技术总结
一种纳米器件装配装置，其包括至少一个纳米机械手，所述纳米机械手包括三自由度运动的微动平台、设于微动平台上的微纳动夹持器以及控制微动平台实现三自由度运动的微纳压电电机。本实用新型在扫描电子显微镜样品真空室（10‑4 Pa）内集成纳米操作机械手，在实时观察的基础上实现了单个或者多个（小于等于四个）纳米操作机械手操作，每个纳米操作机械手具有三个自由度，可以进行复杂的三维纳米器件装配操作，操作的精度最高可以达到30纳米。
技术研发人员：孙立宁;陈之超;杨湛;陈涛;
受保护的技术使用者：苏州大学;
文档号码：201620106322
技术研发日：2016.02.03
技术公布日：2016.09.14