技术总结
本发明公开一种具冲击吸收器的微机电装置，其包括一基板、一盖体、一可动质量块以及一冲击吸收器。盖体与可动质量块设置于基板上。冲击吸收器设置于盖体上。冲击吸收器包括一限制元件、一固定式阻挡器、一可动式阻挡器、一弹性元件、一支撑元件以及一空间。固定式阻挡器设置于盖体的下表面。弹性元件连接限制元件及可动式阻挡器。支撑元件连接限制元件及固定式阻挡器。空间设置于固定式阻挡器与可动式阻挡器之间。冲击吸收器可避免可动质量块碰撞盖体。此外，冲击吸收器的支撑元件可为绝缘材料，以降低可动式阻挡器与可动质量块之间的静电力交互作用。
技术研发人员：许郁文;郭秦辅;黄肇达
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2018.07.06