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一种基于碳纳米管的致动器的制备方法与流程
文档序号:14237111
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来源:国知局
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一种基于碳纳米管的致动器的制备方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明涉及一种致动器的制备方法,该方法包括以下步骤:提供一碳纳米管层;在所述碳纳米管层的表面设置一氧化钒层;以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。本发明的致动器采用碳纳米管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大,响应速率快,因此该致动器具有较大的形变和较快的响应速率。
技术研发人员:
马赫;魏洋;刘锴;姜开利;范守善
受保护的技术使用者:
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
技术研发日:
2016.10.12
技术公布日:
2018.04.20
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