1.六氟化硫气体过滤回收一体化装置,包括真空系统、压缩系统、净化系统、储存系统及冷凝系统,所述真空系统包括无油真空泵,所述净化系统包括除油过滤器、再生干燥过滤器以及固体颗粒过滤器,所述储存系统包括储存罐,其特征在于:所述压缩系统包括六氟化硫高压压缩机,所述高压压缩机外接净化系统,所述净化系统连接冷凝系统中的冷凝器。
2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体过滤回收一体化装置,其特征在于:所述冷凝器和储存罐之间设有电磁阀,所述电磁阀出口端设有自封接头。
3.根据权利要求1所述的六氟化硫气体过滤回收一体化装置,其特征在于:所述高压压缩机出口处安装有电接点压力表。