技术特征：
1.一种纳米器件装配装置，其包括至少一个纳米机械手，其特征在于：所述纳米机械手包括微动平台、设于微动平台上的微纳动夹持器以及控制微动平台多方向运动的微纳压电电机。2.根据权利要求1所述的纳米器件装配装置，其特征在于：所述微纳压电电机包括X向微纳压电电机、Y向微纳压电电机以及Z向微纳压电电机，所述X向微纳压电电机、Y向微纳压电电机以及Z向微纳压电电机控制微动平台运动。3.根据权利要求1所述的纳米器件装配装置，其特征在于：所述微动平台包括X向微动平台、Y向微动平台以及Z向微动平台，所述微动平台包括三个自由度。4.根据权利要求3所述的纳米器件装配装置，其特征在于：所述微纳压电电机包括X向微纳压电电机、Y向微纳压电电机以及Z向微纳压电电机，所述X向微纳压电电机、Y向微纳压电电机以及Z向微纳压电电机分别控制X向微动平台、Y向微动平台以及Z向微动平台运动。5.根据权利要求1至4任一所述的纳米器件装配装置，其特征在于：所述微纳动夹持器包括两个夹持臂。6.根据权利要求5所述的纳米器件装配装置，其特征在于：所述纳米机械手上设有软排线以及原子力探针，所述原子力探针设于两个夹持臂之间并被两个夹持臂夹持。