石英坩埚喷涂箱的制作方法

文档序号:12208710阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂箱,旨在提供一种具有清理气态结晶水速度快、加快工作进度的优点的石英坩埚喷涂箱,其技术方案要点是,石英坩埚喷涂箱的箱体包括底板、支架和顶板,底板上设有用于放置石英坩埚的转盘,顶板上对应转盘的位置设有抽气机构,抽气机构包括外壳、设于外壳内的叶轮、驱动叶轮旋转的驱动电机和设于箱体外的控制件,抽气机构上还连通有贯穿顶板连通至外界的排气管,这种石英坩埚喷涂箱可以将箱体内的空气连同气态结晶水一起吸出,从而在箱体工作的同时对箱体内弥漫的结晶水进行收集和处理,从而避免对操作人员的身体健康造成损伤,并且减少了结晶水的处理时间,大大加快了操作人员的工作进度。

技术研发人员:徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军
受保护的技术使用者:江阴龙源石英制品有限公司
文档号码:201620881893
技术研发日:2016.08.12
技术公布日:2017.02.22

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