，喷洒水回收槽48a，由于如上述那样水等从出口洗涤器排水回收槽48b溢流过来，所以，配设排水管78，以便不积存规定量以上的水等。此排水管78是用于将存储在了喷洒水回收槽48a中的水等送往未图示的排水处理装置的配管，其一方端与排水处理装置连接，并且，另一方端被配置在从喷洒水回收槽48a的底面离开的规定的高度。因此，喷洒水回收槽48a的水面位置，不比排水管78的另一方端的位置高。
[0071]另外，在本实施例的废气处理装置11中的除了反应器42以外的其它部分，为了防止被包含在废气E中的或通过分解废气E产生的氢氟酸等腐蚀性成分导致的腐蚀，形成利用氯乙烯树脂、聚乙烯树脂、不饱和聚酯树脂及氟树脂等的耐腐蚀性的内衬、涂层。
[0072]接下来，当使用如以上那样构成的废气处理装置11进行废气E的除害处理时，首先，接通废气处理装置11的运转开关(未图示)，使废气处理用喷燃器10的电热加热器16工作，开始内管14内的加热。
[0073]接着，如果废气处理用喷燃器10的处在火焰热分解区域Y中的外管12内面的温度达到烃类的燃料F的燃烧温度(例如在燃料气体是甲烷的场合，约700°C左右)，则未图示的控制单元工作，向内管14内送给燃料F和助燃性气体S。于是，在内管14内形成回旋焰，该回旋焰从内管14的前端14a向外管12的火焰热分解区域Y喷射。
[0074]在这里，虽然向电热加热器16的供电继续到外管12的处在电热分解区域Z的内面的温度达到1500°C左右的高温，但由于能够接受在内管14形成了的火焰的热能的辅助，所以，与由电热加热器16单体对该区域Z进行加热的场合相比，能够更快而且以少的电力消耗量使该区域Z升温至1500°C左右的高温。
[0075]而且，如果外管12中的电热分解区域Z的内面的温度达到1500°C左右的高温，则排气风扇46工作，使废气E向废气处理装置11的导入开始。于是，废气E依次通过入口洗涤器40、反应器42及出口洗涤器44，废气E中的除害对象成分被除害。
[0076]另外，以外管12中的电热分解区域Z的内面的温度保持1500°C左右的方式对向电热加热器16供给的电力量进行控制。
[0077]根据本实施方式的废气处理装置11，由于如上述那样构成废气处理用喷燃器10，所以，当废气E的热分解时，起到以下的作用。
[0078]S卩，从废气供给管嘴22供给到了外管12内的废气E，在预热区域X中一面沿内管14的外周以螺旋状回旋，一面向外管12的前端12a那一侧前进。此时，由来自内管14的管壁的辐射热预热。
[0079]接着，到达了火焰热分解区域Y的废气E当通过由从内管14喷射了的火焰加热成了约1000°C左右的该区域Y时，SiH4等在比较低的温度下可热分解的成分被热分解。
[0080]而且，到达了电热分解区域Z的废气E当通过获得了火焰的辅助的、由电热加热器16高效率地升温到了约1500°C左右的高温的该区域时，0?4等难热分解性的成分也被热分解。
[0081]另外，上述实施方式可如以下那样变更。
[0082]即，在上述废气处理装置11中，虽然表示了具备入口洗涤器40和出口洗涤器44双方的场合，但根据处理的废气E的种类，也可具备它们的任意一方。
[0083]另外，在图示实施方式中，在废气处理用喷燃器10中虽然以废气供给管嘴22的喷射方向成为与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相同的方向的方式构成，但也可以废气供给管嘴22的喷射方向与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相反的方式构成。这是因为，在作为着火源使用点火喷燃器等现有技术的喷燃器中，在使废气供给管嘴22的喷射方向与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相反的场合，虽然当两者接触时存在产生紊流、火焰失火的危险，但因为在本发明的废气处理用喷燃器10中将电热加热器16作为着火源，所以，没有该失火的危险。而且，因为也可这样使废气供给管嘴22的喷射方向与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相反，所以，存在装置布局的选择的范围扩大的优点。
[0084]并且，在上述实施方式中，虽然表示了分别构成助燃性气体供给管嘴18和燃料供给管嘴20的场合，但也可一体地构成它们，预混合助燃性气体S和燃料F后向内管14内供给。
[0085]附图标记说明:
[0086]10…废气处理用喷燃器
[0087]1L...废气处理装置
[0088]12…外管
[0089]12a...(外管的)前端
[0090]12b…(外管的)后端
[0091]14…内管
[0092]14a…(内管的)前端
[0093]14b…(内管的)后端
[0094]16…电热加热器
[0095]16a...(电热加热器)的前端
[0096]18…助燃性气体供给管嘴
[0097]20…燃料供给管嘴
[0098]22…废气供给管嘴
[0099]24…挡板
[0100]40…入口洗涤器
[0101]42…反应器
[0102]44…出口洗涤器
[0103]E…废气
[0104]S…助燃性气体
[0105]F…燃料
【主权项】
1.一种废气处理用喷燃器，其特征在于:具有外管(12)、内管(14)、杆状的电热加热器(16)、助燃性气体供给管嘴(18)、燃料供给管嘴(20)和废气供给管嘴(22); 该外管(12)的前端(12a)开放； 该内管(14)具有比上述外管(12)的内径小的外径，前端(14a)开放，该内管(14)的前端部从上述外管(12)的后端(12b)插入到上述外管(12)的内部； 该电热加热器(16)从上述内管(14)的后端(14b)插入到上述内管(14)的内部； 该助燃性气体供给管嘴(18)与从上述外管(12)的后端(12b)突出的上述内管(14)的侧面连接，向上述内管(14)的内部供给助燃性气体(S); 该燃料供给管嘴(20)与从上述外管(12)的后端(12b)突出的上述内管(14)的侧面连接，向上述内管(14)的内部供给燃料(F); 该废气供给管嘴(22)与上述外管(12)的后端(12b)那一侧的侧面连接，向上述外管(12)的内部供给处理对象的废气(E); 上述内管(14)的前端(14a)被配置在从上述外管(12)的前端(12a)离开的上述外管(12)内的深处，并且， 上述电热加热器(16)的前端(16a)延伸设置至上述外管(12)的前端(12a)附近，被配置在上述外管(12)的前端(12a)与上述内管(14)的前端(14a)之间。2.根据权利要求1所述的废气处理用喷燃器，其特征在于: 上述内管(14)及上述外管(12)形成为圆筒状； 使上述助燃性气体供给管嘴(18)及上述燃料供给管嘴(20)的喷射方向与上述内管(14)内周面的切线方向大致一致，而且，使上述废气供给管嘴(22)的喷射方向与上述外管(12)内周面的切线方向大致一致；并且， 使上述助燃性气体供给管嘴(18)、上述燃料供给管嘴(20)及上述废气供给管嘴(22)的喷射方向全部为相同方向。3.根据权利要求1或2所述的废气处理用喷燃器，其特征在于: 在上述外管(12)的前端(12a)那一侧的内周面设有以使该内周面的内径缩径的方式突出的挡板(24)。4.一种废气处理装置，其特征在于: 具备配设了权利要求1至3中任一项所述的废气处理用喷燃器的反应器(42)，和 对向上述废气处理用喷燃器导入的处理对象的废气(E)进行液洗的湿式的入口洗涤器(40)与对在上述反应器(42)中进行了热分解的处理后的废气(E)进行液洗的湿式的出口洗涤器(44)中的至少任意一方。
【专利摘要】本发明为废气处理用喷燃器及使用了该喷燃器的废气处理装置，具备前端(12a)开放的外管(12)、前端(12a)开放并且其前端部被从外管(12)的后端(12b)插入到了外管(12)的内部的内管(14)和从内管(14)的后端(14b)插入到了内管(14)的内部的杆状的电热加热器(16)。从上述外管(12)的后端(12b)突出的上述内管(14)的侧面与助燃性气体供给管嘴(18)和燃料供给管嘴(20)连接。上述外管(12)的后端(12b)那一侧的侧面与废气供给管嘴(22)连接。上述内管(14)的前端(14a)被配置在从上述外管(12)的前端(12a)离开的上述外管(12)内的深处。而且，上述电热加热器(16)的前端(16a)延伸设置到上述外管(12)的前端(12a)附近，配置在上述外管(12)的前端(12a)与上述内管(14)的前端(14a)之间。
【IPC分类】F01N3/025, F23D14/24, B01D53/46, B01D53/68, B01D53/70, F23G7/06
【公开号】CN105143769
【申请号】CN201480000791
【发明人】今村启志, 塚田勉, 葛冈弘基
【申请人】康肯科技股份有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2014年2月12日
【公告号】WO2015121890A1