专利名称：石英晶片频率分选机的制作方法
技术领域：
石英晶片频率分选机技术领域[0001]本实用新型涉及一种半导体晶片的加工设备，具体涉及一种石英晶片频率分选机。
背景技术：
[0002]目前，石英晶片的分选效率较低。发明内容[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石英晶片频率分选机，它可以实现石英晶片的自动分选。[0004]为解决上述技术问题，本实用新型石英晶片频率分选机的技术解决方案为:[0005]包括进料模块1、分料模块2、测频模块3、分选模块5，进料模块I将晶片输送至分料模块2，分料模块2将晶片传递给测频模块3对晶片进行频率测量；分选模块5根据测频模块3的测量结果将晶片分选至不同的工位盒29内。[0006]所述进料模块I包括进料模块底架7，进料模块底架7上设置有进料电机8，进料电机8通过连接法兰9连接料筒10，料筒10内设置有螺旋槽，料筒10的出口设置有进料漏斗11 ;进料漏斗11设置于所述分料模块2的上方；进料电机8驱动料筒10旋转，晶片被料筒10内的螺旋槽导出到进料漏斗11上，并滑入分料模块2上。[0007]所述进料模块底架7固定设置于台面板20上；所述料筒10的轴线与台面板20之间成一夹角。[0008]所述分料模块2包括分料盘13，分料盘13固定连接分料轴系12，分料轴系12通过分料电机实现驱动；所述进料漏斗11设置于分料盘13的上方；分料盘13的上方设置有光源14和成像机构15 ;通过成像机构15的成像，确定分料盘13上晶片的位置；分料盘13的一侧设置有滑台18，滑台18通过滑台电机19实现驱动；滑台18的滑动块连接抓取机械手17 ;来自于进料模块I的晶片洒落在分料盘13上；在分料轴系12和滑台18的配合下定位晶片，通过抓取机械手17抓取晶片到测频模块3上。[0009]所述测频模块3包括测量下电极25，测量下电极25设置有循环配气模块，测量下电极25通过循环配气模块能够将晶片单独吸附于其上；测量下电极25固定连接测量轴系26 ;通过电机27驱动测量轴系26上的测量下电极25转动，使测量下电极25在测量工位与进出片工位之间切换；测量下电极25上设置有水银滑环24，水银滑环24用于连接测量下电极25，传递测频电信号；测量下电极25的测量工位设置有测量上电极23 ;测量上电极23通过微分头22固定设置于测量上电极座21上；微分头22能够带动测量上电极23进行上下高度的微调；当测量下电极25处于测量工位时，对测量上电极23与测量下电极25之间的晶片进行频率测量。[0010]所述电机27驱动测量下电极25处于进出片工位，机械手17将晶片抓取至测频模块3的测量下电极25上，测量下电极25通过循环配气模块吸附晶片；电机27驱动测量下电极25转动，将吸附于测量下电极25的晶片送至测量工位；循环配气模块释放晶片，测量上电极23与测量下电极25配合，测量晶片的频率；循环配气模块再次吸附测量后的晶片，电机27驱动测量下电极25转动，将晶片从测量工位送出。[0011]所述分选模块5包括多个分选机械手28，多个分选机械手28的固定端连接分选轴系31 ;分选机械手28的自由端活动区域下方设置有多个工位盒29 ;各工位盒29用于盛放不同频率的晶片；分选轴系31在分选电机30的驱动下带动分选机械手28绕其固定端转动，使分选机械手28的自由端在进出片工位与各工位盒29之间切换；分选机械手28抓取在测频模块3的进出片工位上的晶片，根据晶片的测量结果，将晶片放入对应的工位盒29内。[0012]本实用新型可以达到的技术效果是:[0013]本实用新型能够实现石英晶片的全自动分选，进料、分料、测频和分选都由单独电机控制，能够大幅度提高测频的速度，提高分选效率。
[0014]
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明:[0015]图1是本实用新型石英晶片频率分选机的示意图；[0016]图2是本实用新型的进料模块的示意图；[0017]图3是本实用新型的分料模块的示意图；[0018]图4是本实用新型的测频模块的示意图；[0019]图5是本实用新型的分选模块 的示意图。[0020]图中附图标记说明:[0021]I为进料模块，2为分料模块，[0022]3为测频模块，4为显示屏，[0023]5为分选模块，6为底架，[0024]7为进料模块底架，8为进料电机，[0025]9为连接法兰，10为料筒，[0026]11为进料漏斗，12为分料轴系，[0027]13为分料盘，14为光源，[0028]15为成像机构，16为相机固定杆，[0029]17为抓取机械手，18为滑台，[0030]19为滑台电机，20为台面板，[0031]21为测量上电极座，22为微分头，[0032]23为测量上电极，24为水银滑环，[0033]25为测量下电极，26为测量轴系，[0034]27为电机，28为分选机械手，[0035]29为工位盒，30为分选电机，[0036]31为分选轴系，32为工位盒限位板，[0037]33为工位盒托板。
具体实施方式
[0038]如图1所示，本实用新型石英晶片频率分选机，包括进料模块1、分料模块2、测频模块3、分选模块5，进料模块I将晶片输送至分料模块2，分料模块2将晶片传递给测频模块3对晶片进行频率测量；分选模块5根据测频模块3的测量结果将晶片分选至不同的工位盒29内。[0039]如图2所示，进料模块I包括进料模块底架7，进料模块底架7上设置有进料电机8，进料电机8通过连接法兰9连接料筒10，料筒10内设置有螺旋槽，料筒10的出口设置有进料漏斗11 ;进料漏斗11设置于分料模块2的上方；进料模块底架7固定设置于台面板20上，料筒10的轴线与台面板20之间成一夹角；[0040]进料电机8驱动料筒10旋转，晶片被料筒10内的螺旋槽导出到进料漏斗11上，并滑入分料模块2上。[0041]如图3所示，分料模块2包括分料盘13，分料盘13固定连接分料轴系12，分料轴系12通过分料电机实现驱动，分料轴系12设置于台面板20上；进料漏斗11设置于分料盘13的上方；台面板20通过底架6实现支撑；[0042]分料盘13的上方设置有光源14和成像机构15 (如工业相机)，光源14和成像机构15固定设置于相机固定杆16上；通过成像机构15的成像，发送至后台PC上计算，确定晶片的位置；[0043]分料盘13的一侧设置有滑台18，滑台18通过滑台电机19实现驱动；滑台18的滑动块连接抓取机械手17 ；[0044]来自于进料模块I的晶片洒落在分料盘13上；在分料轴系12和滑台18的配合下，定位晶片，通过抓取机械手17抓取晶片到测频模块3上。[0045]如图4所示，测频模块3包括测量下电极25，测量下电极25设置有循环配气模块，测量下电极25通过循环配气模块能够将晶片单独吸附于其上；[0046]测量下电极25固定连接测量轴系26，测量轴系26设置于台面板20上；通过电机27驱动测量轴系26上的测量下电极25转动，使测量下电极25在测量工位与进出片工位之间切换；[0047]测量下电极25上设置有水银滑环24，水银滑环24用于连接测量下电极25，传递测频电信号；[0048]测量下电极25的测量工位设置有测量上电极23 ;测量上电极23通过微分头22固定设置于测量上电极座21上；微分头22能够带动测量上电极23进行上下高度的微调；当测量下电极25处于测量工位时，对测量上电极23与测量下电极25之间的晶片进行频率测量;[0049]电机27驱动测量下电极25处于进出片工位，机械手17将晶片抓取至测频模块3的测量下电极25上，测量下电极25通过循环配气模块抓取晶片；[0050]电机27驱动测量下电极25转动，将吸附于测量下电极25的晶片送至测量工位；测量下电极25通过循环配气模块释放晶片，测量上电极23与测量下电极25配合，测量上电极23与测量下电极25之间的晶片的电参数被送至后台PC，通过PC计算得出晶片的频率值；PC机通过信号线连接显示屏4，在显示屏4上显示测量数据；[0051]测量下电极25通过循环配气模块再次吸附测量后的晶片，电机27驱动测量下电极25转动，将晶片从测量工位送出。[0052]如图5所不,分选模块5包括多个分选机械手28,多个分选机械手28的固定端连接分选轴系31 ；[0053]分选机械手28的自由端活动区域下方设置有多个工位盒29，多个工位盒29固定设置于工位盒托板33上，多个工位盒29的上部通过工位盒限位板32实现固定；各工位盒29用于盛放不同频率的晶片；在停机状态下，工位盒29可以单独取出倒料；[0054]分选轴系31在分选电机30的驱动下带动分选机械手28转动，使分选机械手28的自由端在进出片工位与各工位盒29之间切换；[0055]分选机械手28抓取在测频模块3的进出片工位上的晶片，根据PC的计算结果，将晶片放入对应的工位盒29内。[0056]本实用新型的工作过程如下:[0057]将被测工件放入进料模块I的料筒10中，通过进料电机8的转动，将晶片均匀地倒入分料模块2的分料盘13上；[0058]分料模块2的成像机构15定位分料盘13上晶片的位置，抓取机械手17将分料盘13上的晶片转移至测频模块3上，电机27驱动测量下电极25转动，将晶片送到测量上电极23与测量下电极25之间进行频率测量；[0059]根据测量结果，分选机械手28将测量后的晶片放入对应的工位盒29内，分选的参数和分选结果显示在显示器4上，可以单独设置。
权利要求1.一种石英晶片频率分选机，其特征在于:包括进料模块(I)、分料模块(2)、测频模块(3 )、分选模块(5 )，进料模块(I)将晶片输送至分料模块(2 )，分料模块(2 )将晶片传递给测频模块(3)对晶片进行频率测量；分选模块(5)根据测频模块(3)的测量结果将晶片分选至不同的工位盒(29)内。
2.根据权利要求1所述的石英晶片频率分选机，其特征在于:所述进料模块(I)包括进料模块底架(7 )，进料模块底架(7 )上设置有进料电机(8 )，进料电机(8 )通过连接法兰(9 )连接料筒(10)，料筒(10 )内设置有螺旋槽，料筒(10)的出口设置有进料漏斗(11);进料漏斗(11)设置于所述分料模块(2)的上方； 进料电机(8)驱动料筒(10)旋转，晶片被料筒(10)内的螺旋槽导出到进料漏斗(11)上，并滑入分料模块(2)上。
3.根据权利要求2所述的石英晶片频率分选机，其特征在于:所述进料模块底架(7)固定设置于台面板(20)上；所述料筒(10)的轴线与台面板(20)之间成一夹角。
4.根据权利要求2所述的石英晶片频率分选机，其特征在于:所述分料模块(2)包括分料盘(13)，分料盘(13)固定连接分料轴系(12)，分料轴系(12)通过分料电机实现驱动；所述进料漏斗(11)设置于分料盘(13)的上方； 分料盘(13)的上方设置有光源(14)和成像机构(15);通过成像机构(15)的成像，确定分料盘(13)上晶片的位置； 分料盘(13)的一侧设置有滑台(18)，滑台(18)通过滑台电机(19)实现驱动；滑台(18)的滑动块连接抓取机械手(17)； 来自于进料模块(I)的晶片洒落在分料盘(13)上；在分料轴系(12)和滑台(18)的配合下定位晶片，通过抓取机械手(17)抓取晶片到测频模块(3)上。
5.根据权利要求1所述的石英晶片频率分选机，其特征在于:所述测频模块(3)包括测量下电极(25 )，测量下电极(25 )设置有循环配气模块，测量下电极(25 )通过循环配气模块能够将晶片单独吸附于其上； 测量下电极(25)固定连接测量轴系(26);通过电机(27)驱动测量轴系(26)上的测量下电极(25)转动，使测量下电极(25)在测量工位与进出片工位之间切换； 测量下电极(25 )上设置有水银滑环(24 )，水银滑环(24 )用于连接测量下电极(25 )，传递测频电信号； 测量下电极(25)的测量工位设置有测量上电极(23);测量上电极(23)通过微分头(22)固定设置于测量上电极座(21)上；微分头(22)能够带动测量上电极(23)进行上下高度的微调；当测量下电极(25)处于测量工位时，对测量上电极(23)与测量下电极(25)之间的晶片进行频率测量。
6.根据权利要求5所述的石英晶片频率分选机，其特征在于:所述电机(27)驱动测量下电极(25)处于进出片工位，机械手(17)将晶片抓取至测频模块(3)的测量下电极(25)上，测量下电极(25)通过循环配气模块吸附晶片； 电机(27)驱动测量下电极(25)转动，将吸附于测量下电极(25)的晶片送至测量工位；循环配气模块释放晶片，测量上电极23与测量下电极25配合，测量晶片的频率； 循环配气模块再次吸附测量后的晶片，电机(27)驱动测量下电极(25)转动，将晶片从测量工位送出。
7.根据权利要求1所述的石英晶片频率分选机，其特征在于:所述分选模块(5)包括多个分选机械手(28),多个分选机械手(28)的固定端连接分选轴系(31)； 分选机械手(28)的自由端活动区域下方设置有多个工位盒(29);各工位盒(29)用于盛放不同频率 的晶片； 分选轴系(31)在分选电机(30)的驱动下带动分选机械手(28)绕其固定端转动，使分选机械手(28)的自由端在进出片工位与各工位盒(29)之间切换； 分选机械手(28)抓取在测频模块(3)的进出片工位上的晶片，根据晶片的测量结果，将晶片放入对应的工位盒(29)内。
专利摘要本实用新型公开了一种石英晶片频率分选机，包括进料模块、分料模块、测频模块、分选模块，进料模块将晶片输送至分料模块，分料模块将晶片传递给测频模块对晶片进行频率测量；分选模块根据测频模块的测量结果将晶片分选至不同的工位盒内。本实用新型能够实现石英晶片的全自动分选，进料、分料、测频和分选都由单独电机控制，能够大幅度提高测频的速度，提高分选效率。
文档编号B07C5/02GK203076220SQ201320057258
公开日2013年7月24日 申请日期2013年2月1日 优先权日2013年2月1日
发明者王维锐, 刘木林, 王均晖, 张林友 申请人:浙江大学台州研究院