专利名称：单晶坩埚专用烘箱的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶坩埚辅助生产设备，尤其涉及一种单晶坩埚专用烘箱。
背景技术：
目前，在单晶石英坩埚的生产过程中，坩埚喷涂后的烘烤固化是个重要的环节，单晶石英坩埚的烘烤固化的基本要求是洁净环境，避免二次污染，特别是避免金属离子的污染，同时对加热要求整体均勻加热，温度达到280°C左右，传统的普通加热烘箱大多采用直接加热，存在容易造成二次污染以及整体加热不均勻的缺点。
实用新型内容针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种单晶坩埚专用烘箱，其具有加热均勻以及避免二次污染的特点。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种单晶坩埚专用烘箱，其包括箱体和铰接于箱体上的密封门，其中，所述箱体的底部设置有耐高温支撑架，且所述箱体除顶部内壁外的其他内壁上均勻设置有若干个红外线加热单元，所述密封门的内壁上也设置有若干个红外线加热单元，所述红外线加热单元和电控箱电性连接。特别地，所述红外线加热单元设置为M个。特别地，所述红外线加热单元包括陶瓷红外加热器，配合陶瓷红外加热器于箱体内壁上设置有反热不锈钢片。特别地，所述密封门与箱体的相接处设置有耐高温密封圈。本实用新型的有益效果为，所述单晶坩埚专用烘箱于箱体内设置红外线加热单元，利用红外线进行加热，同时采用围绕坩埚结构的立体加热，与传统的直接加热相比，有效地避免了烘烤过程中的二次污染，而且加热均勻，烘烤后坩埚的质量可靠。
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。图1为本实用新型单晶坩埚专用烘箱的结构示意图。图中1、箱体；2、密封门；3、耐高温支撑架；4、坩埚；5、红外线加热单元；50、陶瓷红外加热器；51、反热不锈钢片；6、铰链；7、密封圈。
具体实施方式
请参照图1所示，图1为本实用新型单晶坩埚专用烘箱的结构示意图。于本实施例中，所述单晶坩埚专用烘箱包括箱体1，所述箱体1上通过铰链6铰接有密封门2，所述密封门2的内壁上与箱体1的相接处设置有耐高温密封圈7，且所述箱体1的底部设置有用于放置坩埚4的耐高温支撑架3，所述耐高温支撑架3由耐高温四氟材料制成，所述箱体1除顶部内壁外的其他内壁上均勻设置有18个红外线加热单元5，所述密封门2的内壁上也设置有6个红外线加热单元5，所述红外线加热单元5包括陶瓷红外加热器50，配合陶瓷红外加热器50于箱体1内壁上设置有反热不锈钢片51，所述陶瓷红外加热器50与电控箱电性连接。所述单晶坩埚专用烘箱在工作时，先将坩埚放置于耐高温支撑架3上，然后开启加热电源，陶瓷红外加热器50开始加热，控制温度达到280°C持续5分钟后即可。上述单晶坩埚专用烘箱于箱体1内设置红外线加热单元5，利用红外线进行加热， 采用非直接接触式加热，有效地避免了烘烤过程中的二次污染；同时采用围绕坩埚4结构的立体加热，使加热均勻，烘烤后坩埚的质量可靠。
权利要求1.一种单晶坩埚专用烘箱，其包括箱体和铰接于箱体上的密封门，其特征在于所述箱体的底部设置有耐高温支撑架，且所述箱体除顶部外的其他内壁上均勻设置有若干个红外线加热单元，所述密封门的内壁上也设置有若干个红外线加热单元，所述红外线加热单元和电控箱电性连接。
2.根据权利要求1所述的单晶坩埚专用烘箱；其特征在于所述红外线加热单元设置为对个。
3.根据权利要求1或2任一项所述的单晶坩埚专用烘箱；其特征在于所述红外线加热单元包括陶瓷红外加热器，配合陶瓷红外加热器于箱体内壁上设置有反热不锈钢片。
4.根据权利要求1所述的单晶坩埚专用烘箱；其特征在于所述密封门与箱体的相接处设置有耐高温密封圈。
专利摘要本实用新型公开一种单晶坩埚专用烘箱，其包括箱体和铰接于箱体上的密封门，所述箱体的底部设置有耐高温支撑架，且所述箱体除顶部外的其他内壁上均匀设置有若干个红外线加热单元，所述密封门的内壁上也设置有若干个红外线加热单元，所述红外线加热单元和电控箱电性连接。上述所述单晶坩埚专用烘箱于箱体内设置红外线加热单元，利用红外线进行加热，同时采用围绕坩埚结构的立体加热，不仅有效地避免了烘烤过程中的二次污染，而且加热均匀，烘烤后坩埚的质量可靠。
文档编号F26B25/06GK202188740SQ201120280239
公开日2012年4月11日 申请日期2011年8月3日 优先权日2011年8月3日
发明者程思义 申请人:无锡龙奕科技有限公司