用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种用于分离回收多晶硅尾气的 活性炭吸附再生系统。
【背景技术】
[0002] 改良西门子法生产过程中产生的大量尾气，主要成分为氢气、氯硅烷、氯化氢，回 收利用效益很高，尾气回收就是将尾气中的氢气、氯硅烷、氯化氢进行分离回收。尾气中的 吸附柱作用为将氢气净化回收，吸附柱采用活性炭进行吸附，吸附结束再生需要用氢气反 吹以达到再次吸附净化的功能，目前吸附柱的再生主要使用高温低压再加氢气吹扫的方式 进行，随着吸附次数的累积增加，吸附柱中活性炭会出现再生效果变差，再次吸附时吸附温 度高、从吸附距离温升的时间短等缺点。
[0003] 申请号为201210496431. 2,名称为"活性炭再生方法"的发明专利中公开了一种活 性炭再生方法，包括以下步骤：将活性炭与再生溶剂混合；对上述混合体系进行超声处理； 超声后进行固液分离，再生溶剂回收利用；分离得到的活性炭进行水洗，水洗后抽滤得到活 性炭；将上述活性炭自然晾干即完成再生。上述方案存在的缺点：⑴该技术需要与再生溶 剂混合后进行超声处理，与再生溶剂分离后需要水洗，而在实际的多晶硅生产中，活性炭的 使用规模较大，无法及时的与再生溶剂混合，并且多晶硅的生产物料中不能与水接触，因此 此方案不适合用于多晶硅生产中尾气回收活性炭的再生。
[0004] 申请号03151168. 6,名称为"活性炭再生新工艺"的专利中公开一种再生活性炭 生产方法，其步骤为将盛有再生活性炭的圆筒放置在高温的烟气流内加热，在活性炭内放 置的热电偶温度到达850-900度后通过设置在圆筒底部的水管向圆桶内送入水蒸气进行 活性炭的再生。上述方案存在的缺点：（1)系统采用圆筒盛装活性炭，所能使用的活性炭量 少，达不到多晶硅生产工艺中所需净化的气量。（2)该工艺需要将装有活性炭的圆筒放置在 高温烟气流内加热，而多晶硅生产中没有如此高温的烟气流。（3)再生过程中通过设置在 圆筒底部的水管向圆桶内送入水蒸气进行活性炭的再生，多晶硅生产中应避免有水分的存 在。
[0005] 由此，用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统有待改进。 【实用新型内容】
[0006] 本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。本实用新型 基于物料在气相吸附中高压状态和低压状态平衡吸附量的差异达到分离目的，在高压下达 到吸附饱和的活性炭在低压状态时吸附质便发生脱附，活性炭经过加热、泄压、吹扫、吸附 四个步骤获得再生，从而提出一种用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统。利用 根据本新型所提供的用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统，可以提升吸附柱中 活性炭再生效果，降低吸附柱再次吸附时的温度，延长吸附柱再次吸附时温度上升的时间。
[0007] 根据本实用新型的第一方面，提出了一种用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附 再生系统。根据本实用新型实施例的用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统包 括：第一活性炭吸附柱、第二活性炭吸附柱、第三活性炭吸附柱，所述第一活性炭吸附柱、第 二活性炭吸附柱、第三活性炭吸附柱分别独立地具有多晶硅尾气入口、再生气出口、冷却介 质入口、冷却介质出口、加热介质入口、加热介质出口、氢气出口和氢气入口；多晶硅尾气供 给装置，所述多晶硅尾气供给装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭 吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的多晶硅尾气入口相连；再生气接受装置，所述再生气接受 装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附 柱的再生气出口相连；冷却介质供给装置，所述冷却介质供给装置分别独立地与所述第一 活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷却介质入口相连；冷却 介质接受装置，所述冷却介质接受装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活 性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷却介质出口相连；加热介质供给装置，所述加热介 质供给装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性 炭吸附柱的加热介质入口相连；加热介质接受装置，所述加热介质接受装置分别独立地与 所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加热介质出口 相连；氢气接受装置，所述氢气接受装置分别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活 性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氢气出口相连；氢气供给装置，所述氢气供给装置分 别独立地与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氢 气入口相连。利用根据本新型所提供的用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统， 可以提升吸附柱中活性炭再生效果，降低吸附柱再次吸附时的温度，延长吸附柱再次吸附 时温度上升的时间。
[0008] 根据本实用新型的实施例，所述再生气接受装置包括氯化氢接受装置和/或氯硅 烧接受装置。
[0009] 根据本实用新型的实施例，所述加热介质供给装置包括水供给装置和/或导热油 供给装置。
[0010] 根据本实用新型的实施例，所述用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统 进一步包括氢气电解装置，所述氢气电解装置分别与所述氢气接受装置和氢气供给装置 相连。
[0011] 根据本实用新型的实施例，所述多晶硅尾气供给装置与所述第一活性炭吸附柱、 所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的多晶硅尾气入口相连的管路上依次分别 设置有第一多晶硅尾气入口阀门、第二多晶硅尾气入口阀门和第三多晶硅尾气入口阀门。
[0012] 根据本实用新型的实施例，所述再生气接受装置与所述第一活性炭吸附柱、所述 第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的再生气出口相连的管路上依次分别设置有第 一再生气出口阀门、第二再生气出口阀门和第三再生气出口阀门。
[0013] 根据本实用新型的实施例，所述冷却介质供给装置与所述第一活性炭吸附柱、所 述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷却介质入口相连的管路上依次分别设置 有第一冷却介质入口阀门、第二冷却介质入口阀门和第三冷却介质入口阀门；所述冷却介 质接收装置与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的 冷却介质出口相连的管路上依次分别设置有第一冷却介质出口阀门、第二冷却介质出口阀 门和第三冷却介质出口阀门。
[0014] 根据本实用新型的实施例，所述加热介质供给装置与所述第一活性炭吸附柱、所 述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加热介质入口相连的管路上依次分别设置 有第一加热介质入口阀门、第二加热介质入口阀门和第三加热介质入口阀门；所述加热介 质接受装置与所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的 加热介质出口相连的管路上依次分别设置有第一加热介质出口阀门、第二加热介质出口阀 门和第三加热介质出口阀门。
[0015] 根据本实用新型的实施例，所述氢气接受装置与所述第一活性炭吸附柱、所述第 二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氢气出口相连的管路上依次分别设置有第一氢 气出口阀门、第二氢气出口阀门和第三氢气出口阀门；所述氢气供给装置与所述第一活性 炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氢气入口相连的管路上依次 分别设置有第一氢气入口阀门、第二氢气入口阀门和第三氢气入口阀门。由此，可以有效地 从多晶硅尾气中分离获得氢气，并循环利用分离获得的氢气进行吹扫，促进吸附在活性炭 中氯化氢及氯硅烷脱落，不仅循环利用氢气，而且进一步提高吸附柱中活性炭再生效果。
[0016] 利用本实用新型所提供的所述用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统 具有以下优势：
[0017] 1、能够处理的活性炭的总量大，能处理8吨以上的活性炭；
[0018] 2、实施过程中无需专用的设备设施，在普通的吸附柱中就能实施，适用范围大；
[0019] 3、工艺温度压力不苛刻，工艺条件常规、系统简单，易于操作。
【附图说明】
[0020] 图1是根据本实用新型实施例的用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系 统示意图。
[0021] 附图标记：1000 :第一活性炭吸附柱；2000 :第二活性炭吸附柱；3000 :第三活性