一种mems甲烷传感器的催化剂载体的制备装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种传感器的催化剂载体的制备装置，特别是一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置。
【背景技术】
[0002]催化燃烧式瓦斯传感器是当前煤矿中使用最广泛、最普遍的瓦斯检测仪器。随着技术的发展和完善，这种类型的传感器近年来发展迅速，现已占据了煤矿瓦斯检测仪器的主导地位，对煤矿安全生产起到了重要的作用。现有技术采用的制备MEMS催化燃烧式甲烷传感器催化剂载体的方法为用液态或胶态催化剂载体在每个加热器上逐个进行催化剂载体的制备;这种催化剂载体制备方法不具备批量制备的能力，效率低，且制备的催化剂载体涂层不均匀，一致性不好，生产成本高。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是要克服现有技术中的问题，提供一种结构简单、效果好的MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置。
[0004]为实现上述目的，本实用新型的MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，包括磁力搅拌器，磁力搅拌器上设有内装有纳米氧化铝溶胶的容器，容器内的设有磁力搅拌子、高纯铝片和硅圆片，所述的高纯铝片和硅圆片分别经导线与直流电压源相连，高纯铝片连接直流电压源的正级，硅圆片连接直流电压源的负极。
[0005]所述的硅圆片上布有成排或者成列设置的多个划线槽，多个划线槽内分别布有经总金属连接端连在一起的金属线，成排设置的多个划线槽下方均设有与金属线相连的多个金属极板。
[0006]所述成排或者成列设置的多个划线槽为四个。
[0007]所述的多个与金属线相连的金属极板成对排列，成对的金属极板均被划线槽包围。
[0008]有益效果，由于采用上述方案，本实用新型能在同一条件下对整个硅圆片上所有MEMS甲烷传感器加热元件的加热器制备催化剂载体，在大的设备中可对批量硅圆片采用所述方法同时进行催化剂载体的制备，可实现MEMS甲烷传感器催化剂载体的制备装置的批量制备、使生产的MEMS甲烷传感器具备一致性好的特点；有利于增强加热器与催化剂载体的制备装置之间的结合力。其设备简单，容易操作，可批量制备催化剂载体，制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。
【附图说明】
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[0009]图1为本实用新型中的硅圆片俯视示意图。
[0010]图2为本实用新型的结构示意图。
[0011]图中:01-金属线，02-划线槽，03-总金属连接端，04-金属极板，05-硅圆片，10-导线一，11-直流电压源，12-导线二，13-高纯铝片，15-磁力搅拌子，16-磁力搅拌器，17-纳米氧化铝溶胶，18-容器。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图中的实施例对本实用新型的一个实施例作进一步的描述:
[0013]本实用新型的MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，包括磁力搅拌器16，磁力搅拌器16上设有内装有纳米氧化铝溶胶17的容器18，容器18内的设有磁力搅拌子15、高纯铝片13和硅圆片05，所述的高纯铝片13和硅圆片05分别经导线与直流电压源11相连，高纯铝片13经导线一 10连接直流电压源11的正级，硅圆片05经导线二 12连接直流电压源11的负极。
[0014]所述的硅圆片05上布有成排或者成列设置的多个划线槽02，多个划线槽02内分别布有经总金属连接端03连在一起的金属线01。
[0015]所述成排设置的多个划线槽02为四个，成列设置的多个划线槽02为四个，所述的多个与金属线01相连的金属极板04成对排列，成对的金属极板04均被划线槽包围，硅圆片05上下两排的金属极板04分别为两对，中部两排分别为3对。
[0016]在硅圆片05上制备有众多MEMS甲烷传感器加热元件;所述MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器;硅圆片边缘设有总金属连接端，所述总金属连接端与硅圆片上划线槽内的金属线相连，MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板均与划线槽内的金属线连接;MEMS甲烷传感器加热元件的加热器材料为金属或者为硅;所用纳米氧化铝溶胶粒子平均粒径为10-50nm。
【主权项】
1.一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，其特征在于:它包括磁力搅拌器(16)，磁力搅拌器(16)上设有内装有纳米氧化铝溶胶(17)的容器(18)，容器(18)内设有磁力搅拌子(15)、高纯铝片(13)和硅圆片(05)，所述的高纯铝片(13)和硅圆片(05)分别经导线与直流电压源(11)相连，高纯铝片(13)连接直流电压源(11)的正级，硅圆片(05)连接直流电压源(11)的负极。2.根据权利要求1所述的一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，其特征在于:所述的硅圆片(05)上布有成排或者成列设置的多个划线槽(02)，多个划线槽(02)内分别布有经总金属连接端(03)连在一起的金属线(01)，成排设置的多个划线槽(02)下方均设有与金属线(01)相连的多个金属极板(04)。3.根据权利要求2所述的一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，其特征在于:所述成排或者成列设置的多个划线槽(02)为四个。4.根据权利要求2所述的一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，其特征在于:所述的多个与金属线(01)相连的金属极板(04)成对排列，成对的金属极板(04)均被划线槽(02)包围。
【专利摘要】一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，包括磁力搅拌器，磁力搅拌器上设有内装有纳米氧化铝溶胶的容器，容器内的设有磁力搅拌子、高纯铝片和硅圆片，高纯铝片和硅圆片分别经导线与直流电压源相连，高纯铝片连接直流电压源的正级，硅圆片连接直流电压源的负极。硅圆片上制备有众多的MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器；硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连；其设备简单，容易操作，可批量制备催化剂载体的制备装置，制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。
【IPC分类】B01J32/00, G01N33/22, B01J21/04
【公开号】CN205216857
【申请号】CN201521064032
【发明人】秦顺利, 马洪宇, 王丽影, 丁恩杰
【申请人】中国矿业大学
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月17日