专利名称：高温烧结炉的尾气收集设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高温烧结炉，特别涉及一种高温烧结炉的尾气收集装置。
背景技术：
授权公告号为CN 1072458C的中国专利文件CVI/CVD工艺尾气处理方法公开了用于进气为H2, Ar和金属有机硅烷CVI/CVD工艺尾气的处理方法。该方法主要采用三级复合处理工艺，按前置过滤、机械泵抽排、水过滤对尾气进行处理，使尾气的排放达到环保标准。前置过滤主要采用油过滤器及固体过滤器去除沉积产物固体粒子、分解产物焦油，部分去除HCl气体和去除残余焦油；水环泵、循环NaOH溶液和气水分离器组成的水过滤器去除HCl气体。在该专利文件中，采用机械泵进行抽真空，通过前置尾气处理装置，只有未完全去除的HCl进入水环泵中，随着水环泵排气进入到气水分离器中，分离的H2和Ar通过排气管 道排入大气，而HCl气体与NaOH溶液充分反应生成的盐水溶液进入水箱，当NaOH溶液的酸碱度为中性时，证明NaOH已消耗完毕，应及时更换NaOH水溶液。由于水环泵在工作中不断有水随着水环泵的排气被带出水环泵，因此需要不断给水环泵补充工作介质一水，而从上述工作过程可以看出，该专利文件的技术方案未考虑对水环泵的补给，因此该专利文件中对水环泵补充工作介质只能依靠不断从外界抽入水进行补给，从而会造成资源的浪费。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种高温烧结炉的尾气收集设备，可以实现水的循环利用，节约资源。为解决上述目的，本实用新型采用如下技术方案一种高温烧结炉的尾气收集设备，包括液环泵及与液环泵通过管道相连的后置过滤装置，所述后置过滤装置由两个以上相连通的液体容器串联组成，在相邻的液体容器的接口处设有滤网，所述后置过滤装置的第一级容器通过管道直接与液环泵排气口相连，沿液体流动方向的最后一级容器通过管道与抽水泵连接，所述抽水泵另一端与所述液环泵的供液口通过管道连接。所述后置过滤装置为被滤网分隔成两部分的容器，所述第一级为与液环泵排气口通过管道相连的过滤池，所述最后一级为通过抽水泵与液环泵供液口相连的净化池。本实用新型的高温烧结炉的尾气收集设备，将高温烧结炉炉腔中产生的挥发物通过前置过滤装置的过滤之后，在真空机组的抽排下，部分未过滤的挥发物，进入液环泵，挥发物悬浮于液环泵的工作介质一水中，液环泵下一级设置有与所述液环泵通过管道相连的过滤装置，该过滤装置为由两个以上相连通的液体容器串联组成，在相邻容器接口处设有滤网，所述第一级容器与液环泵排气口通过管道连接，在液环泵工作时，随着液环泵排气而从液环泵排气口带出的水通过管道进入该处，通过一层层的过滤，将悬浮于水中的挥发物过滤掉，最后排入所述最后一级容器中，此时该容器中的水已经不含有杂质，通过与之连接的抽水泵，将没有杂质的水抽入通过液环泵的供液口供给液环泵作为工作介质循环使用，从而实现资源的循环利用，节约水资源。
图I为本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式
如图I所示，一种高温烧结炉的尾气收集设备的实施例，包括前置过滤装置，真空机组和后置过滤装置。本实施例的前置过滤装置为用于收集炉腔I中产生的高沸点挥发物的脱蜡罐3。炉腔I的烟气管道通过真空阀2接入脱蜡罐3入口。真空机组由罗茨泵4、仪表阀5、大气喷射阀6和液环泵7组成。罗茨泵4进气口与脱蜡罐3出口通过管道连接，罗茨泵4的排气口、仪表阀5、大气喷射阀6以及液环泵7的 进气口依次通过管道串联，液环泵7的排气口通过管道通入车间外的后置过滤装置一沉降池8中。采用罗茨泵串联大气喷射阀及液环泵组成真空机组，提高真空机组的极限真空度，更彻底的抽排炉腔I中的挥发物。所述后置过滤装置为通过滤网9分隔成两部分的沉降池8。所述第一级为过滤池81，所述最后一级为沉降池8的另一部分净化池82，液环泵7的排气口通过管道直接通入过滤池81中，通过滤网9的过滤，过滤后的水流入净化池82中，因此净化池82中的水不含有炉腔I中抽排出的挥发物，可以继续供液环泵7作为工作介质循环使用。本实施例中采用抽水泵11不断将净化池82中的水供给液环泵7作为工作介质循环使用。抽水泵11 一端设置有阀门10，并通过管道接入净化池82中，另一端通过管道与液环泵7的供液口相连接。工作时，打开真空阀2，启动液环泵7对炉腔I抽真空，炉腔I中的挥发物由罗茨泵4 (气体推动罗茨泵转子自行转动)经过仪表阀5及大气喷射阀6进入液环泵7，当大气喷射阀6的吸入压力达到罗茨泵4的允许排气压力时，罗茨泵4开始启动，真空机组启动对炉腔I抽真空。随着液环泵7的抽排，炉腔I内的挥发物通过管道进入脱蜡罐3，脱蜡罐3收集高沸点挥发物之后，残余挥发物随着液环泵7的抽气，进入罗茨泵4的进气口，再从罗茨泵4的排气口排出，通过仪表阀5的导向，经过大气喷射阀6流向液环泵7，挥发物悬浮到水中，随着液环泵7的排气，部分水及悬浮于水中的挥发物随之被带出液环泵7，通过管道排放到过滤池81中，通过滤网9的过滤，挥发物被留在过滤池81中，而过滤后的水直接流入净化池82中。净化后的水不含有其他杂质，打开阀门10，通过与净化池82连接的抽水泵11从液环泵供液口将其抽入到液环泵7中，供给液环泵7作为工作介质循环使用。在本实用新型的其他实施例中，上述实施例中所述的沉降池还可以为由3个或3个以上的相连通的其他单独的容器串联组成，如多个水箱串联组成，并在各相邻容器的接口处设有滤网。
权利要求1.一种高温烧结炉的尾气收集设备，包括液环泵及与液环泵通过管道相连的后置过滤装置，其特征在于所述后置过滤装置由两个以上相连通的液体容器串联组成，在相邻的液体容器接口处设有滤网，所述后置过滤装置的第一级容器通过管道直接与液环泵排气口相连，沿液体流动方向的最后一级容器通过管道与抽水泵连接，所述抽水泵另一端与所述液环泵的供液口通过管道连接。
2.根据权利要求I所述的高温烧结炉的尾气收集设备，其特征在于所述后置过滤装置为被滤网分隔成两部分的容器，所述第一级为与液环泵排气口通过管道相连的过滤池，所述最后一级为通过抽水泵与液环泵供液口相连的净化池。
专利摘要本实用新型提供一种高温烧结炉的尾气收集设备，包括液环泵及与液环泵通过管道相连的后置过滤装置，所述后置过滤装置由两个以上相连通的液体容器串联组成，在相邻的液体容器接口处设有滤网，所述后置过滤装置的第一级容器通过管道直接与液环泵排气口相连，沿液体流动方向的最后一级容器通过管道与抽水泵连接，所述抽水泵另一端与所述液环泵的供液口通过管道连接。高温烧结炉炉腔中的挥发物进入液环泵后悬浮于水中，随着液环泵的排气与部分水一起被带出，进入所述第一级容器，经过滤网过滤、沉淀被过滤出来，净化后的水中没有杂质，通过抽水泵可以继续供给液环泵作为工作介质使用，节约水资源。
文档编号B01D36/02GK202682924SQ20122038827
公开日2013年1月23日 申请日期2012年8月7日 优先权日2012年8月7日
发明者马红彬, 陈志伟, 李乐乐, 郭赛 申请人:河南雅利安特种陶瓷有限公司