技术总结
一种气液混合系统，包括溶解气体膜、气体溶解腔体、第一液体管、第二液体管、第三液体管、侦测器以及液体流量控制阀；气体溶解腔体具有气体入口、气体出口、液体入口与液体出口；溶解气体膜在气体溶解腔体内隔出气体空间与液体空间；第一液体管连通液体入口以导入液体至液体空间；第二液体管连通液体出口；第三液体管连通第二液体管，第三液体管导入液体至第二液体管；侦测器设于第二液体管以侦测液体中的气体分子浓度；液体流量控制阀位于第三液体管，且通信连接于侦测器，液体流量控制阀根据气体分子浓度控制第三液体管内的液体流量。本实用新型的气液混合系统，解决了制作过程控制上的不便以及影响电子元件的生产效率的问题。
技术研发人员：朱校兴
受保护的技术使用者：晟登系科有限公司
文档号码：201720067378
技术研发日：2017.01.19
技术公布日：2017.09.22