器支架ISll，IS12，IS13和IS14降低了这堆托盘从指示器模块頂I掉落的机会。指示器支架IS11, IS12，IS13和IS14是指示器104的支架。
[0141 ] 在一些实施例中，术语指示器柱和指示器柱在此是可互换地使用的。
[0142]在若干实施例中，指示器可包括任何其他数目的支架。例如，指示器Il包括三个，五个或者六个支架以支撑一堆托盘在指示器模块頂I的顶部上。
[0143]观察窗166位于EFEM 156的壁W4上。壁W4基本上平行于壁W3并且基本上垂直于壁Wl和壁W2 (图1A)。观察窗166提供支撑在架子162上的盒子Cl的视图。
[0144]在一些实施例中，EFEM 156不包括观察窗166。
[0145]图4C是不包括在指示器侧上的架子的EFEM 170的等距视图。如所示的，四个凹槽SI到S4允许托盘在EFEM 170和指示器Il到14(图4B)之间穿过。
[0146]图5A是用于在托盘发动机108和盒子102之间传送托盘的系统174的实施例的等距视图。竖直驱动组件被固定到末端执行器底座118。末端执行器116的顶部滑动器块176被可滑动地附连到末端执行器底座118的边缘。例如，顶部滑动器块176相对于滑动底座188在末端执行器底座118内滑动。滑动底座188的例子包括导轨，轨道，具有用于滑动的凹槽的底座等。滑动底座188位于所述末端执行器底座118内并被附连到该末端执行器底座118。在一些实施例中，顶部滑动器块176可被附连到或者可包括辊以允许顶部滑动器块176在滑动底座188上滑动。
[0147]类似地，末端执行器116的底部滑动器块(在图5A中是不可见)经由底部滑动器块(在图5A中是不可见的)被可滑动地附连到末端执行器底座118的相反边缘。该相反边缘与顶部滑动器块176所在的末端执行器底座118的边缘相反。在一些实施例中，底部滑动器块可被附连到或者可包括辊以允许底部滑动器块在滑动底座上滑动，所述滑动底座位于与滑动底座188所在的一侧相反的末端执行器底座118的一侧上。
[0148]在一些实施例中，顶部滑动器块176和底部滑动器块沿着末端执行器底座118的长度I滑动以在线性方向上滑动。
[0149]末端执行器116的顶部连接器块178被固定在顶部滑动器块176的顶部上，末端执行器116的底部连接器块(在图5A中是不可见的)被附连在底部滑动器块的顶部上。
[0150]顶部驱动板144例如，经由一个或更多个螺钉等，被附连到顶部连接器块178的顶部。类似地，底部驱动板146例如，经由一个或更多个螺钉等，被附连到底部连接器块的顶部。顶部驱动板144位于底部驱动板146的顶部上。
[0151]顶部滑动器块176，顶部连接器块178和顶部驱动板144是线性驱动机构的例子并且在线性方向上滑动。例如，顶部滑动器块176和连接器块178朝向或者远离装载端口侧滑动或者朝向或者远离指示器侧滑动。
[0152]类似地，底部滑动器块，底部连接器块和底部驱动板146是线性驱动机构的例子并且在线性方向上滑动。例如，底部滑动器块和底部连接器块朝向或者远离装载端口侧滑动或者朝向或者远离指示器侧滑动。
[0153]在一些实施例中，替代使用两个块，例如，顶部滑动器块176和连接器块178，来连接滑动底座188到顶部驱动板144，任何其他数目的连接器块被使用。类似地，替代使用两个块，例如底部滑动器块和底部连接器块，来连接另一个滑动底座到底部驱动板146，任何其他数目的连接器块被使用。
[0154]上部夹具组件180被附连到顶部驱动板144，下部夹具组件182被附连到底部驱动板。
[0155]在一些实施例中，上部夹具组件180与上部滑动件120是共面的，下部组件182与下部滑动件122是共面的。
[0156]多个滑动支架SS1，SS2，SS3和SS4被附连在末端执行器底座118的顶部上。与滑动支架SS1，SS2和SS2被附连到其上的末端执行器底座118的一侧相比，滑动支架SS4被定位在末端执行器底座118的相反侧上。滑动支架SSl到SS4便于限制在滑动件120和122上运动的托盘的运动到线性运动以防止托盘从滑动件120和122掉落。
[0157]滑动件120和122被附连到滑动支架SSI, SS2，SS3和SS4。滑动支架SSI, SS2，SS3和SS4提供支撑到在上部滑动件120的臂All和A12之间滑动且在下部滑动件122的臂A21和A22(示出在图5B中)之间滑动的托盘。
[0158]而且，附连在末端执行器底座118的底部处的是末端执行器驱动电机184。竖直驱动柱114由相对于托盘发动机108的底座(未示出)向上和向下地驱动竖直柱114的竖直驱动电机(未示出)驱动。通过竖直驱动柱114的运动，末端执行器116竖直地向上和向下运动。
[0159]当托盘被支撑在下部滑动件122的臂A21和A22之间且托盘要被传送到盒子102中时，下部滑动件122被竖直地定位在盒子102的一对支架的水平处且该对支架没有托盘在支架之间。而且，当托盘被支撑在上部滑动件120的臂All和A12之间且托盘要被传送到盒子102时，上部滑动件120被竖直地定位在盒子102的一对支架的水平处且该对支架没有托盘在该支架之间。
[0160]此外，当托盘要从盒子102接收时，下部滑动件122被竖直地定位在盒子102的一对支架的水平处且该对支架支撑托盘在支架之间。而且，当托盘要从盒子102接收时，上部滑动件120被竖直地定位在盒子102的一对支架的水平处且该对支架支撑所述托盘在该支架之间。
[0161]而且，Θ电机112旋转末端执行器116与竖直驱动柱114以将臂All的边缘Ell和臂A12的边缘E12定位成面对凹槽SOl以及将臂A21的边缘E21和臂A22的边缘E22定位成面对凹槽S01。
[0162]顶部滑动器块176沿着滑动底座188，经由滑动机构，例如，辊，辊球等，在末端执行器底座118内滑动以使顶部驱动板144朝向或者远离凹槽SOl滑动。类似地，底部滑动器块沿着滑动底座在末端执