一种硒蒸汽的制备装置的制造方法

文档序号:8845353阅读:524来源:国知局
一种硒蒸汽的制备装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于砸蒸汽制备技术领域,尤其涉及一种砸蒸汽的制备装置。
【背景技术】
[0002]铜铟镓砸是一种新型的薄膜材料,具有吸收好、厚度薄、抗辐射、弱光发电量大、太阳光谱匹配佳、转化效率高等优势,已被广泛认可并作为未来轻薄光伏材料的不二之选。制备铜铟镓砸吸收层最常用的方法是制备金属预制层再进行后砸化,而高温砸化方法通常有砸蒸汽导入、砸化氢导入以及蒸发砸预制层热处理三种方法。砸化氢因其剧毒的特性在工业界不被普遍使用,另外两种方法都涉及到砸蒸汽的制备,而砸蒸汽在高温下对大多数金属有腐蚀作用,同时由于其优先冷凝的特性,在导入通道中的任何低温区都可导致砸固体的堆积而堵塞,从而其制备较困难,对制备设备要求较高,现有技术中缺乏一种安全有效地砸蒸汽制备装置。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种砸蒸汽的制备装置,旨在解决现有技术中缺乏一种安全有效的砸蒸汽制备装置的问题。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种砸蒸汽的制备装置,其包括底座、设于所述底座上的箱体、设于所述箱体内的砸固体加热装置,所述箱体上设置有一用于抽真空用的排气口及一用于向所述箱体内填充氮气的进气口 ;所述砸固体加热装置包括具有内腔的加热罐、均匀缠绕于所述加热罐外壁上的加热丝,所述砸蒸汽的制备装置还包括与所述加热罐的内腔相连通的砸蒸汽应用模块,所述加热罐上设有一第一控制阀,以控制所述加热罐与所述砸蒸汽应用模块之间的通断状态;所述加热罐上连通有一用于向所述加热罐内填充氮气的进气管,所述加热罐上还设置有一第二控制阀,以控制所述进气管与所述加热罐的通断状
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[0005]进一步地,所述加热罐和所述砸蒸汽应用模块通过通气导管连通。
[0006]进一步地,所述通气导管包括内管和套设于所述内管上的外管,所述内管和所述外管之间夹设有加热丝;所述进气管的结构和所述通气导管的结构相同。
[0007]具体地,所述加热罐包括采用陶瓷制作的内胆和套设于所述内胆上的不锈钢外层O
[0008]进一步地,所述第一控制阀和所述第二控制阀均设于所述加热罐的顶部,且所述第一控制阀和所述第二控制阀的外侧套设有用于加热所述第一控制阀和所述第二控制阀的加热丝,以用于加热所述第一控制阀和所述第二控制阀。
[0009]进一步地,所述箱体滑动连接于所述底座上。
[0010]进一步地,所述底座上设有导轨,所述箱体的底部设置有与所述导轨滑动连接的滑块。
[0011]具体地,所述滑块设置有四个,所述四个滑块两两分设于所述箱体的相对两侧。
[0012]进一步地,所述箱体的一侧壁上具有一箱门,所述箱门上具有一视窗。
[0013]进一步地,所述加热罐内设置有一竖直导管,所述竖直导管与所述第一控制阀连通。
[0014]本实用新型提供的砸蒸汽的制备装置,其通过密封箱体内设置加热罐,加热罐内可将砸固体蒸发成砸蒸汽,并于箱体内填充氮气,从而使得加热罐可被氮气层包围,为砸蒸汽提供较安全的防护措施,同时,通过于加热罐上连接一通气导管将砸蒸汽传导至砸蒸汽应用模块中,由于通气导管内亦夹设有加热丝,从而砸蒸汽在通过通气导管时可避免发生冷凝,从而,不仅使得加热罐可稳固、安全地对砸固体进行加热制成砸蒸汽,且制备的砸蒸汽可稳定地传输导入砸蒸汽应用模块中,从而解决了现有技术中如何安全有效地制备砸蒸汽的问题。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型实施例提供的砸蒸汽的制备装置的立体示意图;
[0016]图2是本实用新型实施例提供的加热罐的立体示意图;
[0017]图3是本实用新型实施例提供的加热罐的爆炸示意图。
【具体实施方式】
[0018]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0019]如图1至图3所示,为本实用新型实施例提供的砸蒸汽的制备装置的示例图,其包括底座1、设于底座I上的箱体2、设于箱体2内的砸固体加热装置3,箱体2上设置有一用于抽真空用的排气口及一用于向箱体2内填充氮气的进气口(图未示出),这样,可将箱体2内抽真空后,向箱体2内填充氮气,从而为箱体2内的砸固体加热装置3提供防护,将砸蒸汽隔离,防止其泄露,避免其与金属接触而腐蚀金属,具体地,砸固体加热装置3包括具有内腔的加热罐31、均匀缠绕于加热罐31外壁上的加热丝4,从而可对加热罐31进行均匀加热,砸蒸汽的制备装置还包括与加热罐31的内腔相连通的砸蒸汽应用模块5,该砸蒸汽应用模块5可为CIGS的快速退火炉或是蒸发镀膜设备,可根据砸蒸汽的应用目的而具体进行选择,加热罐31上设有一第一控制阀311,以控制加热罐31与砸蒸汽应用模块5之间的通断状态;加热罐31上连通有一用于向加热罐31内填充氮气的进气管312,这样,可向加热罐31内填充氮气,从而便于调节加热罐31内的气压,又可保证砸蒸汽的稳定,加热罐31上还设置有一第二控制阀313,以控制进气管312与加热罐31的通断状态,从而便于对氮气的填充进行控制。
[0020]进一步地,加热罐31和砸蒸汽应用模块5通过通气导管314连通,即通过通气导管314让加热罐31内的砸蒸汽进入到砸蒸汽应用模块5中。作为一较佳实施方式,为保证加热罐31和砸蒸汽应用模块5之间的气流发生更好的交换,可于加热罐31内插设一根竖直导管6,该竖直导管6的上端与通气导管314相连通,从而更有利于加热罐底部的气流流向砸蒸汽应用模块5中。
[0021]本实用新型提供的砸蒸汽的制备装置,其通过于一密封箱体2内设置加热罐31,加热罐31内可将砸固体蒸发成砸蒸汽,并于箱体2内填充氮气,从而使得加热罐31可被氮气层包围,为砸蒸汽提供较安全的防护措施,同时,通过于加热罐31上连接一通气导管314将砸蒸汽传导至砸蒸汽应用模块5中,由于通气导管314内亦夹设有加热丝,从而砸蒸汽在通过通气导管314时可避免发生冷凝,从而,不仅使得加热罐可稳固、安全地对砸固体进行加热制成砸蒸汽,且制备的砸蒸汽可稳定地传输导入砸蒸汽应用模块5中,从而解决了现有技术中如何安
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