用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明主要涉及减压扩散工艺中的尾气处理技术，尤其涉及一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置。
【背景技术】
[0002]通过扩散炉制造PN结仍然是太阳电池生产过程中应用最广、最基本、最关键的工艺，减压扩散炉是实现减压扩散工艺的必备工艺设备。减压扩散工艺中的腐蚀性尾气的成分主要有氯气、偏磷酸蒸汽等。现有的减压扩散工艺中对其尾气的处理方式为在石英反应管底部设置尾气导出管，该尾气导出管经尾气冷凝装置、尾气中和瓶连接用于向外抽取尾气的真空栗。
[0003]现有技术方案中尾气处理装置没有考虑到扩散是高温工艺，尾气管在炉管内温度很高(扩散工艺温度1100°C)，由于尾气管与冷凝瓶连接接触，加上真空发生器抽速较快，仅通过一个螺旋冷凝瓶方式不足以快速降低尾气温度，使偏磷酸完全液化，即不能达到偏磷酸最大化冷凝回收目的。另外，尾气中和瓶不便更换活性剂，没有考虑设备保养维护便捷性。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单可靠、回收过滤效果好的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案:
一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，包括用于与减压扩散系统连接的冷凝瓶、设置在末端的排废管以及连接在冷凝瓶与排废管之间的真空栗，所述冷凝瓶与真空栗之间连接有至少一个气体过滤罐。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进:
所述气体过滤罐包括罐体、顶盖、进气管和出气管，所述顶盖盖设于罐体顶部，所述进气管和出气管分设于罐体的两侧部，首端的气体过滤罐的进气管与冷凝瓶连接，末端的气体过滤罐的出气管与真空栗连接，相邻两气体过滤罐的进气管与出气管连接。
[0007]所述罐体两侧部分别开设有侧部螺纹孔，所述进气管和出气管分别与两个侧部螺纹孔螺纹连接。
[0008]所述顶盖上开设有顶部螺纹孔，所述顶部螺纹孔内螺纹连接有顶部堵塞，所述罐体底部开设有底部螺纹孔，所述底部螺纹孔内螺纹连接有底部堵塞。
[0009]顶盖与罐体之间通过紧固螺栓连接。
[0010]所述气体过滤罐设有两个，其中位于首端的气体过滤罐内设有活性氧化铝填充腔，位于末端的气体过滤罐内设有活性炭填充腔。
[0011]所述真空栗为隔膜真空栗，隔膜真空栗与排废管之间连接有波纹管。
[0012]与现有技术相比，本发明的优点在于: 本发明的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，工艺气体在减压扩散系统中反应后输出尾气，尾气首先通过冷凝瓶，冷凝瓶螺旋管围绕杯体而成，杯中注满液体水，水冷螺旋管置于杯体上方，管中持续通过循环水用于液体水冷却，并用风机吹风，冷凝瓶可对尾气中的偏磷酸进行物理回收；而各气体过滤罐可对冷凝瓶出来的气体进行吸附过滤；过滤后的尾气再由排废管排出；该过程中，真空栗为动力源，保障减压扩散系统中反应气体的压力基本恒定。本发明冷凝瓶采用风冷和水冷相结合的冷凝方式对偏磷酸进行回收，再经过气体过滤罐吸附净化工艺，使得减压扩散系统中的反应气体能达到偏磷酸最大化冷凝回收的目的，并且，其结构简单、可靠。
【附图说明】
[0013]图1是本发明用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置的结构示意图。
[0014]图2是本发明用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置中气体过滤罐的主剖视结构示意图。
[0015]图3是本发明用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置中气体过滤罐的俯视结构示意图。
[0016]图中各标号表不:
1、冷凝瓶；2、排废管；3、真空栗；4、气体过滤罐；41、罐体；411、侧部螺纹孔；412、底部螺纹孔；42、顶盖；421、顶部螺纹孔；43、进气管；44、出气管；45、顶部堵塞；46、底部堵塞；47、紧固螺栓；48、活性氧化铝填充腔；49、活性炭填充腔；5、波纹管。
【具体实施方式】
[0017]以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
[0018]图1至图3示出了本发明用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置的一种实施例，包括用于与减压扩散系统连接的冷凝瓶1、设置在末端的排废管2以及连接在冷凝瓶1与排废管2之间的真空栗3，冷凝瓶1与真空栗3之间连接有至少一个气体过滤罐4。工艺气体在减压扩散系统中反应后输出尾气，尾气首先通过冷凝瓶1，冷凝瓶1螺旋管围绕杯体而成，杯中注满液体水，水冷螺旋管置于杯体上方，管中持续通过循环水用于液体水冷却，并用风机吹风，冷凝瓶1可对尾气中的偏磷酸进行物理回收；而各气体过滤罐4可对冷凝瓶1出来的气体进行吸附过滤；过滤后的尾气再由排废管2排出；该过程中，真空栗3为动力源，保障减压扩散系统中反应气体的压力基本恒定。本发明冷凝瓶1采用风冷和水冷相结合的冷凝方式对偏磷酸进行回收，再经过气体过滤罐4吸附净化工艺，使得减压扩散系统中的反应气体能达到偏磷酸最大化冷凝回收的目的，并且，其结构简单、可靠。
[0019]本实施例中，气体过滤罐4包括罐体41、顶盖42、进气管43和出气管44，顶盖42盖设于罐体41顶部，进气管43和出气管44分设于罐体41的两侧部，首端的气体过滤罐4的进气管43与冷凝瓶1连接，末端的气体过滤罐4的出气管44与真空栗3连接，相邻两气体过滤罐4的进气管43与出气管44连接。该结构中，经过冷凝瓶1对尾气中的偏磷酸进行物理回收后，气体从进气管43进入罐体41进行吸附过滤，再从末端的气体过滤罐4的出气管44进入真空栗3，最终从排废管2排出；顶盖42与罐体41顶部间采用密封结构，防止气体漏出，其结构简单实用。
[0020]本实施例中，罐体41两侧部分别开设有侧部螺纹孔411，进气管43和出气管44分别与两个侧部螺纹孔411螺纹连接。该结构中，侧部螺纹孔411的设置一方面便于进气管43和出气管44的拆装，另一方面又可保证密封效果。
[0021 ] 本实施例中，顶盖42上开设有顶部螺纹孔421，顶部螺纹孔421内螺纹连接有顶部堵塞45，罐体41底部开设有底部螺纹孔412，底部螺纹孔412内螺纹连接有底部堵塞46。该结构中，顶部螺纹孔421和底部螺纹孔412的设置主要用于罐体41内吸附材料的更换，不需要拆除整个罐体41，大大提高了吸附材料更换的方便性；而顶部堵塞45和底部堵塞46又可对顶部螺纹孔421和底部螺纹孔412进行封堵和密封，其结构简单、设计巧妙。
[0022]本实施例中，顶盖42与罐体41之间通过紧固螺栓47连接。这样设置，使得顶盖42与罐体41之间通过紧固螺栓47形成可拆卸连接，便于以对罐体41的清洗。
[0023]本实施例中，气体过滤罐4设有两个，其中位于首端的气体过滤罐4内设有活性氧化铝填充腔48，位于末端的气体过滤罐4内设有活性炭填充腔49。该结构中，在首端的气体过滤罐4内填设活性氧化铝，在末端的气体过滤罐4内填设活性炭，经过活性氧化铝和活性炭两级的吸附净化工艺可大大提高了对尾气的过滤效果。
[0024]本实施例中，真空栗3为隔膜真空栗，隔膜真空栗与排废管2之间连接有波纹管5。该结构中，隔膜真空栗内的隔膜具备一定的防损功能，可保护栗体不受损；波纹管5可保证隔膜真空栗与排废管2之间连接方便性。
[0025]虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。
【主权项】
1.一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:包括用于与减压扩散系统连接的冷凝瓶(1)、设置在末端的排废管(2)以及连接在冷凝瓶(1)与排废管(2)之间的真空栗(3)，所述冷凝瓶(1)与真空栗(3)之间连接有至少一个气体过滤罐(4)。2.根据权利要求1所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:所述气体过滤罐(4)包括罐体(41)、顶盖(42)、进气管(43)和出气管(44)，所述顶盖(42)盖设于罐体(41)顶部，所述进气管(43 )和出气管(44)分设于罐体(41)的两侧部，首端的气体过滤罐(4)的进气管(43)与冷凝瓶(1)连接，末端的气体过滤罐(4)的出气管(44)与真空栗(3)连接，相邻两气体过滤罐(4)的进气管(43)与出气管(44)连接。3.根据权利要求2所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:所述罐体(41)两侧部分别开设有侧部螺纹孔(411)，所述进气管(43)和出气管(44)分别与两个侧部螺纹孔(411)螺纹连接。4.根据权利要求3所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:所述顶盖(42)上开设有顶部螺纹孔(421)，所述顶部螺纹孔(421)内螺纹连接有顶部堵塞(45)，所述罐体(41)底部开设有底部螺纹孔(412)，所述底部螺纹孔(412)内螺纹连接有底部堵塞(46)。5.根据权利要求4所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:顶盖(42)与罐体(41)之间通过紧固螺栓(47)连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:所述气体过滤罐(4)设有两个，其中位于首端的气体过滤罐(4)内设有活性氧化铝填充腔(48 )，位于末端的气体过滤罐(4 )内设有活性炭填充腔(49 )。7.根据权利要求1至5中任一项所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:所述真空栗(3)为隔膜真空栗，隔膜真空栗与排废管(2)之间连接有波纹管(5)。8.根据权利要求6所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于:所述真空栗(3)为隔膜真空栗，隔膜真空栗与排废管(2)之间连接有波纹管(5)。
【专利摘要】本发明公开了一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，包括用于与减压扩散系统连接的冷凝瓶、设置在末端的排废管以及连接在冷凝瓶与排废管之间的真空泵，冷凝瓶与真空泵之间连接有至少一个气体过滤罐。该装置具有结构简单可靠、回收过滤效果好的优点。
【IPC分类】C01B25/16, B01D5/00, B01D53/04
【公开号】CN105289033
【申请号】CN201510686888
【发明人】李明, 吴德轶, 成秋云, 谢振勇
【申请人】湖南红太阳光电科技有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年10月22日