专利名称：纳米贴附结构的制造方法
技术领域：
本发明涉及纳米结构的制造技术，特别是指一种纳米贴附结构的制造 方法。
背景技术：
在制造纳米贴纸的技术中，目前是以版印技术(Lithography Techniques)较可符合量产且低价的需求，其中，低于50纳米线宽分辨率 的技术，可符合未来的半导体集成电路、电子商业化、光电产业以及磁性 纳米装置等的制造需求。
目前所知的技术中，例如美国第US 6， 696， 220号专利，即是一种制 造纳米结构的技术，其主要是以压印的方式来形成纳米结构。
然而，以压印的方式来制造纳米结构，目前仍有很多困难点无法克服。 首先是压印的模具无法大量生产，由于压印的模具上的纳米压纹极为精 密，尺寸极小，在成形上无法使用一般的制造方法，目前大多使用蚀刻或 版印技术来生产。其次就是压印的模具损坏速度很快，由于压印模具上的 纳米压纹尺寸极小，因此在压印的过程中很容易残留被压印材料而造成阻 塞，而阻塞的问题又无法以快速且便宜的方式来处理。因此，目前而言， 压印的技术虽可制造出纳米结构，但仍未能量产，因此也无法广泛的为大 众所使用。
另外，使用压印的方式亦很难进行连续生产，而是一片一片的压出， 在压印模具快速损坏的状况下，目前是无法达到连续生产的要求的。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种纳米贴附结构的制造方法，其是以分 离抽丝的方式来产生纳米结构，与现有技术不同。
本发明的次一目的在于提供一种纳米贴附结构的制造方法，其适合连续生产。
为了达成前述目的，依据本发明所提供的一种纳米贴附结构的制造方 法，包含有下列步骤a)备置预定厚度的一抽丝层，以及备置一沾附件， 该沾附件具有一沾附面；该抽丝层至少在表面呈现软质带粘性的状态，且
该沾附件的沾附面贴于该抽丝层；b)使该沾附件与该抽丝层分离，在分离 的过程中，该抽丝层与该沾附件之间即会形成多数细丝，这些细丝彼此相 隔预定距离，这些细丝随着该沾附件与该抽丝层分开距离更大而最终自该 沾附件上断开，而于该抽丝层表面形成向外延伸预定长度的多数立丝；以 及c)使该抽丝层以及这些立丝固化。
另外，亦可在步骤a)中的沾附件上设置第二抽丝层，通过与第一抽丝 层相贴后抽丝，达到两边都抽丝的效果。
通过此，可达到以抽丝的方式来产生纳米贴附结构，以及适合连续生 产等功效。
图1是本发明第一较佳实施例的动作示意图，显示抽丝层与沾附件相 分离的状态；
图2是本发明第一较佳实施例的动作示意图，显示抽丝层与沾附件相 贴的状态；
图3是本发明第一较佳实施例的动作示意图，显示沾附件即将脱离抽 丝层的状态；
图4是本发明第一较佳实施例的动作示意图，显示沾附件脱离抽丝层 后的状态；
图5是本发明第一较佳实施例的动作示意图，显示沾附件为滚筒时的 状态。
图6是图5的局部放大图7是本发明第一较佳实施例的动作示意图，显示沾附件为可挠性板 状物的状态；
图8是显示图7的立体形态；
图9是本发明第二较佳实施例的动作示意图，显示第一抽丝层与第二抽丝层相贴的状态；
图IO是本发明第二较佳实施例的动作示意图，显示一端掀开的状态; 图ll是显示图IO的立体形态；
图12是本发明第二较佳实施例的动作示意图，显示沾附件为滚筒的
状态；
图13是本发明第二较佳实施例的动作示意图，显示增设一软质缓冲 层的状态；
图14是本发明第三较佳实施例的动作示意图，显示抽丝层与二沾附 件相贴的状态；
图15是本发明第三较佳实施例的动作示意图，显示一端掀开的状态; 图16是显示图15的立体形态。
主要组件符号说明 11， 11， ， 11"抽丝层 112， 112"立丝 15， 15， ，15"沾附件 152"凹槽
21,21， ，21"第一抽丝层 212立丝
25,25' ，25"沾附件 27"软质缓冲层 31抽丝层 312立丝 35沾附件
111细丝 12基板
151， 151"沾附面
211细丝 22,22"基板
26,26， ,26"第二抽丝层
311细丝 315子抽丝层
具体实施例方式
为了详细说明本发明的技术特点，兹举以下的二较佳实施例并配合图
式说明如后，其中
如图1至图4所示，本发明第一较佳实施例所提供的一种纳米贴附结
构的制造方法，主要具有下列步骤a) 备置预定厚度的一抽丝层11，以及备置一沾附件15，如图1所示。 该抽丝层11是设置于一基板12上，该沾附件15具有一沾附面151;控制 温度达到该抽丝层11的相变温度，而使该抽丝层11至少在表面呈现软质
带粘性的状态，且该沾附件15的沾附面151贴于该抽丝层11，如图2所 示。该抽丝层11在本实施例中为聚合物(polymer)。
b) 使该沾附件15与该抽丝层11分离，如图3所示，在分离的过程中， 该抽丝层11与该沾附件15之间即会形成多数细丝111，且这些细丝111 彼此相隔预定距离。这些细丝111随着该沾附件15与该抽丝层11分开距 离更大而最终自该沾附件15上断开，如图4所示，而于该抽丝层ll表面 形成向外延伸预定长度的多数立丝112。
c) 使该抽丝层11以及这些立丝112固化。固化的方式，本实施例中 为紫外线照射来使聚合物固化。此以，亦可以冷却的方式来使其固化。
本实施例可更包含有
步骤d)将该抽丝层ll自该基板12上取下，该抽丝层ll即成为具有 纳米结构的贴附物。
通过上述步骤，可在步骤b)的过程中以分离抽丝的方式抽出多数的细 丝111，到最后形成多数的立丝112，而形成纳米贴附结构，此种纳米结 构具有良好的贴附能力，可做为纳米贴纸的用途。
请再参阅图5至图6，在前述相同的方法下，该沾附件15'可为一滚 筒，利用该沾附件15'(滚筒)在该抽丝层11'上滚动，可产生接触面分 离的效果，同样可进行抽丝，而形成纳米贴附结构。
请再参阅图7至图8，在前述相同的方法下，该沾附件15"是可呈板 状而具有可挠曲性，且该沾附件15"的沾附面151"的表面设有多数凹 槽152"。在分离时是可将该沾附件15"由一侧向上掀开，而使该沾附件 15"与该抽丝层ll"由掀开的部位逐渐分离，通过此同样可以进行抽丝， 而形成纳米贴附结构。此外，这些凹槽152"可在这些立丝112"形成时 产生一分隔的效果，使得这些立丝112"的形成时不会相互作用，成形效 果更好。
请参阅图9至图11，本发明第二较佳实施例所提供的一种纳米贴附结 构的制造方法，主要具有下列步骤
8a) 如图9所示，备置预定厚度的一第一抽丝层21，以及备置一沾附件 25;该第一抽丝层21设置于一基板22上，该沾附件25是呈板状而具有 可挠曲性，在其一预定表面上(本实施例中为下表面)具有一第二抽丝层 26。控制温度达到或大于该第一抽丝层21以及该第二抽丝层26的相变温 度，而使该第一抽丝层21以及该第二抽丝层26的表面呈现软质带粘性的 状态，且该第一抽丝层21以及该第二抽丝层26的表面相贴。该第一抽丝 层21以及该第二抽丝层26于本实施例中为聚合物(polymer)，其可为相 同材质或不同材质。
b) 移动该沾附件25使该第一抽丝层21与该第二抽丝层26分离。在 分离的过程中，如图10至图11所示，可将该沾附件25由一侧向上掀开， 而使该沾附件25上的第二抽丝层26与该第一抽丝层21由掀开的部位逐 渐分离，并于该第一抽丝层21与该第二抽丝层26之间形成多数细丝211， 这些细丝211彼此相隔预定距离，这些细丝211随着分离距离更大而最终 断开，而于该第一抽丝层21及该第二抽丝层26的表面形成向外延伸预定 长度的多数立丝212。
c) 使该第一抽丝层21以及该第二抽丝层26以及这些立丝212固化。 固化的方式，本实施例中为紫外线照射来使聚合物固化。此外，亦可以冷 却的方式来使其固化。
本第二实施例还包含有
步骤d)将该第一抽丝层21自该基板22上取下，以及将该第二抽丝层 26自该沾附件25上取下，该第一抽丝层21以及该第二抽丝层26即成为 具有纳米结构的贴附物。
通过上述步骤，本第二实施例可在步骤b)的过程中以分离抽丝的方式 在该第一抽丝层21与该第二抽丝层26上抽出多数的细丝211，到最后形 成多数的立丝212，而使该第一抽丝层21与该第二抽丝层26分别形成纳 米贴附结构，此种纳米结构具有良好的贴附能力，可做为纳米贴纸的用途。
请再参阅图12，本第二实施例在前述相同的方法下，该沾附件25' 可为一滚筒，而于其周面设有该第二抽丝层26，，利用该沾附件25'(即 滚筒)表面的第二抽丝层26'在该第一抽丝层21'上滚动，可产生接触位 置相贴后再分离的效果，同样可进行抽丝，而形成纳米贴附结构。请再参阅图13，本第二实施例在前述相同的方法下，该第二抽丝层
26"与该沾附件25"之间是可更设有一软质缓冲层27"，该软质缓冲层 27"可在该第二抽丝层26"贴置于该第一抽丝层21"上时，通过本身软 质的特性而使该第二抽丝层26"更能完整的服贴于该第一抽丝层21"， 使抽丝的效果更好。另外，该软质缓冲层27"亦可设置于该第一抽丝层 21"与该基板22"之间，而由于设置方式类同于前述的第二抽丝层26" 与沾附件25"，容不再予赘述说明。
请参阅图14至图16，本发明第三较佳实施例所提供的一种纳米贴附 结构的制造方法，主要具有下列步骤-
a) 备置预定厚度的一抽丝层31，以及备置二沾附件35，控制温度达 到该抽丝层31的相变温度，使该抽丝层31软化且带粘性，且该抽丝层31 的两面分别贴附于该二沾附件35，该二沾附件35呈板状且具有可挠性。
b) 使该二沾附件35由一侧相分离，在分离的过程中，该抽丝层31即 会分为二子抽丝层315，其中一该子抽丝层315依附在一该沾附件35，另 一该子抽丝层315依附在另一该沾附件35，该二子抽丝层315随着该二沾 附件35的逐渐分开而分开，而于该二子抽丝层315之间形成多数细丝311 ， 这些细丝311彼此相隔预定距离，这些细丝311随着分开距离更大而最终 断开，而于该二子抽丝层315的表面形成向外延伸预定长度的多数立丝 312;以及
c) 使该二子抽丝层315以及这些立丝312固化。固化的方式，本实施 例中为紫外线照射来使聚合物固化。此外，亦可以冷却的方式来使其固化。
本第三实施例还包含有
步骤d)将该二子抽丝层315分别自该二沾附件35上取下，该二子抽 丝层315即成为具有纳米结构的贴附物。
通过上述步骤，本第三实施例同样的可通过分离抽丝的方式在该二子 抽丝层315相分离时抽出多数的细丝311，到最后形成多数的立丝312， 而使该二子抽丝层315分别形成纳米贴附结构，此种纳米结构具有良好的 贴附能力，可做为纳米贴纸的用途。
此外，本第三实施例的沾附件35亦可为滚筒，而滚筒形态的沾附件 类同于前揭图5及图6的型态，容不再予赘述。
10由上可知，本发明所可达成的功效在于
一、 以抽丝的方式来产生纳米贴附结构本发明是对抽丝层进行抽丝， 而形成多数的立丝，形成纳米贴附结构，其产生的方式与现有技术不同。
二、 适合连续生产本发明可适用滚筒或长条状的抽丝层，以掀幵的 方式来进行抽丝，因此适用于连续生产，具有可量产的优势。
1权利要求
1.一种纳米贴附结构的制造方法，其特征在于，包含有下列步骤a)备置预定厚度的一抽丝层，以及备置一沾附件，该沾附件具有一沾附面；该抽丝层至少在表面呈现软质带粘性的状态，且该沾附件的沾附面贴于该抽丝层；b)使该沾附件与该抽丝层分离，在分离的过程中，该抽丝层与该沾附件之间即会形成多数细丝，这些细丝彼此相隔预定距离，这些细丝随着该沾附件与该抽丝层分开距离更大而最终自该沾附件上断开，而于该抽丝层表面形成向外延伸预定长度的多数立丝；以及c)使该抽丝层以及这些立丝固化。
2. 依据权利要求1所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在 步骤a)中，该抽丝层为聚合物polymer。
3. 依据权利要求1所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在 步骤c)中，是以冷却方式或紫外线照射的方式固化。
4. 依据权利要求1所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在 步骤a)中，该抽丝层设置于一基板上。
5. 依据权利要求4所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于还包 含有步骤d)将该抽丝层自该基板上取下。
6. 依据权利要求1所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在 步骤a)中，该沾附件的沾附面表面设有多数凹槽。
7. 依据权利要求1所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在 步骤a)中，该沾附件为一滚筒。
8. 依据权利要求1所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在 步骤a)中，该沾附件呈板状而具有可挠性。
9. 依据权利要求1所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在步骤a)中，控制温度达到该抽丝层的相变温度，而使该抽丝层的表面软化 并带粘性。
10. —种纳米贴附结构的制造方法，其特征在于包含有下列步骤a)备置预定厚度的一第一抽丝层，以及备置一沾附件，该沾附件在其一预定表面上具有一第二抽丝层；该第一抽丝层以及该第二抽丝层至少在 表面呈现软质带粘性的状态，且该第一抽丝层以及该第二抽丝层的表面相 贴；b) 移动该沾附件使该第一抽丝层与该第二抽丝层分离，在分离的过程中，该第一抽丝层与该第二抽丝层之间即会形成多数细丝，这些细丝彼此 相隔预定距离，这些细丝随着分离距离更大而最终断开，而于该第一抽丝层及该第二抽丝层的表面形成向外延伸预定长度的多数立丝；以及c) 使该第一抽丝层以及该第二抽丝层以及这些立丝固化。
11. 依据权利要求10所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于 在步骤a)中，该第一抽丝层以及该第二抽丝层为聚合物。
12. 依据权利要求10所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于 在步骤c)中，是以冷却方式或紫外线照射的方式固化。
13. 依据权利要求10所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于 在步骤a)中，该第一抽丝层设置于一基板上。
14. 依据权利要求13所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在步骤a)中，该第二抽丝层与该沾附件之间还具有一软质缓冲层。
15. 依据权利要求13所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于还包含有步骤d)将该第一抽丝层自该基板上取下，以及将该第二抽丝层自该沾附件上取下。
16. 依据权利要求10所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于 在步骤a)中，该沾附件为一滚筒，而于其周面设有该第二抽丝层。
17. 依据权利要求10所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于在步骤a)中，该沾附件呈板状而具有可挠性。
18. 依据权利要求10所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于-在步骤a)中，控制温度达到该第一抽丝层以及该第二抽丝层的相变温度， 而使该第一抽丝层以及该第二抽丝层的表面软化并带粘性。
19. 一种纳米贴附结构的制造方法，其特征在于包含有下列步骤a) 备置预定厚度的一抽丝层，以及备置二沾附件，该抽丝层为软质带 粘性的状态，且该抽丝层的两面分别贴附于该二沾附件；b) 使该二沾附件由一侧相分离，在分离的过程中，该抽丝层即会分为二子抽丝层，其中一该子抽丝层依附在一该沾附件，另一该子抽丝层依附 在另一该沾附件，该二子抽丝层随着该二沾附件的逐渐分开而分开，而于 该二子抽丝层之间形成多数细丝，这些细丝彼此相隔预定距离，这些细丝 随着分开距离更大而最终断开，而于该二子抽丝层的表面形成向外延伸预 定长度的多数立丝；以及C)使该二子抽丝层以及这些立丝固化。
20. 依据权利要求19所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于-在步骤C)中，是以冷却方式或紫外线照射的方式固化。
21. 依据权利要求19所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于还包含有步骤d)将该二子抽丝层自该二沾附件上取下。
22. 依据权利要求19所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于 在步骤a)中，控制温度达到该抽丝层的相变温度，而使该抽丝层软化并带粘性。
23. 依据权利要求19所述的纳米贴附结构的制造方法，其特征在于 该二沾附件呈板状且具有可挠性。
全文摘要
本发明一种纳米贴附结构的制造方法，主要是以一沾附件贴合于一抽丝层后，再予以分离，并于分离的过程中使该抽丝层的表面形成多数的立丝，通过这些立丝的形成而产生纳米贴附结构。另外，亦可在沾附件上设置一第二抽丝层，以与前述的抽丝层相贴后抽丝，达到两边都抽丝的效果。通过此，可达到以抽丝的方式来产生纳米贴附结构，以及适合连续生产等功效。
文档编号B82B3/00GK101643197SQ20081014565
公开日2010年2月10日 申请日期2008年8月7日 优先权日2008年8月7日
发明者赵治宇 申请人:东捷科技股份有限公司