石英坩埚喷涂箱的制作方法

文档序号:12208710阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石英坩埚喷涂箱,包括箱体(1)、设于箱体(1)内壁的喷涂枪(2),其特征在于:所述箱体(1)包括底板(11)、支架(12)和顶板(13),底板(11)上设有用于放置石英坩埚的转盘(14),顶板(13)上对应转盘(14)的位置设有抽气机构(3),抽气机构(3)包括外壳(31)、设于外壳(31)内的叶轮(32)、驱动叶轮(32)旋转的驱动电机(33)和设于箱体(1)外的控制件(34),抽气机构(3)上还连通有贯穿顶板(13)连通至外界的排气管(4)。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述叶轮(32)上设有轮罩(321),叶轮(32)的数量至少为2个。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述排气管(4)由塑料材料制成,呈波纹状,其直径大于叶轮(32)直径。

4.根据权利要求3所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述排气管(4)与抽气机构(3)之间设有不锈钢材料制成的联结套(5),联结套(5)呈圆台形状。

5.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述喷涂枪(2)滑移连接在喷枪架(21)上,并通过驱动气缸驱动其上下往复滑动。

6.根据权利要求5所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述喷涂枪(2)上设有用于喷涂石英坩埚内表面的第一喷头(22)和用于喷涂石英坩埚外表面的第二喷头(23)。

7.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述箱体(1)一侧转动连接有箱门(6),箱门(6)上设有用于连接箱门(6)与箱体(1)的搭扣。

8.根据权利要求7所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述排气管(4)远离箱体(1)一端设有回收机构。

9.根据权利要求7所述的石英坩埚喷涂箱,其特征在于:所述箱门(6)上设有玻璃视窗(61)。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1